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公开(公告)号：CN106498354B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201610829115.0
申请日：2016-09-18
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 一种制备六角螺旋形貌碲化铋热电薄膜的方法，采用磁控溅射法制备碲化铋热电薄膜。首先清洗磁控溅射设备腔体，再安装碲化铋(Bi2Te3)合金靶以及碲(Te)单质靶，然后把清洗过的石英玻璃衬底固定在基底上；调整碲化铋合金靶与石英玻璃衬底之间的距离为100mm～120mm，调整碲单质靶与石英玻璃衬底之间的距离为130mm～140mm，抽真空至5×10‑4Pa～7.5×10‑4Pa；再对石英玻璃衬底加热至300℃～400℃，通入氩气(Ar)，在工作气压为0.3Pa～0.5Pa的条件分别打开直流源和射频源，设置直流源功率为18W，射频源功率为18W～20W，然后通过共溅射开始镀膜；最后将溅射的薄膜在250℃～350℃下退火处理，形成具有六角螺旋形貌的碲化铋热电薄膜。
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公开(公告)号：CN105386020A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510706281.7
申请日：2015-10-27
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: C23C20/08
Abstract: 一种钇钡铜氧高温超导带材的制备方法。首先把乙酸钡和钛酸四丁酯按照Ba：Ti＝1：1的摩尔比混合溶于乙二醇甲醚、冰醋酸和乙酰丙酮的混合溶液中，搅拌均匀后制成Ba和Ti两种金属离子总浓度为0.1-0.3mol/L的前驱液；然后将前驱液涂覆在NiW合金基带上；涂覆好的薄膜经历热处理获得具有双轴织构的钛酸钡(BaTiO3)薄膜；然后在BaTiO3缓冲层上采用化学溶液法制备YBa2Cu3O7-x(YBCO)超导层，制备出结构为NiW/BaTiO3/YBCO的高温超导带材。
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公开(公告)号：CN107871936A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201710904335.X
申请日：2017-09-29
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 一种第二代高温超导带材接头的制备方法。首先去除第二代高温超导带材的银稳定层，然后采用钇钡铜氧的前驱液涂覆在去除银后的第二代高温超导带材上，两根超导带材的超导层对压后放入管式炉中进行低温热处理，形成无定型的前驱膜并排出有害的残余物质。然后在800～900℃、湿润的氩气和氧气氛围下进行高温热处理，最后进行吸氧处理，制备出具有完全呈超导态的第二代高温超导带材接头。
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公开(公告)号：CN106653993A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611006895.5
申请日：2016-11-10
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01L39/24
CPC classification number: H01L39/24
Abstract: 一种多层结构钇钡铜氧超导厚膜的制备方法。其制备步骤如下：首先配制钇钡铜氧(YBCO)前驱液，按照Y:Ba:Cu＝1:2:3的摩尔比将乙酸钇、三氟乙酸钡和乙酸铜溶解于去离子水和丙酸的混合溶液中，通过真空旋转蒸发仪将溶液减压提纯成为蓝色凝胶；接着加入甲醇，重复搅拌和减压提纯过程若干次，最后将蓝色凝胶溶解于适量甲醇配制成浓度为1.5‑2.0mol/L的YBCO前驱液；然后，配制钛酸钙前驱液，将四水合硝酸钙溶解于冰醋酸和2‑甲氧基乙醇的混合溶液中。按照Ti：Ca＝1:1的摩尔比将钛酸四丁酯添加到溶液中得到浓度为0.3‑0.9mol/L的CaTiO3(CTO)前驱液。最后，进行前驱液的涂覆和热处理，通过前驱液涂覆和热处理，将YBCO薄膜和CaTiO3薄膜交替沉积于单晶衬底上，制备出YBCO/CaTiO3多层结构的超导厚膜。
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公开(公告)号：CN104446434A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410655333.8
申请日：2014-11-17
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: C04B35/45 , C04B35/622 , H01B12/00
CPC classification number: Y02E40/64
Abstract: 一种制备钇钡铜氧高温超导膜的方法。首先按照Y：Ba：Cu＝1：2：3的摩尔比称取乙酸钇Y(CH3COO)3、乙酸钡Ba(CH3COO)2和乙酸铜Cu(CH3COO)2；把乙酸钇和乙酸铜混合溶于10-20mol℅丙酸的去离子水溶液中，搅拌均匀后真空蒸干溶剂得到凝胶1；把乙酸钡溶于三氟乙酸、丙酸和去离子水的混合溶液中，其中三氟乙酸与乙酸钡的摩尔比为1:3，搅拌均匀后真空蒸干溶剂得到凝胶2；凝胶1和凝胶2中混合后加入甲醇，搅拌均匀后加入氨水，调节溶液的pH为5-7；将溶液真空蒸干溶剂得到凝胶，加入甲醇和松油醇，制成Y、Ba和Cu三种金属离子总浓度为1.0-2.0mol/L的前驱液；然后将前驱液涂覆在基片上；涂覆好的薄膜先经300℃-500℃ 1小时的快速低温热处理过程；再经750℃-850℃高温热处理和450℃-550℃的退火过程，形成YBCO超导膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106399937B
