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公开(公告)号：CN101900862B
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201010242492.7
申请日：2010-08-02
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置，涉及深紫外投影光刻物镜系统中的光学元件的微动调整，它解决了现有光学元件轴向微动调整装置存在的系统刚性差、固有频率低、加工制造困难的问题；包括镜筒单元组件、镜框组件、光学元件、三组压电控制驱动单元、三组换向缩放单元、三组导向环和导向滑块，所述镜筒单元组件内设置镜框组件，镜框组件内设置光学元件；镜框单元组件的的内环面和外环面设置三个内凹槽和三个外凹槽；每个外凹槽内安装压电控制驱动单元，导向环固定在镜筒单元组件的内环面上；镜框组件内外圆柱面上均匀设置三个内凸台和三个外凸台；导向滑块固定在镜框组件外圆柱面的三个外凸台上；本发明应用于深紫外投影光刻物镜系统中。
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公开(公告)号：CN101907833A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010243111.7
申请日：2010-08-03
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 投影物镜系统中光学元件重力变形气压差补偿装置及方法，涉及一种光学元件重力补偿的装置及方法，它解决了现有光学元件重力补偿装置安装调试困难，制造成本高，无法实现光学元件的中心区域补偿等问题，它包括第一镜筒单元组件、第二镜筒单元组件、隔圈、第一气体压力传感器、第二气体压力传感器和第三气体压力传感器；所述第一镜筒单元组件与第二镜筒单元组件之间设置隔圈；其方法为：气体压力传感器测量密封腔内的气压，将信号经数据采集卡输入到主控制器；主控制器调整供气管道和排气管道工作状态，进而实现光学元件的重力补偿。本发明适用于深紫外投影光刻物镜系统的光学元件重力补偿。
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公开(公告)号：CN100551620C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200810050506.8
申请日：2008-03-18
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种数控抛光用气封抽液非接触式喷液磨头，属于光学冷加工技术领域中涉及的喷液磨头。要解决的技术问题是：提供一种数控抛光用气封抽液非接触式喷液磨头。解决的技术方案包括空心磨头、抛光液出孔、收集盘连接架、抛光液收集盘、进气孔、气帘槽、抽液孔、集液槽等；抛光液收集盘通过收集盘连接架与磨头轴套固连，套装于空心磨头上；抛光液收集盘的第一进气孔和第一气帘槽相通，第一气帘槽与空心磨头和抛光液收集盘之间的空隙相通；抛光液收集盘的第二进气孔和第二气帘槽相通，第二气帘槽与抛光液收集盘下工作面相通；抛光液收集盘下工作面上带有集液槽，集液槽上的抽液孔与抛光液收集盘外部的空间相通；抛光液出孔分布于空心磨头的工作面上。
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公开(公告)号：CN100476406C
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200510017203.2
申请日：2005-10-21
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人： 巩岩
摘要： 一种连续扫描荧光成像文检仪属于荧光光谱分析技术领域中涉及的用于无损检验方面的荧光检测仪器。要解决的技术问题是提供一种连续扫描荧光成像文检仪，解决的技术方案包括紫外光源、紫外单色仪、被检样品、样品台、驱动电机、滤光片转盘及转盘轴、滤光片、相机。紫外光源经紫外单色仪实现连续扫描分光，在紫外单色仪出射狭缝的下方适当位置放置样品台，被检样品置于样品台上，在被检样品荧光反射光路上，置滤光片转盘，在滤光片转盘的工作面上开有若干个孔，用于安装不同中心波长的滤光片，在滤光片后安装相机，由相机获得被检样品的不同波段的荧光图像。该图像中含有丰富的被检样品的特征信息，可供有关部门对被检样品真伪进行鉴别。
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公开(公告)号：CN1357755A
公开(公告)日：2002-07-10
申请号：CN02109015.7
申请日：2002-01-07
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01N1/28 , G01N1/36 , G01N23/223
摘要： 一种掠发射X射线荧光分析用样品制备装置,属于X射线荧光分析应用技术领域中的一种荧光分析用样品的制备装置。本发明要解决的技术问题是:使被待测分析物质产生高温等离子体,高速喷发沉积在透明载物片上,形成待测样品,解决技术问题的技术方案是:采用脉冲宽度足够窄的激光器作光源,选择非球面聚光镜聚焦激光能量,待测物的载台沿光轴方向可调,待测物的所在环境为真空室。该装置是由激光光源、聚光镜、样品盒、调整鼓轮、螺纹副、待测物载台、待测物、透明载物片、真空室等部分组成的。该装置制备分析样品工艺过程简单、快捷、样品纯度高、质量好,适于X射线荧光分析。
