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公开(公告)号:CN114580532A
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202210206105.7
申请日:2022-02-28
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号: G06K9/62 , G06T5/30 , G06T7/187 , G06V10/40 , G06V10/764
摘要: 本发明公开了一种基于光学目标一维曲线波峰特征提取的多目标识别方法,满足了大型激光装置准直流程中光学目标识别处理对于精度和效率的要求,该方法的主要实现步骤如下:步骤1:对采集的原始图像进行二值化;步骤2:数字形态学的膨胀运算处理;步骤3:目标分离;步骤4:目标识别;目标识别中通过分析两个目标在图像X方向或者Y方向上的一维曲线特征指标来实现;首先,计算波峰个数,如果波峰个数为1,则对应光斑为模拟光目标;如果波峰个数大于1,说明水平曲线包含多个波峰,在左边上升沿和右面下降沿之间是存在波谷,则该曲线对应的光斑为远场目标。
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公开(公告)号:CN111664802A
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN202010495564.2
申请日:2020-06-03
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号: G01B11/24
摘要: 为解决传统光学测量方法在半导体晶圆表面形貌测量中存在测量精度、速度和实时性方面的局限性的技术问题,本发明提出了一种基于动态定量相位成像技术的半导体晶圆表面形貌测量装置,包括光源及从下自上依次设置的载物台、显微物镜、半透半反镜、目镜、定量相位成像模块和图像数据处理单元;半透半反镜同时位于光源的出射光路上;载物台用于放置被测半导体晶圆,且在水平面内可二维平移;定量相位成像模块由二元光学器件和探测器组成;被测半导体晶圆被测面与二元光学器件迎光面满足物像共轭关系;探测器用于探测经二元光学器件调制后的光场图像;图像数据处理单元用于对探测器获取的图像进行处理,得到被测半导体晶圆表面三维形貌。
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公开(公告)号:CN110017791A
公开(公告)日:2019-07-16
申请号:CN201910266676.8
申请日:2019-04-03
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号: G01B11/24 , G01B11/255 , G01B11/06
摘要: 为解决现有光纤连接器端面参数测量方法易受环境影响、测试精度不高、测量效率低、动态范围小的技术问题,本发明提出了一种光纤连接器端面参数测量装置及测量方法。其中,测量装置包括沿同一光路依次设置的光源、会聚镜、靶板、准直镜、一号分束镜和吸收体;定义一号分束镜面向准直镜的面为第一镜面,在准直镜的出射光束经第一镜面反射后的反射光路上,设置有一号显微物镜;一号显微物镜的出射光束经第一镜面透射后的透射光路上依次设置有二号分束镜、扩束系统和夏克-哈特曼波前传感器;二号分束镜的反射光路上依次设置有二号显微物镜和成像探测器;成像探测器设置在一维电控平移台上,一维电控平移台通过驱动器与控制及数据分析计算机相连。
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公开(公告)号:CN109724690A
公开(公告)日:2019-05-07
申请号:CN201811528861.1
申请日:2018-12-13
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要: 本发明提出一种基于光谱角度填图的纹影法远场测量焦斑自动重构方法,能够提高远场焦斑的重构精度。该方法包括以下步骤:首先,使用最小二乘法来拟合旁斑图像的纹影小球中心;其次,对主瓣图像和旁瓣图像分别进行裁剪;再将主瓣裁减图像中扣除一个和纹影小球大小的圆后的图像cutzb’和旁瓣裁减图像cutpb分别转换成两个列向量;然后,计算两个向量之间的光谱角度填图(SAM)值,当两个向量相似性达到最大值时,则cutzb’图像的左上角位置为最佳匹配点;最后,以最佳匹配点为参考,使用图像cutzb'和旁斑裁减图像cutpb对焦斑进行重构,并在最终的图像拼接过程中使用采用加权平均法对拼接边界进行融合。
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公开(公告)号:CN111860616B
公开(公告)日:2024-05-14
申请号:CN202010620972.6
申请日:2020-06-30
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号: G06V10/77 , G06V10/762 , G06V10/764
摘要: 本发明公开了一种综合诊断系统弱对比度准直图像目标中心通用获取方法,采用了统一的方法获取不同类型图像的光学目标中心,相比现有方法,本发明的方法更为简单、实用。该方法的主要步骤包括:1、将原始图像构建为多维图像立方体;2、对多维图像立方体进行降维处理得到降维后的第一维图像;3、对降维后的第一维图像进行K‑means分类,得到二值化图像;4、判断二值化图像如果是纹影小球图像,则需要获得纹影小球目标分离图像;如果是小孔图像,则需要获得小孔图像圆轮廓上的特征点;如果是其他图像,就利用重心法直接获取他图像的目标中心;5、对小孔图像和纹影小球图像使用最小二乘法进行圆拟合来计算图像圆心,从而实现对光学目标中心的获取。
