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公开(公告)号：CN112904522B
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202110346767.X
申请日：2021-03-31
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明涉及一种高精度的光栅拼接误差校正装置和方法，所述高精度的光栅拼接误差校正装置的二维校正单元结合采用线性促动器和柔性铰接的结构对第一光栅进行位置姿态调整，实现了高精度和高稳定性的二维拼接误差的校正；所述高精度的光栅拼接误差校正装置的的三维校正单元结合采用线性促动器和弹性柱的结构对第二光栅进行位置姿态调整，实现了高精度和高稳定性的三维拼接误差的校正，如此经由所述二维校正单元和所述三维校正单元的误差校正效果的耦合，综合实现了对所述拼接光栅的五维光栅拼接误差的高精度校正，使得所述高精度的光栅拼接误差校正装置具有拼接误差校正精度高，工作稳定性高的优点。
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公开(公告)号：CN108227056B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201711434100.5
申请日：2017-12-26
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G02B5/18
摘要： 本发明实施例提供了一种制作平面双闪耀光栅的方法，制作具有第一闪耀角的第一平面闪耀光栅以及具有第二闪耀角的第二平面闪耀光栅，通过第一闪耀角和第二闪耀角的两块平面闪耀光栅的拼接和复制，来实现平面双闪耀光栅的制作，制作方法光栅效率高、波前质量好，制作的双闪耀光栅成品率高、易于实现，该平面双闪耀光栅制作方法具有很强的灵活性，不受光栅闪耀角、光栅面积等因素的限制，所制作出的双闪耀光栅摆脱了调整机构的束缚，在存储过程中光栅的位置和姿态不会再发生变化，在使用过程中也更加灵活和方便。
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公开(公告)号：CN108181237B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201810110122.4
申请日：2018-02-05
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明提出一种空间外差拉曼成像光谱仪的光路结构主要包括：准直透镜、聚焦透镜、第一拉曼滤光片、分束棱镜、两个楔形棱镜、两个闪耀光栅，第二拉曼滤光片、非球面透镜、成像透镜组，面阵探测器，载物台,扩束器和激光器。样品发出的拉曼光经过准直透镜、聚焦透镜和第一拉曼滤光片后被聚焦到干涉仪两臂的闪耀光栅上，之后再次经过分束棱镜合束获得空间外差拉曼干涉光，最后经过第二拉曼滤光片、非球面透镜和成像透镜组后被面阵探测器接收。本发明采用非球面透镜有效提高了面阵探测器每一帧外差拉曼干涉光的采集速度。本发明实现了被测样品表面各位置的拉曼光谱的快速测量，同时具有分辨率高、光通量大、测量波段范围宽等优点。
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公开(公告)号：CN108181237A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201810110122.4
申请日：2018-02-05
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明提出一种空间外差拉曼成像光谱仪的光路结构主要包括：准直透镜、聚焦透镜、第一拉曼滤光片、分束棱镜、两个楔形棱镜、两个闪耀光栅，第二拉曼滤光片、非球面透镜、成像透镜组，面阵探测器，载物台,扩束器和激光器。样品发出的拉曼光经过准直透镜、聚焦透镜和第一拉曼滤光片后被聚焦到干涉仪两臂的闪耀光栅上，之后再次经过分束棱镜合束获得空间外差拉曼干涉光，最后经过第二拉曼滤光片、非球面透镜和成像透镜组后被面阵探测器接收。本发明采用非球面透镜有效提高了面阵探测器每一帧外差拉曼干涉光的采集速度。本发明实现了被测样品表面各位置的拉曼光谱的快速测量，同时具有分辨率高、光通量大、测量波段范围宽等优点。
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公开(公告)号：CN111796384B
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202010857948.4
申请日：2020-08-24
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明公开了一种光栅拼接装置，包括基体和待拼接的至少两个光栅，所述基体和所述光栅之间设有用以将所述光栅固定于所述基体的若干第一固紧机构，所述基体和所述光栅之间还设有可研磨的调整机构。上述光栅拼接装置通过研磨来减小拼接误差以实现光栅高精度的拼接，满足拼接质量的同时，结构简单，制作方便，利于光栅拼接质量的长期稳定性，同时具有光栅拼接的高精度和高稳定性的特点。
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公开(公告)号：CN108458787A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810109855.6
申请日：2018-02-05
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明提出中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪光路结构，包括：拉曼滤光片、准直反射镜、中阶梯光栅、屋脊反射镜、平面反射镜、聚焦反射镜、光阑和探测器。样品发出的拉曼散射光经过拉曼滤光片照射准直反射镜，准直反射镜将入射的拉曼光变成平行拉曼光垂直照射中阶梯光栅，经中阶梯光栅衍射的正负级次拉曼光分别经屋脊反射镜和平面反射镜的反射，再照射至中阶梯光栅，经中阶梯光栅衍射后获得空间外差拉曼干涉光，最后空间外差拉曼干涉光经过聚焦反射镜和光阑后由探测器接收。本发明的中阶梯光栅型空间外差拉曼光谱仪具有分辨率高、光通量大、测量波段范围宽、无运动部件等优点，可有效提高紫外以及深紫外拉曼光谱的信号强度。
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公开(公告)号：CN111796384A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010857948.4
申请日：2020-08-24
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明公开了一种光栅拼接装置，包括基体和待拼接的至少两个光栅，所述基体和所述光栅之间设有用以将所述光栅固定于所述基体的若干第一固紧机构，所述基体和所述光栅之间还设有可研磨的调整机构。上述光栅拼接装置通过研磨来减小拼接误差以实现光栅高精度的拼接，满足拼接质量的同时，结构简单，制作方便，利于光栅拼接质量的长期稳定性，同时具有光栅拼接的高精度和高稳定性的特点。
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公开(公告)号：CN108489613B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201810110121.X
申请日：2018-02-05
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明提出一种体全息光栅型空间外差拉曼成像光谱仪光路结构，成像光谱仪包括载物台、第一准直透镜、第一拉曼滤光片、第一反射镜、第一聚焦透镜、第一分光板、第二分光板、两个第二反射镜、两个体全息棱栅、第二拉曼滤光片、第二准直透镜、第三反射镜、第二聚焦透镜、出射光瞳、场镜和面阵探测器。本发明提出的体全息光栅型空间外差拉曼光谱仪结合了色散型拉曼光谱仪和傅里叶变换拉曼光谱仪的优点，利用分光板将光路分成两臂光路，获得空间外差拉曼干涉光，并利用空间外差干涉光获得成像光谱信息；而且采用体全息棱栅提高系统的光通量和增大系统的视场，整个结构紧凑、无移动部件、性能稳定、可靠性强。
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公开(公告)号：CN108489613A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810110121.X
申请日：2018-02-05
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 本发明提出一种体全息光栅型空间外差拉曼成像光谱仪光路结构，成像光谱仪包括载物台、第一准直透镜、第一拉曼滤光片、第一反射镜、第一聚焦透镜、第一分光板、第二分光板、两个第二反射镜、两个体全息棱栅、第二拉曼滤光片、第二准直透镜、第三反射镜、第二聚焦透镜、出射光瞳、场镜和面阵探测器。本发明提出的体全息光栅型空间外差拉曼光谱仪结合了色散型拉曼光谱仪和傅里叶变换拉曼光谱仪的优点，利用分光板将光路分成两臂光路，获得空间外差拉曼干涉光，并利用空间外差干涉光获得成像光谱信息；而且采用体全息棱栅提高系统的光通量和增大系统的视场，整个结构紧凑、无移动部件、性能稳定、可靠性强。
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