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公开(公告)号：CN119643586A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202510185471.2
申请日：2025-02-20
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及光学元件表面缺陷检测装置及方法，具体涉及一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法，用于解决现有的检测方法在面对大口径光学元件的损伤检测时，存在或是无法提供量化的评估标准，或是效率较低难以有效应对大范围的检测需求，或是无法获取缺陷的三维形貌信息的不足之处。该大口径光学元件表面缺陷检测装置利用二元变形衍射光栅的衍射特性，由相机单次采集多个不同衍射级次的衍射光斑，通过相位恢复算法计算大口径光学元件的表面相位，并结合二维平移台使激光光束对大口径光学元件的整个表面进行扫描，从而实现大口径光学元件表面缺陷的检测。
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公开(公告)号：CN112577446A
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202011537846.0
申请日：2020-12-23
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 为了解决现有的测量大口径平面光学元件面形的方案易受空气气流扰动和振动的影响、测量动态范围小、面形测量分辨率不高、无法应用于在位各种姿态面形测量，以及当大口径平面光学元件面形中存在Power时无法测量的技术问题，本发明提出了一种大口径平面光学元件在位面形拼接测量装置及方法，利用激光器、半透半反镜、准直物镜、光阑、小孔光阑、准直目镜、二元光学器件、探测器、衰减板、远场探测器、驱动控制器、电控光阑、反射镜阵列、角锥棱镜阵列、六自由度运动平台，实现对被测大口径平面光学元件在位各种姿态下的动态高精度面形拼接测量，测量精度不受外界环境的影响。
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公开(公告)号：CN110142503A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910412047.1
申请日：2019-05-17
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: B23K26/04 , B23K26/064 , B23K26/38 , B23K26/70
Abstract: 本发明属于能够自动进行离焦补偿的激光切割系统，具体涉及一种激光切割离焦补偿系统及其补偿方法，解决现有技术中工件高频振动下离焦补偿误差大的问题。由加工激光源和半导体激光器分别发射不同波长的加工激光和探测激光，探测激光经像散透镜系统产生一定的像散畸变，然后在待加工面上被部分反射，最终监视光学系统收集其反射后的像散光斑图像，经控制器的一系列计算和处理，向变形镜输入波前调制信号使其面形发生变化，从而达到对加工激光的实时调节。能够实时监测加工激光的离焦量并快速进行离焦补偿，从而实现较高的离焦校正频率。另外，由于两束激光同轴，离焦量的测量位置与实际加工点位置距离极小，减小了离焦量的测量误差，提高了离焦补偿精度。
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公开(公告)号：CN119935503A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202510020244.4
申请日：2025-01-06
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及热光学特性测量系统及方法，具体涉及高功率激光光学镜头的热光学特性综合测量系统及方法，用于解决使用激光焦点分析仪测量高功率激光系统的热光学特性存在测量场景局限性、信息获取单一、缺乏互检手段的不足之处。该高功率激光光学镜头的热光学特性综合测量系统，包括激光光源、第一转动式高反镜、第二转动式高反镜和控制电脑，其中激光光源包括出射光路互相垂直且相交的高功率激光光源、低功率激光光源，本发明通过第一转动式高反镜、第二转动式高反镜实现了高功率激光和低功率激光在镜头测量区域的光路一致，实现测量过程中的两个光路的共光轴，减小了测量系统的误差。
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公开(公告)号：CN112577446B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202011537846.0
申请日：2020-12-23
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 为了解决现有的测量大口径平面光学元件面形的方案易受空气气流扰动和振动的影响、测量动态范围小、面形测量分辨率不高、无法应用于在位各种姿态面形测量，以及当大口径平面光学元件面形中存在Power时无法测量的技术问题，本发明提出了一种大口径平面光学元件在位面形拼接测量装置及方法，利用激光器、半透半反镜、准直物镜、光阑、小孔光阑、准直目镜、二元光学器件、探测器、衰减板、远场探测器、驱动控制器、电控光阑、反射镜阵列、角锥棱镜阵列、六自由度运动平台，实现对被测大口径平面光学元件在位各种姿态下的动态高精度面形拼接测量，测量精度不受外界环境的影响。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111220283B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202010113732.7
