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公开(公告)号：CN118374776A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410481045.9
申请日：2024-04-22
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司 , 隆华科技集团(洛阳)股份有限公司
摘要： 本发明涉及溅射靶材技术领域，具体而言，涉及一种钼基合金靶材及其制备方法和应用。钼基合金靶材包括按照原子数百分含量计的如下组分：镍10％～25％、钛10％～25％、铜0.01％～1％、铼0.01％～1％，以及余量的钼和不可避免的杂质。该钼基合金靶材作为阻隔层与铜膜层的附着性好，结合力强，蚀刻性能更匹配，且该钼基合金靶材中各元素分布的均匀性好。
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公开(公告)号：CN118005395B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410126589.3
申请日：2024-01-30
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司
IPC分类号： C04B35/495 , C23C14/35 , C23C14/08 , C04B35/622 , C04B35/645
摘要： 本发明涉及溅射靶材技术领域，且公开了一种氧化钼靶材及制备方法，氧化钼靶材的制备方法包括以下步骤：将钼酸铵在还原气氛下进行多温区还原处理，得到高纯氧化钼粉体；将高纯氧化钼粉体进行过筛处理并压制成型，得到压制坯；将压制坯进行热等静压烧结，得到氧化钼靶材烧结坯；将烧结坯进行机械加工处理，得到所需氧化钼靶材；本发明的氧化钼靶材具有一定导电率的氧化钼溅射靶材，能够适用于磁控溅射直流电源设备需求，更有利于满足磁控溅射制备氧化钼膜层的实际应用。
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公开(公告)号：CN118241068A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410409318.9
申请日：2024-04-07
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司
摘要： 本发明提供一种钼钛合金溅射靶材及其制备方法，该钼钛合金溅射靶材的制备方法为：按摩尔份数取40~70份钼粉和30~60份氢化钛粉，在氩气气氛下球磨混合均匀，得到混合粉末；将混合粉末置于真空热处理炉中进行加热预处理；将加热预处理后的混合粉末在氩气气氛下进行气流磨去团聚处理，得到合金粉末；将合金粉末进行胶套装粉，然后冷等静压成型，得到素坯；将素坯用不锈钢包套焊接，抽真空封口，然后进行热等静压作业，得到烧结坯；对烧结坯进行切片加工，得到若干靶坯；对靶坯进行真空退火处理后进行机加工，即得到靶材。采用本发明制备的钼钛合金溅射靶材致密度高，晶粒细小且组织均匀，钼钛合金化程度高，氧、氢等非金属杂质含量低。
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公开(公告)号：CN118005395A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410126589.3
申请日：2024-01-30
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司
IPC分类号： C04B35/495 , C23C14/35 , C23C14/08 , C04B35/622 , C04B35/645
摘要： 本发明涉及溅射靶材技术领域，且公开了一种氧化钼靶材及制备方法，氧化钼靶材的制备方法包括以下步骤：将钼酸铵在还原气氛下进行多温区还原处理，得到高纯氧化钼粉体；将高纯氧化钼粉体进行过筛处理并压制成型，得到压制坯；将压制坯进行热等静压烧结，得到氧化钼靶材烧结坯；将烧结坯进行机械加工处理，得到所需氧化钼靶材；本发明的氧化钼靶材具有一定导电率的氧化钼溅射靶材，能够适用于磁控溅射直流电源设备需求，更有利于满足磁控溅射制备氧化钼膜层的实际应用。
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公开(公告)号：CN115971496A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202310061501.X
申请日：2023-01-17
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司
IPC分类号： B22F8/00 , B22F3/04 , B22F3/10 , C23C4/02 , C23C4/134 , C23C4/137 , C23C4/08 , C23C14/34 , B22F3/18 , B22F3/17 , C23C14/35
摘要： 本发明属于溅射靶材技术领域，具体涉及一种钼残靶再利用的方法，所述方法包括以下步骤：(1)将钼残靶切割为钼块；(2)将步骤(1)得到的钼块进行表面预处理；(3)将步骤(2)得到的钼块进行真空等离子喷涂；(4)将步骤(3)得到的钼块与钼粉混合装入胶套模具进行压制成型；(5)将步骤(4)得到的压制钼坯进行烧结；(6)热塑性变形步骤(5)得到的烧结钼坯，得到钼金属产品。本发明钼残靶再利用的方法钼残靶回收率达到95％以上，制备的钼金属产品纯度达到99.95wt％以上，满足靶材制备的指标要求，实现了靶材的循环利用，而且工艺简单，成本低廉，符合产业化推广使用的要求。
