一种多晶硅还原炉密封结构和方法

    公开(公告)号:CN109879288A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910198689.6

    申请日:2019-03-15

    发明人: 丁小海

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅还原炉密封结构和方法,包括还原炉底盘法兰、钟罩法兰和设置在还原炉底盘法兰与钟罩法兰之间的金属垫环,还原炉底盘法兰与钟罩法兰相对设置,还原炉底盘法兰和钟罩法兰外侧均相对均匀设置有螺栓固定孔,还原炉底盘法兰与钟罩法兰内侧均相对设置有台阶型卡台,还原炉底盘法兰、钟罩法兰以及台阶型卡台之间为垫环槽,金属垫环位于垫环槽内,金属垫环具有弹性,金属垫环自然状态下上下端的宽度大于垫环槽的高度。通过金属材料自身的韧性提供回弹力,能够有效保证还原炉的密封性,且垫环内外侧压差,使得金属环表面受力自内向外,进一步保证垫环的回弹力效果,密封效果好,且易清洗。操作方便,可循环利用。

    一种多晶硅硅芯焊接系统及其使用方法

    公开(公告)号:CN109850903A

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201910283928.8

    申请日:2019-04-10

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本发明属于多晶硅生产技术领域,尤其涉及一种多晶硅硅芯焊接系统及其使用方法。一种多晶硅硅芯焊接系统,所述的系统包括带有漏斗颈(3)的漏斗(1)、加热线圈(2)、气体喷嘴(7)和若干夹持器(8);加热线圈(2)设置于漏斗(1)下部外围;气体喷嘴(7)设置于漏斗颈(3)下方;夹持器(8)设置于漏斗(1)和气体喷嘴(7)之间,夹持器(8)分别与传动机构相连,夹持器(8)可沿轴向和径向运动;所述的焊接系统置于洁净环境。本发明的优点:结构简单,易于实现;硅芯焊接可靠、效率高;焊接的硅芯无污染、平直;焊接头平整;断裂或/和长度不够的硅芯重新利用,提高了切割收率,降低生产成本。

    一种漏电检测系统及多晶硅还原炉

    公开(公告)号:CN107748312A

    公开(公告)日:2018-03-02

    申请号:CN201710948079.4

    申请日:2017-10-12

    摘要: 本发明涉及多晶硅生产设备领域,公开了一种漏电检测系统及多晶硅还原炉。漏电检测系统包括接地线及电流微分检测模块,电流微分检测模块可检测出接地线中漏电电流幅值变化率,因此,根据电流微分检测模块检测结果可判断出还原炉内接地短路故障类型是属于电极处粉尘积累、结硅造成的短路还是硅棒倒棒造成的短路。从而决定是否停炉处理或继续运行,根据实际情况,减小了因误判断停炉而造成巨大的经济损失。本发明的多晶硅还原炉安装有该漏电检测系统,其炉体的炉壁通过接地线接地,因此可以便于技术人员判断还原炉中的短路类型。

    一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法

    公开(公告)号:CN108675303B

    公开(公告)日:2019-07-26

    申请号:CN201810923115.6

    申请日:2018-08-14

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本发明涉及多晶硅生产设备领域,具体涉及一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法。本发明提供的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,包括至少两个石墨卡瓣、石墨基座以及绝缘夹套。在使用过程中,将石墨基座的连接孔连接于电极上,石墨卡瓣卡接于所述石墨基座的限位槽内,并形成夹持硅芯的夹持空间,绝缘夹套连接于石墨基座靠近所述限位槽的一端,底部与底盘不接触,可缓解表面结硅问题,避免形成接地回路,有效防止意外跳停,同时绝缘夹套表面形成的硅粉易于清洗,方便重复利用,降低生产成本。石墨卡瓣与绝缘夹套的倾斜内壁的斜面配合,使得硅芯得到稳定夹紧。

    一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法

    公开(公告)号:CN108675303A

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201810923115.6

    申请日:2018-08-14

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本发明涉及多晶硅生产设备领域,具体涉及一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置及夹持方法。本发明提供的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,包括至少两个石墨卡瓣、石墨基座以及绝缘夹套。在使用过程中,将石墨基座的连接孔连接于电极上,石墨卡瓣卡接于所述石墨基座的限位槽内,并形成夹持硅芯的夹持空间,绝缘夹套连接于石墨基座靠近所述限位槽的一端,底部与底盘不接触,可缓解表面结硅问题,避免形成接地回路,有效防止意外跳停,同时绝缘夹套表面形成的硅粉易于清洗,方便重复利用,降低生产成本。石墨卡瓣与绝缘夹套的倾斜内壁的斜面配合,使得硅芯得到稳定夹紧。

    一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统

    公开(公告)号:CN107720757B

    公开(公告)日:2018-07-03

    申请号:CN201711115989.0

    申请日:2017-11-13

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本发明涉及多晶硅生产技术领域,公开了一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统。多晶硅还原炉停炉冷却方法是利用被加热后的冷却气体对多晶硅还原炉进行吹扫,冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量。冷却气体的温度高于环境温度并低于还原炉中部的硅棒温度。这样经过预热的冷却气体与硅棒或者炉内部件的温差较小(相对环境气体),在冷却过程中不容易产生炸裂。并且冷却气体的吹扫使得硅棒之间具有较快的气体流动,有利于冷却气体从还原炉中部的硅棒之间带走热量。多晶硅还原炉冷却系统包括了非接触式测温仪、加热装置、空气抽运泵、吹气装置以及连通以上各装置的管道。

    一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统

    公开(公告)号:CN107720757A

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201711115989.0

    申请日:2017-11-13

    IPC分类号: C01B33/035

    摘要: 本发明涉及多晶硅生产技术领域,公开了一种多晶硅还原炉停炉冷却方法及多晶硅还原炉冷却系统。多晶硅还原炉停炉冷却方法是利用被加热后的冷却气体对多晶硅还原炉进行吹扫,冷却气体在多个硅棒之间定向流动并从还原炉周围散逸同时带走热量。冷却气体的温度高于环境温度并低于还原炉中部的硅棒温度。这样经过预热的冷却气体与硅棒或者炉内部件的温差较小(相对环境气体),在冷却过程中不容易产生炸裂。并且冷却气体的吹扫使得硅棒之间具有较快的气体流动,有利于冷却气体从还原炉中部的硅棒之间带走热量。多晶硅还原炉冷却系统包括了非接触式测温仪、加热装置、空气抽运泵、吹气装置以及连通以上各装置的管道。

    一种还原炉电极槽及四氟套清理装置

    公开(公告)号:CN207952064U

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201721918488.1

    申请日:2017-12-29

    IPC分类号: B08B1/04 B08B9/087

    摘要: 本实用新型公开了一种还原炉电极槽及四氟套清理装置,包括有铰刀刀头、连接管及转动机构,铰刀刀头和连接管均为筒状结构,铰刀刀头与连接管同轴连接,且铰刀刀头朝外凸出于连接管的表面之外;而转动机构与连接管连接形成对连接管及铰刀刀头的旋转驱动结构。本实用新型通过以连接管安装铰刀刀头,且连接管连接有转动机构,通过转动机构带动连接管及铰刀刀头旋转,使铰刀刀头上的刀齿结构对粉尘进行清理,整个装置的清理过程清洁高效、精度高、安全卫生、结构简单,易于实现,可以有效提高工作效率、降低工人劳动强度、提高设备的安全性。