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公开(公告)号：CN118604569A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410691150.5
申请日：2024-05-30
申请人： 中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
IPC分类号： G01R31/28
摘要： 本发明属于集成电路测试设备相关技术领域，公开了一种间距可调整的差分通道信号读取装置，其包括连接底座、位移台、射频探针、探针显示单元和信号转接器，其中两个位移台分别固定设置于连接底座上；两个射频探针各自安装在位移台上，可实现XYZ轴平面内的平移并用于测量集成电路差分信号的+端和－端；探针显示单元用于观测射频探针的位置及其针尖与被测对象的对接数据；信号转接器用于将芯片测试夹具的信号接口转换为探针所能读取的平面接口。通过本发明，可实现集成电路测试系统差分通道校准过程中的差分信号的读取且读取通路间距可任意调整，实现了不同封装夹具的快速兼容适配，克服了传统一体式双探针间距固定、难以适配不同规格夹具等问题。
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公开(公告)号：CN115616384A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202211384402.7
申请日：2022-11-07
申请人： 中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
摘要： 本发明公开了一种针对不同尺寸晶圆的测试装置及测量方法，属于集成电路测试系统领域，测试装置包括有机架、直线运动组件、环形驱动组件、载物台、定位卡子、固定架、升降组件和弹性探针组件，所述直线运动组件横设在所述机架上，所述直线运动组件的输出端和所述环形驱动组件连接，所述环形驱动组件的输出端和所述载物台连接，所述载物台上同轴设有不同大小的晶圆限位槽，所述晶圆限位槽上设有用于晶圆固定的定位卡子；所述升降组件位于所述固定架中间位置，所述升降组件的输出端和所述弹性探针组件连接，所述弹性探针组件位于所述载物台上方。本发明针对不同尺寸晶圆的测试装置可适用不同尺寸晶圆的测试，结构简单，体积较小，通用性好。
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公开(公告)号：CN118128852A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410428002.4
申请日：2024-04-10
申请人： 中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
摘要： 本申请属于船舶减振领域，具体公开了一种用于舰船弧形壳体的减振支撑装置，其包括基座板、多个支撑板、多个腹板、X、Y、Z方向减振子组件，其中，基座板水平放置，各个支撑板间隔预设距离竖直设置，同时各个腹板分别竖直设置在相邻支撑板之间；X方向减振子组件包括多个垂直于X方向并安装在腹板上的二维偏心设计的圆形减振子；Y方向减振子组件包括多个垂直于Y方向并安装在支撑板或腹板上的二维偏心设计的扇形减振子；Z方向减振子组件包括多个垂直于Z方向并安装在腹板上的二维偏心设计的扇形减振子。本申请能够在不影响原有测试设备和显控仪器的安装布置、不破坏原有结构完整性、引入重量较少的情况下，能够从XYZ轴三个方向上进行减振。
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公开(公告)号：CN117162137A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311099935.5
申请日：2023-08-29
申请人： 中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
IPC分类号： B25J18/00 , B25J19/00 , G01R1/067 , G10K11/172
摘要： 本发明属于结构减振与自动化测试相关技术领域，并公开了一种基于声学黑洞原理的机械臂减振装置，该装置包括立体柱状的机械臂，设置在机械臂末端的测试头夹具，安装在测试头夹具上的探针测试头，安装在机械臂内壁上的声学黑洞子结构，以及粘附于声学黑洞子结构上的阻尼层；其中对于关键组件的声学黑洞子结构而言，它采用一维设计并且该声学黑洞子结构的下表面为平面，上表面为满足特定函数关系式的曲面。本发明还公开了相应的机械臂减振方法。通过本发明，能够在不影响其余部件安装布置、不破坏原有主结构的强度和刚度、结构重量增加较少的情况下，有效解决现有技术中机械臂振动带来的探针游离、偏移等问题。
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公开(公告)号：CN115508595A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211200821.0
申请日：2022-09-29
申请人： 中国船舶集团有限公司第七〇九研究所
摘要： 本发明属于自动测试领域，公开了一种用于四探针测试仪的探针压力测量装置和方法，该装置包括载物台、控制模块和探针测试模块，其中，探针测试模块包括探针、贴片电阻和悬臂架，探针和贴片电阻并排设置在悬臂架下端，且位于待测件上方；控制模块用于控制探针对待测件施加压力；载物台用于放置待测件，其上还设置有压电传感器，压电传感器用于测量探针对待测件施加的压力；工作时，探针以不同的力按压待测件，每次按压时均能带动悬臂架发生不同程度的翘曲变形，并使得贴片电阻也发生不同程度的形变，进而使贴片电阻的阻值发生不同的变化。
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