公开(公告)号：CN109594039A

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201811353684.8

申请日：2018-11-14

申请人： 中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司

发明人： 国振兴 ,  张冬梅 ,  张蕾 ,  马大衍 ,  邰清安

IPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16 ,  C23C14/32

CPC分类号： C23C14/025 ,  C23C14/021 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/16 ,  C23C14/325

摘要： 一种用于叶片辊轧模具的纳米多层结构薄膜及其制备方法，属于表面处理技术及模具表面强化技术领域。该纳米多层结构薄膜包括金属TiAl底层、TiAlN过渡层、TiAlN/CrTiAlN纳米多层涂层、CrTiAlN表面涂覆层。其方法为：抛光后超声清洗，进行真空气相沉积，真空度

公开(公告)号：CN109594039B

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201811353684.8

申请日：2018-11-14

申请人： 中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司

发明人： 国振兴 ,  张冬梅 ,  张蕾 ,  马大衍 ,  邰清安

IPC分类号： C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16 ,  C23C14/32

摘要： 一种用于叶片辊轧模具的纳米多层结构薄膜及其制备方法，属于表面处理技术及模具表面强化技术领域。该纳米多层结构薄膜包括金属TiAl底层、TiAlN过渡层、TiAlN/CrTiAlN纳米多层涂层、CrTiAlN表面涂覆层。其方法为：抛光后超声清洗，进行真空气相沉积，真空度