一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻

    公开(公告)号:CN100358060C

    公开(公告)日:2007-12-26

    申请号:CN200310116749.4

    申请日:2003-11-20

    Abstract: 本发明涉及一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻,该热敏电阻通过金属锰真空高温扩散或硝酸锰涂层高温扩散将锰掺入单晶硅中,锰原子形成深施主能级,硅单晶成为高度补偿的半导体材料。温度升高,深能级俘获的载流子跃迁至导带,引起材料电阻率发生变化,从而呈现热敏特性,改变扩散温度和时间,即可实现其材料常数B值和25℃标称电阻的改变。

    一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻

    公开(公告)号:CN1619717A

    公开(公告)日:2005-05-25

    申请号:CN200310116749.4

    申请日:2003-11-20

    Abstract: 本发明涉及一种锰掺杂的负温度系数单晶硅热敏电阻,该热敏电阻通过金属锰真空高温扩散或硝酸锰涂层高温扩散将锰掺入单晶硅中,锰原子形成深施主能级,硅单晶成为高度补偿的半导体材料。温度升高,深能级俘获的载流子跃迁至导带,引起材料电阻率发生变化,从而呈现热敏特性,改变扩散温度和时间,即可实现其材料常数B值和25℃标称电阻的改变。

Patent Agency Ranking