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公开(公告)号:CN112015528B
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN202010706457.X
申请日:2020-07-21
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要: 本发明提供一种工业控制系统软件控制流程构建和解析方法,解决现有不同工业控制系统均需要进行定制化全新开发设计,存在开发周期变长、每个系统单独开发设计、质量稳定性无法保证的问题。该方法包括步骤:1)将控制流程分解为多个工作流程,工作流程包括多个任务列表;每个任务列表包括多个并行或串行的任务;对工作流程采用XML文件进行配置;以链表形式对配置文件内容进行存储;2)控制对象管理组件包括多个设备控制对象,设备控制对象包括设备类型、设备编号和控制设备实例;每个控制设备实例中包含与任务配置信息中的任务执行动作一一对应的多个控制方法,该控制方法的输入参数为任务配置中的任务执行动作参数;3)控制流程的解析和执行。
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公开(公告)号:CN115393600A
公开(公告)日:2022-11-25
申请号:CN202210917908.3
申请日:2022-08-01
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号: G06V10/28 , G06V10/34 , G06V10/44 , G06V10/54 , G06V10/56 , G06V10/764 , G06T7/66 , G06T7/70
摘要: 本发明公开了一种基于BLOB区域数量特征统计的多光学目标识别方法;解决现有技术中存在的采用先遮挡一个光学目标,对另外一个光学目标进行识别的方法识别效率较低的技术问题;包括准直图像的采集,并对采集到的图像进行二值化处理、第一次数字形态学处理、第二次数字形态学处理和目标识别等步骤,此方法是基于量化特征参数提取的多光学目标识别图像处理算法,实现了模拟光准直流程中的模拟光目标和主激光目标的识别,处理时间小于1秒钟,满足了大型激光装置光路对接准直过程对于精度和效率的要求;并且,本文提出的基于量化特征参数提取的多光学目标识别图像处理算法,对于提高大型激光装置发射实验光路调整效率具有十分重要的意义。
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公开(公告)号:CN115203906A
公开(公告)日:2022-10-18
申请号:CN202210725816.5
申请日:2022-06-23
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号: G06F30/20
摘要: 本发明为解决现有光路准直数学模型不能适用于多目标、多光路自动准直,且不能并行光路准直参数的标定和准直结果的统计,而提供了一种多光路、多光学目标的光路自动准直数学模型构建方法。本发明在数学模型的推导过程采用多维向量的运算方式,将每一路光束的参数信息,看作多维向量的一个单元,即将8路光束的参数信息,看作8维的列向量,参与所有光路准直目标位置、像素偏移、步数偏差、准直误差的运算、准直状态汇总的运算,构建多光路、多目标自动准直数学模型,为光路对接准直流程的实现提供理论指导。
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公开(公告)号:CN109785426A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201811528864.5
申请日:2018-12-13
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要: 本发明提出一种基于最陡下降法的最佳匹配点快速搜寻实现焦斑重构的方法,能够实现高动态范围激光焦斑的测量,提高远场焦斑的重构精度和效率。该方法包括以下步骤:将主瓣裁减图像中扣除一个和纹影小球大小的圆后的图像cutzb’和旁瓣裁减图像cutpb分别转换成两个列向量,并计算两个向量的SAM值;计算起始搜索位置8临域的梯度,使用最陡下降法沿8临域中梯度最大的方向进行搜索;当搜索完所有满足条件点的SAM值后,取SAM值最小时主瓣剪图像左上角对应的位置为最佳匹配点;以最佳匹配点为参考,使用主瓣和旁瓣对焦斑进行重构,再使用加权平均法对合并图像的拼接区域进行融合。
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公开(公告)号:CN104678561B
公开(公告)日:2017-04-05
申请号:CN201310644294.7
申请日:2013-12-02
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要: 本发明提供一种衍射光栅非规则激光焦斑图像自适应聚焦方法,包括以下步骤:1】通过CCD采集一幅衍射光栅非规则激光焦斑图像到计算机;2】将步骤1中采集到的非规则激光焦斑图像进行图像形心位置计算:3】将步骤2中计算的衍射光栅非规则激光焦斑图像的形心位置与CCD靶面中心位置进行比较;4】用CCD重新采集一幅图像到计算机;5】计算步骤4采集到的衍射光栅非规则激光焦斑图像对应的有效二值图像;6】计算并保存步骤5所得图像的长短轴长之间的差值;7】将之前获得的两副图像的长短轴的差值进行比较;8】重复步骤1到步骤7的操作,直至衍射光栅非规则激光焦斑图像的面积最小时聚焦调整结束。
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