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公开(公告)号：CN1197992C
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN02125790.6
申请日：2002-08-19
申请人： 乐金电子(天津)电器有限公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本发明是等离子体蒸镀设备防止凝缩装置。本发明涉及的是等离子体蒸镀装备方面的发明。本发明的结构包括有等离子体蒸镀工作间、驱动材料移动的卷绕机、与冷却套管连接的冷却机、装有液态耐腐蚀原料储藏容器、气体注入管，经热交换后的工作间冷却套管连接一个加热器，加热器与包围在气体注入管外周的外侧管连接。其优点是：由于在气体注入管外周包着高温的外侧管，可对气体注入管进行加热，所以能够防止通过气体注入管向工作间内部输送的六甲基二硅氧烷HMDSO凝缩。经热交换后工作间冷却套管的温水进入加热器加热，使水加热的时间短，节省能源，降低成本，蒸镀厚度的均匀性得到了保证。
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公开(公告)号：CN1223704C
公开(公告)日：2005-10-19
申请号：CN02125773.6
申请日：2002-08-19
申请人： 乐金电子(天津)电器有限公司
IPC分类号： C23C16/503 , C23C16/513
摘要： 本发明公开了一种利用等离子技术的高分子中和膜的制造设备，以在工程容器内部加工的铝板为中心，在工程容器内部上、下部放电电极的外侧，设置了上、下部对应电极，其上、下部对应电极连接在直流电源的正极，本发明也公开了利用等离子技术的高分子中和膜的方法，工程容器内安置阳极铝板，铝板的上、下部安置了阴极上、下部放电电极和阳极上、下部对应电极，工程容器内部压力维持真空状态后注入碳氢化气体，阳极和阴极之间相加0.5至2A的直流电使碳氢化气体电离，在铝板的表面形成具有亲水性高分子中和膜。
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公开(公告)号：CN1473958A
公开(公告)日：2004-02-11
申请号：CN02125773.6
申请日：2002-08-19
申请人： 乐金电子(天津)电器有限公司
IPC分类号： C23C16/503 , C23C16/513
摘要： 本发明公开了一种利用等离子技术的高分子中和膜的制造设备，在工程容器内部上、下部放电电极的外侧，设置了上、下部对应电极，其上、下部对应电极连接在直流电源的正极。在一个优选方式中，以工程容器内部的铝板为中心，上、下部放电电极保持40毫米间隙。在另一个优选方式中，上、下部放电电极和上、下部对应电极之间间隙应维持到70至130毫米。本发明也公开了利用等离子技术的高分子中和膜的方法，工程容器内安置阳极铝板，铝板的上、下部安置了阴极上、下部放电电极和阳极上、下部对应电极，工程容器内部压力维持真空状态后注入碳氢化气体，阳极和阴极之间相加0.5至2A的直流电使碳氢化气体电离，在铝板的表面形成具有亲水性高分子中和膜。
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公开(公告)号：CN1473956A
公开(公告)日：2004-02-11
申请号：CN02129143.8
申请日：2002-08-19
申请人： 乐金电子(天津)电器有限公司
摘要： 本发明公开了一种带有磁铁的等离子体的连续蒸镀装置，包括工艺间、上部电极、下部电机、开卷机、卷绕机和N/S极磁铁。上部电极作为负极设置在工艺间的内部上侧；下部电极也作为负极，与上部电极保持一定间距设置在工艺间的下侧；开卷机设置在工艺间的一侧，开卷机上卷绕有带状材料，带状材料用于向上部电极和下部电极之间进行供应；卷绕机设置在工艺间的另外一侧，卷绕机用于卷绕经过上部电极和下部电极之间进行等离子体蒸镀之后的材料；N/S极磁铁交替设置在上部电极和下部电极的后面，利用产生的磁场提高反应气体的离子化率。增加了电子与反应气体之间的冲撞概率，提高了蒸镀效率。
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公开(公告)号：CN1213167C
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN02129164.0
申请日：2002-08-19
申请人： 乐金电子(天津)电器有限公司
摘要： 本发明是提供一种等离子体连续镀膜装备的防止气体堵塞装置，其主要结构包括有镀膜工作间、工作间的入口侧设置有四角框形状的气体喷射管，沿着带有喷射孔气体喷射管的一侧固定设置有保护盖；保护盖的端面呈半圆形。本发明的效果是通过在四角框形状的气体喷射管一侧固定设置保护盖，在上部电极和下部电极之间产生等离子体的区域内，保护盖阻断了蒸镀物质向气体喷射管接近，防止了蒸镀物质蒸镀在气体喷射管上的喷射孔上，于是即使连续进行蒸镀作业，也能够从气体喷射管均匀喷射出气体，能够确保均匀的蒸镀。
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公开(公告)号：CN1213166C
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN02129143.8
申请日：2002-08-19
申请人： 乐金电子(天津)电器有限公司
摘要： 本发明公开了一种带有磁铁的等离子体的连续蒸镀装置，包括工艺间、上部电极、下部电机、开卷机、卷绕机和N/S极磁铁。上部电极作为负极设置在工艺间的内部上侧；下部电极也作为负极，与上部电极保持一定间距设置在工艺间的下侧；开卷机设置在工艺间的一侧，开卷机上卷绕有带状材料，带状材料用于向上部电极和下部电极之间进行供应；卷绕机设置在工艺间的另外一侧，卷绕机用于卷绕经过上部电极和下部电极之间进行等离子体蒸镀之后的材料；N/S极磁铁交替设置在上部电极和下部电极的后面，上下电极上设置的磁极是N极对着N极，S极对着S极。利用产生的磁场提高反应气体的离子化率。增加了电子与反应气体之间的冲撞概率，提高了蒸镀效率。
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公开(公告)号：CN1475598A
公开(公告)日：2004-02-18
申请号：CN02125790.6
申请日：2002-08-19
申请人： 乐金电子(天津)电器有限公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本发明是等离子体蒸镀设备防止凝缩装置。本发明涉及的是等离子体蒸镀装备方面的发明。本发明的结构包括有等离子体蒸镀工作间、驱动材料移动的卷绕机、与冷却套管连接的冷却机、装有液态耐腐蚀原料储藏容器、气体注入管，经热交换后的工作间冷却套管连接一个加热器，加热器与包围在气体注入管外周的外侧管连接。其优点是：由于在气体注入管外周包着高温的外侧管，可对气体注入管进行加热，所以能够防止通过气体注入管向工作间内部输送的六甲基二硅氧烷HMDSO凝缩。经热交换后工作间冷却套管的温水进入加热器加热，使水加热的时间短，节省能源，降低成本，蒸镀厚度的均匀性得到了保证。
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公开(公告)号：CN1473957A
公开(公告)日：2004-02-11
申请号：CN02129164.0
申请日：2002-08-19
申请人： 乐金电子(天津)电器有限公司
摘要： 本发明是提供一种等离子体连续镀膜装备的防止气体堵塞装置，其主要结构包括有镀膜工作间、工作间的入口侧设置有四角框形状的气体喷射管，沿着带有喷射孔气体喷射管的一侧固定设置有保护盖；保护盖的端面呈半圆形。本发明的效果是通过在四角框形状的气体喷射管一侧固定设置保护盖，在上部电极和下部电极之间产生等离子体的区域内，保护盖阻断了蒸镀物质向气体喷射管接近，防止了蒸镀物质蒸镀在气体喷射管上的喷射孔上，于是即使连续进行蒸镀作业，也能够从气体喷射管均匀喷射出气体，能够确保均匀的蒸镀。
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