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公开(公告)号：CN106342276B
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201010049547.2
申请日：2010-08-27
Applicant: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
Inventor： 套格套
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种大口径平面光学零件高精度光刻设备结构，由压块(1)、曝光平台(2)、超大轴承(3)、快门刻件(8)、掩模板(9)组成，其特征是，采用下曝光方式，曝光光源(6)位于曝光平台(2)之下；曝光光源(6)为一光源组，置于曝光腔体(7)底部；快门(4)位于曝光光源(6)与曝光平台之间；超大轴承(3)可绕其中心Z轴旋转，带动曝光平台(2)同方向转动，保证光学零件表面光照度的均匀性；涂黑层(5)涂在曝光腔体(7)内表面。本发明能够解决国内标准光刻设备无法解决的大口径平面光学零件高精度光刻问题，曝光线宽精度能够达到±0.5μm、曝光最大直径能够达到600mm、光刻件厚度不会受到限制。(4)、涂黑层(5)、曝光光源(6)、曝光腔体(7)、光
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公开(公告)号：CN107918178A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201711335522.7
申请日：2017-12-14
Applicant: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
IPC: G02B7/02
Abstract: 本发明公开了一种提高100mm～150mm口径非球面胶合精度的方法，方法包括：表面轮廓测量设备测量非球面表面，获得原始轮廓曲线；最小二乘法拟合曲线，计算非球面的Rt值、Ra值和RMS SLOPE值；给定非球面Rt值、Ra值和RMS SLOPE评价指标值，筛选合格的非球面；光敏胶胶合非球面；透过非球面胶合镜观察平行光管十字星像跳动。本发明提高非球面胶合精度的方法，解决了非球面镜胶合的难题，同时对评价非球面面形精度有着重要的借鉴意义。
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公开(公告)号：CN105506708A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201510885740.2
申请日：2015-12-03
Applicant: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
Abstract: 本发明公开了一种复合型轻量化反射镜镜坯的制备方法及复合型轻量化反射镜镜坯，该制备方法包括1)酸洗活化：将钛基体置于酸洗液中进行酸洗活化，得活化基体；2)电化学氧化：通过电化学氧化在活化基体的连接面形成钛氧化层，得氧化基体；3)扩散连接：将玻璃的连接面与氧化基体的氧化层紧密贴合，经热压扩散连接或场致扩散连接，即得。该制备方法通过电化学氧化在基体表面形成致密均匀的钛氧化层(钛的低价氧化物薄膜)，再将玻璃的连接面与基体的钛氧化层紧密贴合进行扩散连接，工艺稳定，成品率高；所得反射镜镜坯中钛基体与玻璃的结合强度高，可广泛应用于飞机光电侦查雷达、坦克火控稳瞄系统等众多光电探测设备的光学快扫跟踪系统。
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公开(公告)号：CN102338892A
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN201110292062.0
申请日：2011-09-29
Applicant: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
Abstract: 本发明涉及光学器件及其加工技术领域，具体公开了一种以ZnS为基底，在1064nm和8μm～10μm两个光波段具有大入射角高透过率的增透膜，同时还公开了一种采用该增透膜的ZnS光窗。该增透膜由六个膜层组成，第1、3、5膜层的膜料为YbF3，第2、4、6膜层的膜料为ZnS，第1膜层、第2膜层、第3膜层、第4膜层、第5膜层、第6膜层的厚度依次为73.09nm±0.8nm、67.77nm±0.7nm、528.47nm±5.3nm、67.84nm±0.7nm、275.82nm±2.8nm、243.34nm±2.5nm。本发明提供的光窗在1064nm光波段附近，在30°到70°入射角范围内，其透过率为78%～97%；在8μm～10μm光波段，在30°到70°入射角范围内，其透过率为74.5%～97%。
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公开(公告)号：CN105506708B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201510885740.2
申请日：2015-12-03
Applicant: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
Abstract: 本发明公开了一种复合型轻量化反射镜镜坯的制备方法及复合型轻量化反射镜镜坯，该制备方法包括1)酸洗活化：将钛基体置于酸洗液中进行酸洗活化，得活化基体；2)电化学氧化：通过电化学氧化在活化基体的连接面形成钛氧化层，得氧化基体；3)扩散连接：将玻璃的连接面与氧化基体的氧化层紧密贴合，经热压扩散连接或场致扩散连接，即得。该制备方法通过电化学氧化在基体表面形成致密均匀的钛氧化层(钛的低价氧化物薄膜)，再将玻璃的连接面与基体的钛氧化层紧密贴合进行扩散连接，工艺稳定，成品率高；所得反射镜镜坯中钛基体与玻璃的结合强度高，可广泛应用于飞机光电侦查雷达、坦克火控稳瞄系统等众多光电探测设备的光学快扫跟踪系统。
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公开(公告)号：CN102338892B
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201110292062.0
申请日：2011-09-29
Applicant: 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
Abstract: 本发明涉及光学器件及其加工技术领域，具体公开了一种以ZnS为基底，在1064nm和8μm～10μm两个光波段具有大入射角高透过率的增透膜，同时还公开了一种采用该增透膜的ZnS光窗。该增透膜由六个膜层组成，第1、3、5膜层的膜料为YbF3，第2、4、6膜层的膜料为ZnS，第1膜层、第2膜层、第3膜层、第4膜层、第5膜层、第6膜层的厚度依次为73.09nm±0.8nm、67.77nm±0.7nm、528.47nm±5.3nm、67.84nm±0.7nm、275.82nm±2.8nm、243.34nm±2.5nm。本发明提供的光窗在1064nm光波段附近，在30°到70°入射角范围内，其透过率为78%～97%；在8μm～10μm光波段，在30°到70°入射角范围内，其透过率为74.5%～97%。
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