成像光谱仪光学系统
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114777922A

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202210464634.7

    申请日:2022-04-29

    IPC分类号: G01J3/28 G01J3/02

    摘要: 本发明提供一种成像光谱仪光学系统,包括:光源装置、缩束透镜组、光栅、角锥棱镜、反射镜组和成像装置;光源装置发出脉冲光束对样品进行照射后经过缩束透镜组进入光栅中,经过光栅的反射后垂直于角锥棱镜的底面进入角锥棱镜中,经过角锥棱镜的反射和平移后再次返回光栅后进入反射镜组中,反射镜组将脉冲光束变为二维光阵列并将脉冲光束的传播方向改变90°后进入成像装置中,获得频闪图像。本发明能够在一次曝光时间内分辨出动态事件,进一步简化了光路结构,大幅度提高了成像光谱仪的成像速度,解决了传统成像光谱仪成像速度受快门限制的问题。具有装调容易,装调公差大,成像光谱性能高等优点。

    交叉色散型空间外差光谱仪
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114295210A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111674707.7

    申请日:2021-12-31

    IPC分类号: G01J3/28 G01J3/02

    摘要: 本发明提供一种交叉色散型空间外差光谱仪,包括激光器、汇聚透镜、准直透镜、光学滤光片组、反射镜、纵向色散光栅、分束棱镜、横向色散光栅、柱面透镜、成像透镜组以及面阵探测器。本发明提出在传统空间外差光谱仪前倾斜放置一个纵向色散光栅,在产生干涉光前将不同波长的光束纵向分开,再通过柱面透镜纵向压缩干涉图,最终在面阵探测器的不同像素行接收不同波长的独立干涉图,从而避免了传统空间外差光谱仪中谱图重叠以及相互干扰导致的信噪比低、弱信号探测不到等问题。同时某波长强光导致的探测器强度饱和不会影响其他波长的信号探测。同时所述交叉色散型空间外差光谱仪还具有无运动部件、光通量大、分辨率高、结构紧凑、测量波段范围广等优点。

    一种DMD杂散光检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN112697397B

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202011423608.7

    申请日:2020-12-08

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 一种DMD杂散光检测装置及其检测方法涉及光谱仪器领域,实现对任意组合模式下的DMD杂散光分布情况测试,弥补了传统杂散光测试装置及方法的不足。该装置包括:照明系统、被测DMD和成像系统;所述照明系统汇聚光源光斑大小连续可调,从而调整被测DMD照亮区域的大小,由成像系统对被测DMD的被照亮区域成像。本专利解决传统杂散光测试装置及方法无法测试DMD杂散光分布情况的问题。通过设计一种汇聚光斑大小连续可调的照明系统以及可对DMD微镜单元清晰成像的成像系统并结合DMD微镜单元配置灵活测试过程中,利用微镜单元配置灵活的特点,通过测试不同微镜单元组合模式下的光强分布情况计算不同位置的杂散光分布情况。

    一种拉曼光谱仪
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110553736A

    公开(公告)日:2019-12-10

    申请号:CN201910987002.7

    申请日:2019-10-17

    IPC分类号: G01J3/44 G01J3/02

    摘要: 本发明涉及拉曼光谱领域,公开了一种拉曼光谱仪。本发明中的拉曼光谱仪中交叉色散元件用于色散,柱面镜用于光束压缩,并且采用了转台和中阶梯光栅模块的组合形式,配合不同的转台转动角度可以插入不同的拉曼探头,从而在原有的单一激发波长测定的基础上实现了变激发波长的切换测量。同时本发明选择使用中阶梯光栅模块与一个转台结合而非两个反射镜分别与两个转台结合的方式,可以有效地避免了两镜之间角度转动不同步的问题。本发明实现了光谱分辨率高,测量波段范围宽,变激发波长的切换测量,以及元件转动角度同步等优点。