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201610436198.7
申请日：2016-06-17
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 一种制备择优取向碲化铋热电薄膜的方法，采用磁控溅射法制备碲化铋热电薄膜。首先安装碲化铋(Bi2Te3)合金靶，然后把清洗过的氧化镁(MgO)单晶放在衬底上；调整靶基距至100mm～140mm，抽真空至5x10‑4Pa～7.5x10‑4Pa；再对氧化镁(MgO)基片加热至350℃～450℃，通入氩气(Ar)，在工作气压为0.3Pa～0.5Pa的条件下开始溅射镀膜；最后对溅射的薄膜在250℃～350℃的退火处理，形成择优取向碲化铋热电薄膜。
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公开(公告)号：CN105386020B
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：CN201510706281.7
申请日：2015-10-27
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: C23C20/08
Abstract: 一种钇钡铜氧高温超导带材的制备方法。首先把乙酸钡和钛酸四丁酯按照Ba：Ti＝1：1的摩尔比混合溶于乙二醇甲醚、冰醋酸和乙酰丙酮的混合溶液中，搅拌均匀后制成Ba和Ti两种金属离子总浓度为0.1‑0.3mol/L的前驱液；然后将前驱液涂覆在NiW合金基带上；涂覆好的薄膜经历热处理获得具有双轴织构的钛酸钡(BaTiO3)薄膜；然后在BaTiO3缓冲层上采用化学溶液法制备YBa2Cu3O7‑x(YBCO)超导层，制备出结构为NiW/BaTiO3/YBCO的高温超导带材。
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公开(公告)号：CN106498354A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610829115.0
申请日：2016-09-18
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 一种制备六角螺旋形貌碲化铋热电薄膜的方法，采用磁控溅射法制备碲化铋热电薄膜。首先清洗磁控溅射设备腔体，再安装碲化铋(Bi2Te3)合金靶以及碲(Te)单质靶，然后把清洗过的石英玻璃衬底固定在基底上；调整碲化铋合金靶与石英玻璃衬底之间的距离为100mm～120mm，调整碲单质靶与石英玻璃衬底之间的距离为130mm～140mm，抽真空至5×10-4Pa～7.5×10-4Pa；再对石英玻璃衬底加热至300℃～400℃，通入氩气(Ar)，在工作气压为0.3Pa～0.5Pa的条件分别打开直流源和射频源，设置直流源功率为18W，射频源功率为18W～20W，然后通过共溅射开始镀膜；最后将溅射的薄膜在250℃～350℃下退火处理，形成具有六角螺旋形貌的碲化铋热电薄膜。
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公开(公告)号：CN105541317A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510882555.8
申请日：2015-12-03
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: C04B35/45 , C04B35/622 , C04B35/634 , C04B35/632 , H01B12/06
CPC classification number: Y02E40/642 , C04B35/4508 , C04B35/62222 , C04B35/6325 , C04B35/63488 , C04B2235/3215 , C04B2235/3225 , H01B12/06
Abstract: 一种钇钡铜氧超导厚膜的制备方法。首先配制前驱液，把乙酸钇、三氟乙酸钡、和乙酸铜按照Y：Ba：Cu＝1：2：3的摩尔比混合，溶于乙酸和丙酸的混合溶液中；搅拌均匀后真空蒸干溶剂得到凝胶；再加入甲醇搅拌均匀后蒸干溶剂得到凝胶；随后加入适量甲醇、聚乙二醇和松油醇，制成Y、Ba和Cu三种金属离子总浓度为3.0-6.0mol/L的前驱液；然后将前驱液涂覆在基片上；涂覆好的薄膜先经历300℃-500℃的低温热处理过程，分解金属有机盐；然后进行750℃-850℃高温热处理获得具有四方相的钇钡铜氧(YBCO)膜；最后在500℃-600℃进行吸氧处理得到单层厚度大于6微米的YBCO超导厚膜。
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公开(公告)号：CN105541317B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201510882555.8
申请日：2015-12-03
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H01B12/06 , C04B35/45 , C04B35/622 , C04B35/634 , C04B35/632
CPC classification number: Y02E40/642
Abstract: 一种钇钡铜氧超导厚膜的制备方法。首先配制前驱液，把乙酸钇、三氟乙酸钡、和乙酸铜按照Y：Ba：Cu＝1：2：3的摩尔比混合，溶于乙酸和丙酸的混合溶液中；搅拌均匀后真空蒸干溶剂得到凝胶；再加入甲醇搅拌均匀后蒸干溶剂得到凝胶；随后加入适量甲醇、聚乙二醇和松油醇，制成Y、Ba和Cu三种金属离子总浓度为3.0‑6.0mol/L的前驱液；然后将前驱液涂覆在基片上；涂覆好的薄膜先经历300℃‑500℃的低温热处理过程，分解金属有机盐；然后进行750℃‑850℃高温热处理获得具有四方相的钇钡铜氧(YBCO)膜；最后在500℃‑600℃进行吸氧处理得到单层厚度大于6微米的YBCO超导厚膜。
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