公开(公告)号：CN103890230A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280053151.2

申请日：2012-10-25

Applicant: 丰田自动车株式会社

Inventor： 前川谅介 ,  粟野宏基 ,  松永朋也 ,  武田雄一郎 ,  酒井武信

IPC: C23C18/12

CPC classification number: H01L31/18 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1245 ,  C23C18/1283 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02425 ,  H01L21/02554 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02628 ,  H01L31/0256 ,  H01L31/1832 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 制造ZnMgO膜的方法，该方法依次包括以下步骤：将锌材料和镁材料溶解在氨水溶液中，所述氨水溶液具有这样的温度：在该温度时，在纵轴表示锌离子浓度和镁离子浓度、横轴表示pH值的水溶液状态图中，由产生Zn(OH)2沉淀的区域和ZnO22-能够存在的区域所界定的线α位于比由镁离子能够存在的区域和产生Mg(OH)2沉淀的区域所界定的线β更低的pH值侧，以及，调节所述氨水溶液的pH值以及所述氨水溶液内的锌离子浓度和镁离子浓度，以获得位于线α和线β之间的区域内的状态；使所述氨水溶液的温度升高至一温度，在该温度时产生Zn(OH)2和Mg(OH)2沉淀；以及灼烧沉淀物。