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公开(公告)号：CN115925416A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202310056113.2
申请日：2023-01-17
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司
IPC分类号： C04B35/495 , C04B35/622 , C04B35/645
摘要： 本发明属溅射靶材技术领域，具体涉及一种氧化钽靶材及其制备方法。该方法制备过程包括步骤S1提供氧化钽粉体；S2将氧化钽粉体采用冷等静压方法压制成型；S3将压制坯在氧气气氛中进行两步烧结成型；S4靶材烧结完成后进行机械加工处理；通过该发明得到高致密度、晶粒尺寸均匀的氧化钽溅射靶材，同时该方法更容易制备大规格的溅射靶材，完全克服热压或热等静压设备对溅射靶材尺寸的限制，更有利于满足磁控溅射制备氧化钽膜层的实际应用。
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公开(公告)号：CN218965087U
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202320113961.8
申请日：2023-01-17
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种管状靶材表面打磨装置，属于管件打磨设备技术领域，其包括加工台，以及设置在加工台上的靶材驱动部件、靶材支撑部件和滑动打磨部件；靶材驱动部件包括管驱动电机、卡盘、锥形顶块和滑动块，管驱动电机固定设置在加工台上，管驱动电机的输出轴与卡盘连接，卡盘与靶材背管一端连接，靶材背管另一端与锥形顶块连接，锥形顶块外侧可转动地设置滑动块，滑动块与加工台滑动连接；靶材支撑部件包括伸缩杆和弧形支撑杆，伸缩杆上端设置弧形支撑杆，靶材支撑部件的数量至少为两个。本实用新型管状靶材表面打磨装置，安装靶材方便，提高打磨效率。
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公开(公告)号：CN219256541U
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202320657788.8
申请日：2023-03-29
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司 , 隆华科技集团(洛阳)股份有限公司
摘要： 本实用新型提供作用于等静压机中靶材成型单元的抽真空设备，属于等静压机靶材成型技术领域。作用于等静压机中靶材成型单元的抽真空设备，包括真空抽压单元，所述真空抽压单元与等静压机靶材成型设备的腔体间通过密封胶圈连接，所述密封胶圈设置在所述等静压机靶材成型设备中的泄气孔上，所述真空抽压单元包括耐压外壳、设置在所述耐压外壳中的两组负压腔体，两组所述负压腔体之间设置金属隔板。采用往复式负压抽真空装置，实现在较小空气流速的基础上，进行对靶材粉料的抽真空作业，对比传统的轴流式作业模式，提高装置的使用寿命和粉料利用率，防止污染环境。
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公开(公告)号：CN219658536U
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202320657789.2
申请日：2023-03-29
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司 , 隆华科技集团(洛阳)股份有限公司
IPC分类号： H01F41/02
摘要： 本实用新型提供稀土磁性材料烧结所用的料盒，属于钕铁硼材料技术领域。稀土磁性材料烧结所用的料盒，包括盒体，所述盒体包括矩形结构的环形架、设置在所述环形架四个角上的角钢、设置在所述环形架两对应边外侧上的连接单元，所述环形架为金属长板与金属短板拼接成的长方形金属架，所述长方形金属架的四个角上设置的铆钉用于固定所述角钢，所述环形架的上下两端设置用于安装盖板的凹槽。设计一种磁性材料烧结所用的料盒，进一步的简化结构设计，采用堆叠模式的结构原理，提高装置的适用范围。
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公开(公告)号：CN219255967U
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202223550834.9
申请日：2022-12-29
申请人： 丰联科光电(洛阳)股份有限公司
摘要： 本实用新型用于管状靶材成型的送料装置，属于冷等静压靶材成型技术领域。用于管状靶材成型的送料装置，包括固定在冷等静压机上的结构框架，所述结构框架中设置的套筒、所述套筒内设置的芯棒，所述芯棒通过锁紧工装固定在冷等静压机上，所述套筒上边缘设置锥台形漏斗，所述套筒与振动电机相连接，所述锥台形漏斗与所述套筒之间设置密封垫圈。采用斗式振动送料的进给模式，使得进给物料均匀地分布在圆环状进料腔内，针对冷等静压管状靶材的制造过程，确保物料送料过程的均匀一致。
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