一种提升管内壁磁控溅射镀膜结合力的方法

    公开(公告)号:CN116162889A

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202211104017.2

    申请日:2022-09-09

    摘要: 本发明涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种提升管内壁磁控溅射镀膜结合力的方法。本发明首先去除管工件表面锈斑、油渍和灰尘,后处理得到预处理件;然后将预处理件装炉后高真空烘烤去除预处理件表面吸附的气体和残留有机物;最后将高真空烘烤的预处理件经柱靶磁控溅射镀膜后从炉中取出。本发明的一种提升管内壁磁控溅射镀膜结合力的方法通过细化管工件预处理流程,获得了更加洁净的管工件表面,同时在试验前增加管工件高真空烘烤步骤,在预处理的基础上进一步清洁管工件表面,除去了管工件表面吸附的气体及油污,有利于提高薄膜结合力,还提高了镀膜开始前管工件表面的温度,这也有利于溅射的靶材原子与管工件紧密结合。

    一种密闭空间内剧毒气体的检测装置

    公开(公告)号:CN115356442A

    公开(公告)日:2022-11-18

    申请号:CN202210980957.1

    申请日:2022-08-16

    IPC分类号: G01N33/00 G01N1/24

    摘要: 本发明涉及气体检测技术领域,且公开了一种密闭空间内剧毒气体的检测装置,包括密封箱体,密封箱体上设置有仓门,还包括进气阀,密封箱体的顶部设置有进气阀,密封箱体的底部设置有第一排气阀,进气阀的排气端与第一排气阀的进气端通过芯管连通。该密闭空间内剧毒气体的检测装置,通过密封箱体配合真空泵、进气阀、第一排气阀、第二排气阀、芯管、三通管、取样阀、取样管和气体检测组件对待测密闭空间内部气体进行抽取及检测,从而避免气体在检测过程中与人员接触而引发安全事故的情况发生,同时通过芯管与密封箱体双腔体便于控制流过气体检测组件的气压差,实现简单方便高精度检测及高安全性的效果。

    一种用于铈铁合金的铈金属电解精炼分离纯化方法

    公开(公告)号:CN115928156A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202110959415.1

    申请日:2021-08-20

    IPC分类号: C25C3/34 C25C7/06

    摘要: 本发明涉及冶金领域,尤其涉及一种用于铈铁合金的铈金属电解精炼分离纯化方法。所述方法,包括以下步骤:步骤S1:确定铈铁合金的阳极溶解率;步骤S2:利用阳极的极化曲线,获取铈、铁和铈铁合金的溶解顺序,从而确定电解电压;步骤S3:将铈铁合金在以氧化铝为阳极的KCl‑CeCl3熔盐体系中进行电解精炼,控制所述阳极溶解率以及电解电压的边界条件,电解精炼结束后,通过ICP元素分析原料和精炼后产品的Ce、Fe元素含量,确定电解精炼对Fe的分离效果。本发明能够分离纯化铈金属,具有分离效率高、纯化效果好等优点。

    一种特种金属连续电解精炼设备及方法

    公开(公告)号:CN115595630A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202110776995.0

    申请日:2021-07-09

    IPC分类号: C25C7/06 C25C1/22 C25C7/08

    摘要: 本发明涉及金属电解精炼领域,尤其涉及一种特种金属连续电解精炼设备及方法。所述设备包括:电解室、剥料收集室和接料盒,剥料收集室与电解室的上部连接,两者之间设置有隔离密封门;电解室内的底部设置有加热炉体,加热炉体的顶部设置有阳极金属板;阳极金属板上连接有置料篮;加热炉体与阳极金属板及置料篮绝缘;电解室的顶部设置有丝杆自动升降单元,丝杆自动升降单元底部通过连接杆连接阴极;剥料收集室内设置有自动剥料单元,以及阴极转移单元;阴极转移单元,设置于所述剥料收集室的上部;接料盒与所述剥料收集室的底部开口连接,设置于自动剥料单元的下方。本发明符合金属特种金属连续电解精炼生产工作,产品直接收集率高。

