带有磁铁的等离子体的连续蒸镀装置

    公开(公告)号:CN1213166C

    公开(公告)日:2005-08-03

    申请号:CN02129143.8

    申请日:2002-08-19

    IPC分类号: C23C16/50 C23C16/54 H01F41/20

    摘要: 本发明公开了一种带有磁铁的等离子体的连续蒸镀装置,包括工艺间、上部电极、下部电机、开卷机、卷绕机和N/S极磁铁。上部电极作为负极设置在工艺间的内部上侧;下部电极也作为负极,与上部电极保持一定间距设置在工艺间的下侧;开卷机设置在工艺间的一侧,开卷机上卷绕有带状材料,带状材料用于向上部电极和下部电极之间进行供应;卷绕机设置在工艺间的另外一侧,卷绕机用于卷绕经过上部电极和下部电极之间进行等离子体蒸镀之后的材料;N/S极磁铁交替设置在上部电极和下部电极的后面,上下电极上设置的磁极是N极对着N极,S极对着S极。利用产生的磁场提高反应气体的离子化率。增加了电子与反应气体之间的冲撞概率,提高了蒸镀效率。

    利用等离子体的金属耐腐蚀处理方法

    公开(公告)号:CN1420205A

    公开(公告)日:2003-05-28

    申请号:CN01139905.8

    申请日:2001-11-19

    摘要: 利用等离子体的金属耐腐蚀处理方法是:工程室内部的上部电极下部电极设置为负极,金属材料设置为正极;开卷机将卷绕的带状铝材送入工程室内部;送入的金属材料通过工程室连续被卷绕机卷绕;在上述状态下向工程室内部注入预热后的六甲基二硅氧烷或六甲基二硅氧烷和氦气的混合气体;工程室内部的温度控制在摄氏120~150度之间;同时,对金属材料和上部电极下部电极施加直流电压;金属材料和上部电极下部电极之间形成等离子体,利用该等离子体在金属材料的表面形成耐腐蚀性突出的厚度均匀的耐腐蚀性聚合膜,能长时间使金属材料保持耐腐蚀性,它特别适用于铝金属材料的耐腐蚀处理。

    热交换器表面处理装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100408721C

    公开(公告)日:2008-08-06

    申请号:CN02129146.2

    申请日:2002-08-19

    发明人: 曹川寿 尹东植

    IPC分类号: C23C16/00 C23C16/54 F28F19/02

    摘要: 本发明公开了一种热交换器表面处理装置。其包括可安装热交换器的多个载体;有序传送多个载体的传送部;可在热交换器表面连续形成表面处理膜的表面处理部;排列在表面处理部的两侧且可将安装有热交换器的载体装入或从表面处理部卸下的传送器;和当载体通过表面处理部时可将电源施加到安装在载体上的热交换器的电源引入部。本发明的热交换器表面处理装置是利用安装在载体两侧的上下部电极和设置在载体外部且可分别为上下部电极施加不同电压的上下部供电器来对大小不同的两种热交换器进行连续均一的表面处理,而且产品的质量十分稳定。

    热交换器表面处理装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1477367A

    公开(公告)日:2004-02-25

    申请号:CN02129146.2

    申请日:2002-08-19

    发明人: 曹川寿 尹东植

    IPC分类号: F28F19/02

    摘要: 本发明公开了一种热交换器表面处理装置。其包括可安装热交换器的多个载体;有序传送多个载体的传送部;可在热交换器表面连续形成表面处理膜的表面处理部;排列在表面处理部的两侧且可将安装有热交换器的载体装入或从表面处理部卸下的传送器;和当载体通过表面处理部时可将电源施加到安装在载体上的热交换器的电源引入部。本发明的热交换器表面处理装置是利用安装在载体两侧的上下部电极和设置在载体外部且可分别为上下部电极施加不同电压的上下部供电器来对大小不同的两种热交换器进行连续均一的表面处理,而且产品的质量十分稳定。

    利用等离子体的金属耐腐蚀处理方法

    公开(公告)号:CN1265020C

    公开(公告)日:2006-07-19

    申请号:CN01139905.8

    申请日:2001-11-19

    摘要: 利用等离子体的金属耐腐蚀处理方法是:工程室内部的上部电极下部电极设置为负极,金属材料设置为正极;开卷机将卷绕的带状铝材送入工程室内部;送入的金属材料通过工程室连续被卷绕机卷绕;在上述状态下向工程室内部注入预热后的六甲基二硅氧烷或六甲基二硅氧烷和氦气的混合气体;工程室内部的温度控制在摄氏120~150度之间;同时,对金属材料和上部电极下部电极施加直流电压;金属材料和上部电极下部电极之间形成等离子体,利用该等离子体在金属材料的表面形成耐腐蚀性突出的厚度均匀的耐腐蚀性聚合膜,能长时间使金属材料保持耐腐蚀性,它特别适用于铝金属材料的耐腐蚀处理。

