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公开(公告)号：CN114088188A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202111401909.4
申请日：2021-11-19
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种振动测量系统，包括：激光器、准直透镜、多象限光电探测器及信号调理电路。其中，激光器用于发射激光光束；准直透镜设置在激光器的输出光路上，用于将激光光束转换成准直光束；多象限光电探测器设置在激光器的输出光路上，且固定在被测物上，用于根据接收的准直光束产生各象限对应的光电流信号；信号调理电路与多象限光电探测器连接，用于根据各象限对应的光电流信号确定被测物的振动信号。本发明结合电测法和光测法的优势，采用多象限光电探测器探测各象限对应的光电流信号，利用信号调理电路对光电流信号进行处理，从而确定被测物的振动信号，测量准确度高、灵敏度高，频率响应范围大。
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公开(公告)号：CN118937357A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411095282.8
申请日：2024-08-09
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
Abstract: 本发明公开一种光栅表面缺陷定性和定量检测装置及方法，涉及精密仪器检测领域。所述检测装置包括：激光器、传输分光组件、第一光接收器、第二光接收器和分析仪；所述第一光接收器和所述第二光接收器均与所述分析仪连接。本发明实施例利用对光栅反射的相互干涉的衍射光进行合束，得到干涉光，然后对干涉光进行分束，得到偏振方向相同且相位不同的分束光，通过对偏振方向相同且相位不同的分束光进行相位解算的方式实现光栅表面缺陷的定性和定量的检测，并且本发明实施例对干涉光进行测量，克服了由于光栅表面对环境光反射造成的图像检测精度低的缺陷，提高了检测精度。
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公开(公告)号：CN119419156A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411367913.7
申请日：2024-09-29
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
IPC: H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/66
Abstract: 本发明公开了一种晶圆无损姿态调节装置，涉及晶圆姿态调整技术领域，包括真空吸盘、限位上裙摆、限位下裙摆、二维移动平台和控制器，所述真空吸盘安装于所述限位上裙摆的上端，所述真空吸盘的上表面设有多个吸附孔，所述真空吸盘用于吸附晶圆，所述限位上裙摆设置于所述限位下裙摆的上方，所述限位上裙摆的下表面和所述限位上裙摆的上表面之间设有若干个调节伸缩杆，所述调节伸缩杆用于调节所述限位上裙摆的位置，所述限位下裙摆安装于所述二维移动平台上，所述二维移动平台能够带动所述限位下裙摆沿水平方向上移动，所述调节伸缩杆和所述二维移动平台均与所述控制器电连接。本发明能够实现机械调整晶圆位置，无需人工参与，晶体位置调整精确。
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公开(公告)号：CN114088188B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202111401909.4
申请日：2021-11-19
Applicant: 中国计量科学研究院 , 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明公开了一种振动测量系统，包括：激光器、准直透镜、多象限光电探测器及信号调理电路。其中，激光器用于发射激光光束；准直透镜设置在激光器的输出光路上，用于将激光光束转换成准直光束；多象限光电探测器设置在激光器的输出光路上，且固定在被测物上，用于根据接收的准直光束产生各象限对应的光电流信号；信号调理电路与多象限光电探测器连接，用于根据各象限对应的光电流信号确定被测物的振动信号。本发明结合电测法和光测法的优势，采用多象限光电探测器探测各象限对应的光电流信号，利用信号调理电路对光电流信号进行处理，从而确定被测物的振动信号，测量准确度高、灵敏度高，频率响应范围大。
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公开(公告)号：CN118299297A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410434611.0
申请日：2024-04-11
Applicant: 深圳中国计量科学研究院技术创新研究院
Abstract: 本发明公开了一种晶圆污染物标准片的制备装置及制备方法，涉及标准物质制备技术领域。该制备装置包括液滴沉积系统、液滴观测系统和晶圆位移控制系统；所述的液滴沉积系统包括液滴喷墨头、供液部、喷头控制器；所述的液滴观测系统包括显微镜、LED频闪灯、CCD相机、图像分析装置；所述的晶圆位移控制系统包括位移台、载物台和位移控制器。该制备装置通过液滴喷墨头发生一系列包含单个粒子的单分散液滴，并对其进行分离定位，从而有效避免同一位置沉积复数颗粒，进而有效避免颗粒团聚导致的粒径变化，确保晶圆表面附着颗粒粒径的一致性；通过控制沉积液滴的数量能精准地控制晶圆表面沉积的颗粒数量，还能有效控制颗粒在晶圆表面的沉积位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111399206A
