公开(公告)号：CN108885165A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021252.4

申请日：2017-03-29

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 小林京平 ,  上野凉 ,  阿部真一 ,  坂井久 ,  永田优 ,  安田隆则

IPC: G01N19/00 ,  G01L9/00 ,  G01N5/02

CPC classification number: G01L9/00 ,  G01N5/02 ,  G01N19/00

Abstract: 应力传感器具备：膜片；中间层，被配置在膜片的面上；感应膜，被配置在中间层上；和压电电阻元件，位于膜片中与中间层的外缘接触的区域。

公开(公告)号：CN108885165B

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201780021252.4

申请日：2017-03-29

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 小林京平 ,  上野凉 ,  阿部真一 ,  坂井久 ,  永田优 ,  安田隆则

IPC: G01N19/00 ,  G01L9/00 ,  G01N5/02

Abstract: 应力传感器具备：膜片；中间层，被配置在膜片的面上；感应膜，被配置在中间层上；和压电电阻元件，位于膜片中与中间层的外缘接触的区域。