一种还原炉电极及其涂层制备方法

    公开(公告)号:CN108002390A

    公开(公告)日:2018-05-08

    申请号:CN201711233911.9

    申请日:2017-11-30

    IPC分类号: C01B33/035 C23C24/04

    摘要: 本发明公开了一种还原炉电极及其涂层制备方法,采用铝制造电极体,电极体锥形段设置有银涂层,电极体除锥形段外的其余表面设置有陶瓷绝缘涂层;以拉法尔喷嘴加速经加热的压缩气体作为工作载气,高速的载气加速原材料粉末从喷枪喷出,以低温、高速和完全固态下碰撞电极体,通过颗粒的堆积效应形成具有高致密性、高热稳定性和高强结合性能的涂层。本发明具有如下优点:铝电极体表面更容易接受涂层材料;通过冷喷涂方法制备的电极体锥形段银涂层,可降低电极体与石墨的接触电阻,银涂层不易脱落;在除锥形段外的电极体表面喷涂有氧化铝涂层,大幅提高了电极体的绝缘性能;气涂层粒子沉积效率高,原材料的利用率高,涂层制备生产效率高。

    一种还原炉底盘及其涂层制备方法

    公开(公告)号:CN107986285A

    公开(公告)日:2018-05-04

    申请号:CN201711265493.1

    申请日:2017-12-05

    摘要: 本发明公开了一种还原炉底盘及其涂层制备方法,还原炉底盘采用不锈钢制成,底盘表面具有银涂层,可以使底盘表面保持较低的温度,进而杜绝无定型硅在底盘表面形成黑色膜层,使无定型硅以颗粒形式富集在底盘表面;底盘电极卡槽以及底盘表面绝缘面喷涂有银/氧化铝复合膜层,复合膜层使得氧化铝与基体结合强度更强,不易造成应变破裂;将外置绝缘保护变为内置绝缘保护,大幅提高了底盘与电极之间的绝缘性能;筛网表面设置有银/氧化铝复合涂层,复合涂层具有耐腐蚀、热稳定性高、耐冲刷等优点;该底盘涂层喷涂方法的优点是,涂层粒子沉积效率高,原材料的利用率可超过98%,且涂层制备过程的生产效率高。

    一种冷喷涂制备还原炉内壁涂层的方法

    公开(公告)号:CN107961959A

    公开(公告)日:2018-04-27

    申请号:CN201711189046.2

    申请日:2017-11-24

    IPC分类号: B05D1/12 B05D5/00 B05D7/22

    CPC分类号: B05D7/227 B05D1/12 B05D5/00

    摘要: 本发明公开了一种冷喷涂制备还原炉内壁涂层的方法,以拉法尔喷嘴加速经加热的压缩气体作为工作载气,高速的载气加速原材料粉末从喷枪喷出,以低温、高速和完全固态下碰撞还原炉内壁,原材料颗粒与还原炉内壁同时发生剧烈的塑性变形后沉积在内壁表面,进而通过颗粒的堆积效应形成涂层。该方法的优点是,涂层粒子沉积效率高,原材料的利用率可超过98%;涂层制备生产效率高,每小时能制备20kg以上的涂层材料,一次喷涂厚度可超500μm;涂层粒子与周围气氛不发生反应,几乎完全保留了原材料相同的特性;允许粒径分布较广的材料作为涂层原料,提高了原料利用率;涂层与基体的结合强度高,高温运行过程中不容易脱落,具有较长的使用寿命。

    一种还原炉底盘及其涂层制备方法

    公开(公告)号:CN107986285B

    公开(公告)日:2018-11-20

    申请号:CN201711265493.1

    申请日:2017-12-05

    摘要: 本发明公开了一种还原炉底盘及其涂层制备方法,还原炉底盘采用不锈钢制成,底盘表面具有银涂层,可以使底盘表面保持较低的温度,进而杜绝无定型硅在底盘表面形成黑色膜层,使无定型硅以颗粒形式富集在底盘表面;底盘电极卡槽以及底盘表面绝缘面喷涂有银/氧化铝复合膜层,复合膜层使得氧化铝与基体结合强度更强,不易造成应变破裂;将外置绝缘保护变为内置绝缘保护,大幅提高了底盘与电极之间的绝缘性能;筛网表面设置有银/氧化铝复合涂层,复合涂层具有耐腐蚀、热稳定性高、耐冲刷等优点;该底盘涂层喷涂方法的优点是,涂层粒子沉积效率高,原材料的利用率可超过98%,且涂层制备过程的生产效率高。

    一种还原炉冷喷涂系统及喷涂方法

    公开(公告)号:CN108043611A

    公开(公告)日:2018-05-18

    申请号:CN201711294247.9

    申请日:2017-12-08

    摘要: 本发明公开了一种还原炉冷喷涂系统及喷涂方法,还原炉冷喷涂系统,该系统包括有气体工作站、气体预加热器、气体加热器、粉末填充装置、喷枪、中央控制单元、自动机械臂、还原炉钟罩支架和还原炉钟罩清洗工作站,还原炉钟罩支架推动还原炉钟罩做圆周运动,而喷枪做往复直线运动和往复圆弧运动,工作载气携带原材料粉末从喷枪喷在还原炉钟罩的内表面形成涂层。本发明提供的喷涂系统及方法可以实现还原炉内壁在大气气氛中的高速喷涂,所有监控和调控均在中央控制单元进行,可实现还原炉钟罩内壁喷涂的全自动化和智能化;两级加热可以将载气和原料的污染降到最低,保障涂层的原始性能;采用低压仓储存原材料,解决原材料易氧化、易污染的问题。