    中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构

    公开(公告)号:CN108458787B

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201810109855.6

    申请日:2018-02-05

    IPC分类号: G01J3/44 G01N21/65

    摘要: 本发明提出中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构,包括:拉曼滤光片、准直反射镜、中阶梯光栅、屋脊反射镜、平面反射镜、聚焦反射镜、光阑和探测器。样品发出的拉曼散射光经过拉曼滤光片照射准直反射镜,准直反射镜将入射的拉曼光变成平行拉曼光垂直照射中阶梯光栅,经中阶梯光栅衍射的正负级次拉曼光分别经屋脊反射镜和平面反射镜的反射,再照射至中阶梯光栅,经中阶梯光栅衍射后获得空间外差拉曼干涉光,最后空间外差拉曼干涉光经过聚焦反射镜和光阑后由探测器接收。本发明的中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪具有分辨率高、光通量大、测量波段范围宽、无运动部件等优点,可有效提高紫外以及深紫外拉曼光谱的信号强度。

    一种基于双导轨的多光栅刻刀式光栅刻划刀架系统

    公开(公告)号:CN106019442B

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201610647212.8

    申请日:2016-08-09

    IPC分类号: G02B5/18

    摘要: 本申请提供一种基于双导轨的多光栅刻刀式光栅刻划刀架系统,包括主机座、工作台、平行设置的第一导轨和第二导轨、第一滑套、第二滑套、连接第一滑套和第二滑套的滑套连接架、测量反射镜、可拆卸地安装在所述滑套连接架上的n个刻划刀架装置,n为大于等于2的正整数。本申请仅采用两个导轨即可实现多个光栅刻划刀架同时对整个光栅基底进行刻划的目的,相对于现有技术中采用多个刻划系统各配置一个光栅刻刀来实现大面积光栅刻划,节省了导轨的使用量,使得资源利用率更高。另外,多个刻划刀架装置与滑套连接架之间为可拆卸连接,当需要调节刻划刀架装置时,仅需要调节滑套连接架上的刻划刀架装置的个数以及位置即可,其他装置无需进行调节。

    一种中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构

    公开(公告)号:CN108414087A

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201711448668.2

    申请日:2017-12-27

    IPC分类号: G01J3/44 G01J3/02

    摘要: 本发明涉及拉曼光谱仪领域,具体公开一种中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构。发明采用两个所述中阶梯光栅(或一个所述中阶梯光栅和一个所述平面反射镜)产生空间外差干涉作用来实现空间外差型拉曼光谱测量,从而避免了传统傅里叶变换拉曼光谱仪中一般存在运动部件导致的测量效率低、分辨率低和视场展宽角度小的问题;所述中阶梯光栅的使用级次N大于1,在保持本发明所述光路的拉曼光谱总测量波段范围不变的情况下,所述中阶梯光栅的使用级次N越多,则本发明的光路结构的拉曼光谱分辨率越高,且既可以测量样品的背向散射拉曼光谱,也可以测量样品的透射拉曼光谱。

    全息扫描曝光二维工作台位移和摆角测量光路结构

    公开(公告)号:CN104515470B

    公开(公告)日:2017-07-14

    申请号:CN201410817175.1

    申请日:2014-12-25

    IPC分类号: G01B11/02 G01B11/26

    摘要: 全息扫描曝光二维工作台位移和摆角测量光路结构属于全息平面衍射光栅制作领域,目的在于解决现有技术存在的干涉场承载平台热膨胀对测量精度的影响以及米级尺寸的Y轴长条反射镜的加工及装调难度大的问题。本发明包括的X轴测量系统包括X轴光束方向调节器、X轴干涉计、潜望镜结构、X轴测量反射镜和X轴参考反射镜;Y轴测量系统包括Y轴干涉计、Y轴参考反射镜和Y轴测量反射镜;双频激光器发出的激光经分光棱镜分出两束光,并分别通过转向棱镜进入到X轴测量系统和Y轴测量系统;X轴测量系统中X轴干涉计采用潜望镜结构实现工作台X轴相对位置的测量;Y轴测量系统采用多个Y轴干涉计实现Y轴相对位置的测量。