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公开(公告)号：CN104034419B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201410187178.1
申请日：2014-05-05
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 可校正谱线弯曲的光谱仪系统及其校正方法，属于光谱测量和遥感技术领域，为了解决现有技术的问题，可校正谱线弯曲的棱镜‑光栅型成像光谱仪系统，由前置物镜、狭缝、准直物镜、分光元件、成像物镜、滤波片以及CCD组成；其中分光元件由棱镜和透射光栅组成，透射光栅和棱镜组合是利用透射光栅与棱镜产生相反的谱线弯曲进行补偿，对中心波长校正谱线弯曲；同时，透射光栅的入、出射角满足Bragg条件；分光器件的入射光轴和出射光轴A‑A’不在同一条直线上，其偏转角和偏心量由中心波长的偏转角决定；成像光谱仪系统谱线弯曲校正的方法，首先分光元件的设计；然后利用准直物镜和成像物镜产生的畸变以及像面倾斜进行补偿校正剩余谱线弯曲。
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公开(公告)号：CN103472555B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201310459341.0
申请日：2013-09-25
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 双电机光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调心装置中存在的驱动器数量较多，且机构复杂，加工难度大的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、八个联接螺钉、柔顺驱动块和两个压电驱动器，所述四个电容传感器与镜框上表面平行放置，沿镜框上面边缘均布，且与柔顺驱动块的各直角边中点对应；镜框与柔顺驱动块通过联接螺钉固定；两个压电驱动器分别设置在柔顺驱动块的对角位置；镜框内放置光学元件；该装置在快速精密的调整的同时，避免了机械式铰链存在的摩擦、润滑、滞后的问题；柔顺驱动块作用在镜框上，能够有效降低调整力对光学元件面型的破坏；结构简单、需要电机数量少、加工成本低。
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公开(公告)号：CN103472559B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310441881.6
申请日：2013-09-25
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件轴向调整装置存在的调整行程小，存在倾斜误差的问题，该装置包括电容传感器、镜框、宏微调节机构和导向导轨，电容传感器设置在镜框的上方，用于检测镜框的移动距离；宏微调节机构设置在镜框的边框下面，用于对镜框的宏微动调节；导向导轨设置在镜框的边框外侧，用于限制镜框的移动；所述镜框包括周向均布的三个凸台及三个导向凸台；电容传感器设置凸台上方，宏微调节机构作用在凸台上，导向凸台与导向导轨配合；该装置能在保证调整精度的同时，实现大行程调节；同时，驱动结构作用在镜框上，降低了调整力对光学元件面型的破坏。
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公开(公告)号：CN103472555A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201310459341.0
申请日：2013-09-25
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 双电机光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调心装置中存在的驱动器数量较多，且机构复杂，加工难度大的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、八个联接螺钉、柔顺驱动块和两个压电驱动器，所述四个电容传感器与镜框上表面平行放置，沿镜框上面边缘均布，且与柔顺驱动块的各直角边中点对应；镜框与柔顺驱动块通过联接螺钉固定；两个压电驱动器分别设置在柔顺驱动块的对角位置；镜框内放置光学元件；该装置在快速精密的调整的同时，避免了机械式铰链存在的摩擦、润滑、滞后的问题；柔顺驱动块作用在镜框上，能够有效降低调整力对光学元件面型的破坏；结构简单、需要电机数量少、加工成本低。
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公开(公告)号：CN103336370A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310275683.7
申请日：2013-07-02
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要： 一种与衍射型长程轮廓仪中π阶跃位相板等效的光学结构属于光学元件检测领域，该光学机构包括：前棱镜系统、后棱镜系统和平行平板；前棱镜系统由一个负菲涅尔棱镜和一个的正菲涅尔棱镜组成，后棱镜系统相当于前棱镜系统光轴垂线的镜像，四片棱镜同光轴放置，平行平板放置在前后棱镜系统中间，位于光轴的上方或者下方，使分光后其中的一束光垂直穿过平行平板，平行平板的厚度为入射光波长二分之一的奇数倍。本发明没有衍射带来的分光、位相板相差π的界面的不平整以及相位板上π相位过渡区域相位变化所以引起的误差，其获得的探测光束用于LTP，能减小误差，并且获得更高的探测精度。
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