公开(公告)号：CN119644489A

公开(公告)日：2025-03-18

申请号：CN202411712595.3

申请日：2024-11-27

Applicant: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所

Inventor： 宋志远 ,  闫占军 ,  张鹏 ,  杜保林 ,  张宁 ,  高阳 ,  赵龙波 ,  郭峰 ,  彭飞

IPC: G02B5/18 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明的多区域分布波导光栅曝光的方法，波导光栅包括波导基板，其特征在于，在波导基板上设置独立且相邻的第一光栅、第二光栅和第三光栅，第一光栅、第二光栅及第三光栅位于波导基板不同区域，所述方法包括，通过短波相干激光双光束全息干涉曝光方式加工出不同周期、条纹走向的光栅，形成多区域分布波导光栅。与现有技术相比能够降低波导光栅曝光难度，提升光路装配调试简洁性、提高加工效率、降低加工成本，更易于工程化生产。

公开(公告)号：CN119439336A

公开(公告)日：2025-02-14

申请号：CN202411712543.6

申请日：2024-11-27

Applicant: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所

Inventor： 张鹏 ,  赵龙波 ,  李文强 ,  杜保林 ,  宋志远 ,  武晓军 ,  李卓 ,  郭峰 ,  相广鑫

IPC: G02B5/18 ,  G03F7/00 ,  G02B27/01

Abstract: 本发明的大尺寸衍射光波导元件制造方法，包括以下步骤，制作光栅母版，其中，以大于等于6mm的硅或者石英玻璃为基底，利用全息‑离子束刻蚀技术，制作高精度的光栅母版；光栅母版减薄，其中，利用晶圆背部减薄技术加工所述基底形成模具，模具的厚度降低值1mm以下；所述模具利用纳米压印生产工艺进行复制，并成型模具的样品；样品进行波导键合工艺处理；所述初始键合样品进行切割工艺处理，保护光栅不受损，实现切割成型。