激光加工装置以及激光加工方法

    公开(公告)号:CN101965243A

    公开(公告)日:2011-02-02

    申请号:CN200980106483.0

    申请日:2009-02-19

    CPC classification number: G02B26/101 B23K26/064 B23K26/082 B23K26/389

    Abstract: 激光加工装置(11)包括第一偏移机构(31),其包括:第一透明部件(41),具有彼此平行的第一入射面(43)和第一出射面(44);第一马达(42),使得第一透明部件以第一转动轴为中心转动;第一偏移机构使得与第一入射面的入射光平行地从第一出射面出射的激光L向第一方向偏移。激光加工装置还包括第二偏移机构(32),其包括:第二透明部件(46),具有彼此平行的第二入射面(48)和第二出射面(49);第二马达(47),使得第二透明部件以第二转动轴为中心转动;第二偏移机构使得与第二入射面的入射光平行地从第二出射面出射的激光L向第二方向偏移。通过聚光透镜(22)汇聚从第二偏移机构(32)偏移的激光L以加工工件W1。通过该结构,能够自由控制通过激光加工形成的孔的锥角。

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