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公开(公告)号：CN118064970A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410414999.8
申请日：2024-04-08
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明涉及半导体设备技术领域，特别涉及一种碳化硅外延生长反应室，包括：第一发热体与第二发热体，所述第二发热体的内部的顶端设有放置槽，所述第一发热体外表面套接有第一连接板，所述第二发热体的外表面套接有第二连接板，所述第一连接板与第二连接板的端面分别设有第一连接孔与第二连接孔，所述第一连接孔与第二连接孔分别活动连接第一连接轴与第二连接轴，所述第一连接轴与第二连接轴设置在第一端板的一侧面，所述第一端板的端面连接保温筒，通过设置第一端板，实现对第一发热体与第二发热体的固定，可在使用过程中，防止第一发热体与第二发热体在保温筒内会发生相对旋转，导致散热路径发生改变，从而影响反应室温场分布。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118099040A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410426713.8
申请日：2024-04-10
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公布了一种晶圆清洗装置，包括晶圆件A，还包括清洗箱、毛刷座、第一传动辊、第二传动辊和电机，所述清洗箱的一侧贯穿连接有排污管，且排污管连通在清洗箱内壁底部，本发明的有益效果是，首先通过设置的第一传动辊和第二传动辊相互配合，从而能够对放入的晶圆件进行夹持定位，然后通过设置的电机能够驱动夹持的晶圆件在清洗箱内部旋转，最后将清洗箱注入清洗液，使设置的晶圆件前后的两个刷条对其进行刷洗，结构合理，能够使晶圆件旋转刷洗，能够提高清洁的效果。
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公开(公告)号：CN222421896U
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202420730643.0
申请日：2024-04-10
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本实用新型公布了一种晶圆清洗装置，包括晶圆件A，还包括清洗箱、毛刷座、第一传动辊、第二传动辊和电机，所述清洗箱的一侧贯穿连接有排污管，且排污管连通在清洗箱内壁底部，本实用新型的有益效果是，首先通过设置的第一传动辊和第二传动辊相互配合，从而能够对放入的晶圆件进行夹持定位，然后通过设置的电机能够驱动夹持的晶圆件在清洗箱内部旋转，最后将清洗箱注入清洗液，使设置的晶圆件前后的两个刷条对其进行刷洗，结构合理，能够使晶圆件旋转刷洗，能够提高清洁的效果。
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公开(公告)号：CN222779359U
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN202421487764.3
申请日：2024-06-27
Applicant: 中国计量大学
IPC: B24B37/10 , B24B37/30 , B24B37/34 , B24B49/04 , B24B37/005
Abstract: 本实用新型公开了一种改善晶圆抛光平整度的抛光装置，包括底座和抛光仓，所述底座顶部的一端安装有抛光仓，且底座顶部远离抛光仓的一端安装有步进电机，所述步进电机的输出端安装有第一转轴，且第一转轴的顶部安装有转动板，所述抛光仓内部的底部安装有第三伺服电机。本实用新型安装有第二伺服电机、第二转轴、抛光磨片、磁性抛光盘、第三转轴和第三伺服电机，抛光时，第二伺服电机通过第二转轴带动抛光磨片顺时针转动，可通过抛光磨片对晶圆进行抛光处理，且第三伺服电机通过第三转轴带动磁性抛光盘逆时针转动，即可带动晶圆转动，可将晶圆不同位置处转动至抛光磨片下方进行抛光处理，有利于将晶圆抛光均匀。
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公开(公告)号：CN222434682U
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202420706255.9
申请日：2024-04-08
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别涉及一种碳化硅外延生长反应室，包括：第一发热体与第二发热体，所述第二发热体的内部的顶端设有放置槽，所述第一发热体外表面套接有第一连接板，所述第二发热体的外表面套接有第二连接板，所述第一连接板与第二连接板的端面分别设有第一连接孔与第二连接孔，所述第一连接孔与第二连接孔分别活动连接第一连接轴与第二连接轴，所述第一连接轴与第二连接轴设置在第一端板的一侧面，所述第一端板的端面连接保温筒，通过设置第一端板，实现对第一发热体与第二发热体的固定，可在使用过程中，防止第一发热体与第二发热体在保温筒内会发生相对旋转，导致散热路径发生改变，从而影响反应室温场分布。
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公开(公告)号：CN221147647U
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202322984022.3
申请日：2023-11-06
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本实用新型公开了光电传感器，包括传感器底座以及固定设置在传感器底座顶端两侧的安装立架，两个安装立架的中部均转动设置有调节丝杆，两个调节丝杆的中部均传动连接有丝杆滑套，两个丝杆滑套上均固定设置有调节架，两个调节架之间安装有光电传感器主体，传感器底座的底端固定设置有隔离封壳，隔离封壳的内侧固定安装有用于调节光电传感器位置的齿轮调节机构，调节架的中部开设有中通孔，本实用新型光电传感器，该光电传感器在底座上增设有齿轮调节机构，可根据实际的教学或实验需要，灵活稳定的调整光通路的位置，调节操作简单流畅，平稳度高，有利于提高光电传感器的适用范围，具有便于调节、精准度高以及便于维护的特点。
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