    能进行连续处理的热交换器表面处理装置

    公开(公告)号:CN1475767A

    公开(公告)日:2004-02-18

    申请号:CN02125798.1

    申请日:2002-08-19

    发明人: 曹川寿 尹东植

    IPC分类号: F28F19/00 C23C14/48

    摘要: 一种能进行连续处理的热交换器表面处理装置,包括载体、传送部、表面处理部、输送器、电源发生器,为了和电源发生器进行导电连接,表面处理室设置有导电板,导电板位于输送载体的上部,导电板两侧设置有与导电板导电连接的滚轮,成对旋转的滚轮与移送的载体连接,当载体输送到表面处理室内部的时候,电源发生器提供的电源通过导电板和滚轮以及载体提供到热交换器上;为了挂住组装好的热交换机,载体设置有固定器。这种表面处理装置输送挂有多个热交换器的载体,连续进行等离子体镀的表面处理,有大量生产的效果。

    能进行连续处理的热交换器表面处理装置

    公开(公告)号:CN1273793C

    公开(公告)日:2006-09-06

    申请号:CN02125798.1

    申请日:2002-08-19

    发明人: 曹川寿 尹东植

    IPC分类号: F28F19/00 C23C14/48

    摘要: 一种能进行连续处理的热交换器表面处理装置,包括载体、传送部、表面处理部、输送器、电源发生器,为了和电源发生器进行导电连接,表面处理室设置有导电板,导电板位于输送载体的上部,导电板两侧设置有与导电板导电连接的滚轮,成对旋转的滚轮与移送的载体连接,当载体输送到表面处理室内部的时候,电源发生器提供的电源通过导电板和滚轮以及载体提供到热交换器上;为了挂住组装好的热交换机,载体设置有固定器。这种表面处理装置输送挂有多个热交换器的载体,连续进行等离子体镀的表面处理,有大量生产的效果。

    利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装置清洗方法

    公开(公告)号:CN1206387C

    公开(公告)日:2005-06-15

    申请号:CN02129155.1

    申请日:2002-08-19

    IPC分类号: C23C16/00 C23C16/50

    摘要: 本发明公开了一种利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装置清洗方法。其包括将储气罐内的气体载体提供给贮槽,以使储藏在贮槽内的六甲基二硅氧烷发泡的阶段;向工程间内部注入发泡六甲基二硅氧烷的阶段;向设置在工程间内部的上部电极、下部电极以及材料上施加直流电源的阶段;和剥离附着在上部电极、下部电极表面上碳化物的阶段。本发明的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装置清洗方法是利用向工程间内部提供发泡六甲基二硅氧烷的方法来剥离附着在上部电极、下部电极表面上的碳化物而无需将电极进行拆卸,这样不仅可节省清洗时间,而且清洗过程比较简单,并且提高了生产效率。

    带有磁铁的等离子体的连续蒸镀装置

    公开(公告)号:CN1473956A

    公开(公告)日:2004-02-11

    申请号:CN02129143.8

    申请日:2002-08-19

    IPC分类号: C23C16/50 C23C16/54 H01F41/20

    摘要: 本发明公开了一种带有磁铁的等离子体的连续蒸镀装置,包括工艺间、上部电极、下部电机、开卷机、卷绕机和N/S极磁铁。上部电极作为负极设置在工艺间的内部上侧;下部电极也作为负极,与上部电极保持一定间距设置在工艺间的下侧;开卷机设置在工艺间的一侧,开卷机上卷绕有带状材料,带状材料用于向上部电极和下部电极之间进行供应;卷绕机设置在工艺间的另外一侧,卷绕机用于卷绕经过上部电极和下部电极之间进行等离子体蒸镀之后的材料;N/S极磁铁交替设置在上部电极和下部电极的后面,利用产生的磁场提高反应气体的离子化率。增加了电子与反应气体之间的冲撞概率,提高了蒸镀效率。

    利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装置清洗方法

    公开(公告)号:CN1473954A

    公开(公告)日:2004-02-11

    申请号:CN02129155.1

    申请日:2002-08-19

    IPC分类号: C23C16/00 C23C16/50

    摘要: 本发明公开了一种利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装置清洗方法。其包括向工程间内部注入发泡六甲基二硅氧烷的阶段;向设置在工程间内部的上部电极、下部电极以及材料上施加直流电源的阶段;和剥离附着在上部电极、下部电极表面上碳化物的阶段。本发明的利用等离子体的高分子膜连续蒸镀装置清洗方法是利用向工程间内部提供发泡六甲基二硅氧烷的方法来剥离附着在上部电极、下部电极表面上的碳化物而无需将电极进行拆卸,这样不仅可节省清洗时间,而且清洗过程比较简单,并且提高了生产效率。