    一种基于磁控溅射的镀膜系统及方法

    公开(公告)号:CN115491645A

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202211138872.5

    申请日:2022-09-19

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/50

    摘要: 本发明提供一种基于磁控溅射的镀膜系统及方法,其中,所述系统包括:支撑单元,所述支撑单元设置于镀膜所需的真空腔室内,所述支撑单元外部环设有永磁铁,所述永磁铁在靶材表面形成跑道形的封闭磁场;靶材,所述靶材环设于所述永磁体的外部;待镀膜管道,所述待镀膜管道套设于所述靶材的外部,且所述待镀膜管道的一端通过夹具与所述真空腔室固定连接;电源,所述电源与所述靶材电连接,所述靶材通电后,在真空腔室内产生电场,在所述永磁铁产生的磁场及电场的作用下,所述靶材表面的原子逸出并溅射到所述待镀膜管道的内壁成膜。本发明提供的方案,可以提高镀膜时薄膜厚度的均匀性。

    一种用于磁控溅射放射性逸散粒子的捕集组件

    公开(公告)号:CN218146911U

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202222286156.3

    申请日:2022-08-29

    IPC分类号: C23C14/35

    摘要: 本实用新型涉及磁控溅射装备技术领域,尤其是涉及一种用于磁控溅射放射性逸散粒子的捕集组件,配合圆柱形真空室使用,包括支撑结构,所述支撑结构的外侧设有柔性薄膜,所述支撑结构位于真空室内部且所述柔性薄膜固定在所述真空室内壁及所述支撑结构之间。本实用新型的捕集组件,能够实现放射性靶材磁控溅射镀膜过程中,真空室内壁的屏蔽,降低放射性靶材物质对真空室的污染,同时收集了沉积在真空室的放射性靶材物质,减少了放射性固体废物量,降低了放射性靶材物质回收的难度。

    一种用于异型球壳工件表面的电镀装置

    公开(公告)号:CN220767226U

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN202322591115.X

    申请日:2023-09-22

    IPC分类号: C25D17/06 C25D7/00 C25D21/10

    摘要: 本实用新型涉及电镀装置技术领域,尤其是涉及一种用于异型球壳工件表面的电镀装置。包括电镀槽,所述电镀槽中对称设有两个阳极,两个所述阳极中间设有阴极挂具,所述阴极挂具的底部设有圆环,所述圆环上设有若干个凸起的触点,所述阴极挂具与升降装置连接,所述升降装置与电镀电源连接。通过设置带有圆环的阴极挂具,同时在圆环上设置凸起的触点,使用时将待电镀的异型球壳工件放置在圆环上,对异型球壳工件进行支撑,通过点触的方式对异型球壳工件表面进行电镀,增加镀层厚度的均匀性,并且减少电镀过程中支点泡的产生。

    一种用于液态铈金属的电解精炼装置

    公开(公告)号:CN216074053U

    公开(公告)日:2022-03-18

    申请号:CN202121702413.6

    申请日:2021-07-26

    IPC分类号: C25C3/34 C25C7/02 C25C7/00

    摘要: 本实用新型涉及冶金领域,尤其涉及一种用于液态铈金属的电解精炼装置。所述用于液态铈金属的电解精炼装置,阴极为环状钽阴极,通过焊接方式与两根导电杆连接。本实用新型的用于液态铈金属的电解精炼装置,将钽阴极框缩小为环状,最大限度地减小了电解时阴极暴露在熔盐中的面积,抑制了Ce3+仍在熔盐‑阴极界面上的放电,同时将钽阴极环置于坩埚底部,使Ce3+主要在熔盐‑铈熔池界面上放电。缩小阴极面积,也可以减少金属液滞留。实验结果表明,明显改善阴极产物成型且提高收率到90%左右。