申请日：2020-02-24
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01J9/00
Abstract: 本发明涉及相位恢复技术，提供了一种基于多步相位调制的光场复振幅测量装置及方法，解决现有相位恢复技术需要复杂扫描过程以获得多个衍射强度，在扫描过程中引入的位移误差和光路倾斜，影响相位恢复收敛速度和精度的问题。其中装置包括调制系统、探测器及数据处理单元；调制系统用于加载n个调制相位，对待测光场进行调制，获得待测光场的n个衍射光强，n为大于等于4的整数；n个调制相位与待测光场不同频段的相位相适配；探测器用于接收调制后的n个衍射光强；数据处理单元包括存储器和处理器，存储器上存储有用于处理n个调制相位和n个衍射光强的计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现相位恢复方法计算待测光场复振幅。
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公开(公告)号：CN110044475A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910266590.5
申请日：2019-04-03
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于焦斑动态范围标定领域，涉及一种纹影法焦斑动态范围的标定装置及方法，能够完成高功率激光远场焦斑的动态范围标定。标定装置包括激光光源及沿激光光源出射光路依次设置的准直物镜与一维正弦相位光栅；准直物镜将激光光源输出的激光扩束为直径为 的光斑；一维正弦相位光栅对直径为 的光斑进行调制后产生一系列不同衍射级次的光斑；在一系列不同衍射级次的光斑中，至少能够找到一个衍射级次的光斑，其峰值能量与0衍射级次光斑峰值能量的比值小于等于1:104。将一系列不同衍射级次的光斑注入到“纹影法”远场焦斑诊断系统，在诊断系统内通过分光模块分别进入到“旁瓣”测量光路和“主瓣”测量光路，进行诊断系统的动态范围标定。
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公开(公告)号：CN119268845A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411534715.5
申请日：2024-10-30
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01J4/04
Abstract: 本发明涉及斯托克斯参量校正方法，具体涉及一种适用于高能激光偏振检测的斯托克斯参量校正方法，用于解决使用分光光学系统来衰减激光能量，会改变入射激光的偏振状态，从而导致偏振参数测量误差的不足之处。该适用于高能激光偏振检测的斯托克斯参量校正方法，通过标定分光光学系统的偏振透过率，并结合傅里叶分析来提取激光的斯托克斯参量，再利用偏振透过率校正斯托克斯参量，进一步消除了分光光学系统引入的偏振误差，使得校正后的偏振参数更加接近激光的真实状态。
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公开(公告)号：CN117664367A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202211006304.X
申请日：2022-08-22
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明涉及激光参数测量，具体涉及一种基于单通道分时复用的波形测量装置，目的是解决现有的波形测量装置在测量多路激光时，容易造成示波器大量占用且测试数据杂乱的技术问题。本发明提供的基于单通道分时复用的波形测量装置，包括并束定位座，其一端设置有N个传输光纤，另一端沿光路方向依次连接有会聚镜头、光电管，光电管输出端与外部示波器的一个通道连接，N≥1，且N为正整数；该并束定位座用于固定N个传输光纤，N个传输光纤的长度依次增大，使得任意相邻长度的两个传输光纤所传输的外部激光信号到达光电管探测面的时刻具有时间差。该并束定位座上开设有N个用于设置传输光纤的通孔，以此实现传输光纤的固定和定位。
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公开(公告)号：CN110044475B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN201910266590.5
申请日：2019-04-03
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明属于焦斑动态范围标定领域，涉及一种纹影法焦斑动态范围的标定装置及方法，能够完成高功率激光远场焦斑的动态范围标定。标定装置包括激光光源及沿激光光源出射光路依次设置的准直物镜与一维正弦相位光栅；准直物镜将激光光源输出的激光扩束为直径为的光斑；一维正弦相位光栅对直径为的光斑进行调制后产生一系列不同衍射级次的光斑；在一系列不同衍射级次的光斑中，至少能够找到一个衍射级次的光斑，其峰值能量与0衍射级次光斑峰值能量的比值小于等于1:104。将一系列不同衍射级次的光斑注入到“纹影法”远场焦斑诊断系统，在诊断系统内通过分光模块分别进入到“旁瓣”测量光路和“主瓣”测量光路，进行诊断系统的动态范围标定。
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