    一种还原炉内壁复合涂层制备方法

    公开(公告)号:CN107904658A

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:CN201711202339.X

    申请日:2017-11-27

    IPC分类号: C30B28/14 C30B29/06 C23C8/20

    CPC分类号: C30B28/14 C23C8/20 C30B29/06

    摘要: 本发明公开了一种还原炉内壁复合涂层制备方法,往内壁具有银涂层的还原炉内通入含有含碳气体的热氢气,热氢气中的含碳气体首先吸附在银涂层的表面,进而含碳气体在银涂层表面的气固相界面发生分解反应并生成单质碳,单质碳进一步与银膜层中的银发生反应生成碳化银,进而在银层表面形成致密的碳化银层。本发明通过采用上述工艺方法,使还原炉内壁银/碳化银复合涂层具有高热反射率、高热稳定性、高耐腐蚀性能、高耐冲刷性能等优点,解决了传统还原炉内壁涂层存在的缺陷,可以实现还原炉连续稳定节能和保障高纯多晶硅的稳定生产。且该制备方法具有容易操作、工艺简单、成本低廉等优势,可以实现大规模应用。

    一种还原炉冷喷涂方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108043611B

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201711294247.9

    申请日:2017-12-08

    摘要: 本发明公开了一种还原炉冷喷涂方法,该喷涂方法的喷涂系统包括有气体工作站、气体预加热器、气体加热器、粉末填充装置、喷枪、中央控制单元、自动机械臂、还原炉钟罩支架和还原炉钟罩清洗工作站,还原炉钟罩支架推动还原炉钟罩做圆周运动,而喷枪做往复直线运动和往复圆弧运动,工作载气携带原材料粉末从喷枪喷在还原炉钟罩的内表面形成涂层。本发明提供的喷涂系统及方法可以实现还原炉内壁在大气气氛中的高速喷涂,所有监控和调控均在中央控制单元进行,可实现还原炉钟罩内壁喷涂的全自动化和智能化;两级加热可以将载气和原料的污染降到最低,保障涂层的原始性能;采用低压仓储存原材料,解决原材料易氧化、易污染的问题。

    一种还原炉电极及其涂层制备方法

    公开(公告)号:CN108002390B

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201711233911.9

    申请日:2017-11-30

    IPC分类号: C01B33/035 C23C24/04

    摘要: 本发明公开了一种还原炉电极及其涂层制备方法,采用铝制造电极体,电极体锥形段设置有银涂层,电极体除锥形段外的其余表面设置有陶瓷绝缘涂层;以拉法尔喷嘴加速经加热的压缩气体作为工作载气,高速的载气加速原材料粉末从喷枪喷出,以低温、高速和完全固态下碰撞电极体,通过颗粒的堆积效应形成具有高致密性、高热稳定性和高强结合性能的涂层。本发明具有如下优点:铝电极体表面更容易接受涂层材料;通过冷喷涂方法制备的电极体锥形段银涂层,可降低电极体与石墨的接触电阻,银涂层不易脱落;在除锥形段外的电极体表面喷涂有氧化铝涂层,大幅提高了电极体的绝缘性能;气涂层粒子沉积效率高,原材料的利用率高,涂层制备生产效率高。

    一种还原炉钟罩内壁喷涂装置

    公开(公告)号:CN207805857U

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201721896361.4

    申请日:2017-12-29

    IPC分类号: B05B13/06 B05B13/02

    摘要: 本实用新型公开了一种还原炉钟罩内壁喷涂装置,包括:底座架、限位支架、动力台、驱动电机、齿轮、齿轮盘,所述底座架前端固定安装第一转轴,所述底座架固定连接固定块,所述固定块活动连接滑杆,所述滑杆固定连接滑轨,所述滑轨上端面固定连接限位支架,所述限位支架包括圆形基架、托轮和定位轮,所述圆形基架内侧壁连接有卡环所述卡环活动连接定位轮,所述定位轮内侧壁活动连接还原炉,所述还原炉右端固定套接齿轮盘,所述齿轮盘连接齿轮,所述齿轮固定连接驱动电机,该还原炉钟罩内壁喷涂装置,其能够降达到还原炉钟罩喷涂作业的高速旋转要求,并能够稳定旋转,达到喷涂均匀的目的。

    一种还原炉钟罩旋转装置
    10.
    实用新型

    公开(公告)号:CN207957778U

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201820218952.4

    申请日:2018-02-08

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本实用新型公开了一种还原炉钟罩旋转装置,包括电机,所述电机上端连接有转轴,所述转轴底端套接有水平旋转平台,所述水平旋转平台顶端固定安装有支撑翼,所述水平旋转平台顶端通过第一固定螺钉固定安装有工装夹具,所述工装夹具内侧壁安装有弧形卡条,所述弧形卡条内侧壁中部开有竖槽,所述竖槽内端设有吸盘,所述弧形卡条内侧壁设有防滑楞,所述工装夹具内端设有橡胶夹块,所述工装夹具内腔设有还原炉钟罩。本实用新型通过设置水平旋转平台、支撑翼、工装夹具、弧形卡条、吸盘、防滑楞和橡胶夹块,能够为还原炉钟罩的旋转喷涂作业提供一个稳定的喷涂环境,运行稳定、操作简便、易于实现,极具生产实用性。