公开(公告)日：2020-07-10
申请号：CN202010331853.9
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种落射式紫外光学显微镜光源多维调节机构，主要包括用于转换光路的落射照明盒、支撑零部件用的笼杆、安装各种透镜的笼板、光圈可调的可变光阑以及安装并调节紫外光源用的光学调整架。通过调节安装透镜的笼板和安装紫外光源的光学调整架在笼杆上的位置，能够实现成像要求的紫外光源的消色差、扩束和准直，通过移动可变光阑上的拨杆，能够调节紫外光源入射到落射照明盒的光束范围，通过调节安装紫外光源的光学调整架上面的旋转调节螺钉，能够实现紫外光源在俯仰、偏摆方向的微调，紫外光学显微镜在三种紫外光源调节方式下，互相配合，共同作用，从而达到高分辨率成像的显微镜光源需求。
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公开(公告)号：CN110208936B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN201910468723.7
申请日：2019-05-31
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种用于共聚焦显微镜探测针孔的纳米级微位移调节装置，由设置在下基座上的驱动器支撑上基座并对其进行快速、大行程的一级调节，由安装在上基座上的三维精密微位移平台对针孔盘进行三维方向的精密二级调节，通过上述双级调节可有效消除传统手动调节方式所带来的不确定性和不稳定性，以及现有光路调整机构可调行程小和应用范围受限的缺陷，并且上述一级大行程快速调节部分和二级精密微调部分可单独使用，以应用于相应需求场合。本发明通过控制器控制其进行纳米微位移调节，可使装置在工作过程中运行稳定、重复性好，从而使调节精度得到保障，实用性强。
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公开(公告)号：CN117629078A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311625089.6
申请日：2023-11-30
Applicant: 中国计量科学研究院
Abstract: 本发明公开一种翼型光学结构的精密位移传感器，涉及精密位移测量领域，包括：第一折光装置和第二折光装置分别位于第一偏振分光镜的第一侧面、第二侧面、第三侧面和第四侧面；激光被第一偏振分光镜分为第一偏振光和第二偏振光；第一偏振光经过第一折光装置入射双凸透镜，经双凸透镜汇聚入射光栅，得到的+1级衍射光束经第一折光装置和第一偏振分光镜后得到第一反射光；第一反射光入射至探测器装置；第二偏振光经第二折光装置入射双凸透镜，经双凸透镜汇聚入射光栅，得到的‑1级衍射光束经第二折光装置和第一偏振分光镜后得到第二反射光；第二反射光入射至探测器装置；探测器装置实现位移测量。本发明提高了光路结构抗环境干扰的能力。
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公开(公告)号：CN112902826B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202110441050.3
申请日：2021-04-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开一种杠杆式表面轮廓测量传感器，涉及零件几何轮廓测量技术领域，包括杠杆测量模块、测量力恒定控制模块、测量范围调整模块和数据处理模块；杠杆测量模块包括触针、杠杆和支点，杠杆转动安装于支点上，触针安装于杠杆的第一端，用于与被测样品接触，被测样品放置在载物台上；测量力恒定控制模块包括力传感器、力补偿装置和连接杆，力传感器以及力补偿装置均与数据处理模块连接，力传感器安装于载物台的下方，连接杆与杠杆的第二端连接，力补偿装置与连接杆连接；测量范围调整模块与数据处理模块连接，实现测量范围的调整。本发明在测量过程中控制测量力恒定，增加测量结果的真实性与可信度，并且实现对不同范围的轮廓进行高精度测量。
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公开(公告)号：CN112902826A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110441050.3
申请日：2021-04-23
Applicant: 中国计量科学研究院
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开一种杠杆式表面轮廓测量传感器，涉及零件几何轮廓测量技术领域，包括杠杆测量模块、测量力恒定控制模块、测量范围调整模块和数据处理模块；杠杆测量模块包括触针、杠杆和支点，杠杆转动安装于支点上，触针安装于杠杆的第一端，用于与被测样品接触，被测样品放置在载物台上；测量力恒定控制模块包括力传感器、力补偿装置和连接杆，力传感器以及力补偿装置均与数据处理模块连接，力传感器安装于载物台的下方，连接杆与杠杆的第二端连接，力补偿装置与连接杆连接；测量范围调整模块与数据处理模块连接，实现测量范围的调整。本发明在测量过程中控制测量力恒定，增加测量结果的真实性与可信度，并且实现对不同范围的轮廓进行高精度测量。
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