高温低摩擦硬质纳米多层VAlCN/VN-Ag涂层、其制备方法及应用

    公开(公告)号:CN112126900B

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN201910549021.1

    申请日:2019-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种高温低摩擦硬质纳米多层VAlCN/VN‑Ag涂层、其制备方法及应用。所述涂层主要由多个VAlCN屏障层与多个VN‑Ag复合层交替叠加形成。所述涂层的制备方法包括:采用多弧离子镀技术在经过活化处理后的基体表面交替沉积VAlCN屏障层和VN‑Ag复合层,其中VN‑Ag复合层能够保证涂层的中高温低摩擦性能,VAlCN屏障层在保证涂层高硬度的同时,还能作为扩散阻挡层抑制VN‑Ag层内Ag的快速流失及氧化。本发明涂层在25℃到600℃范围内具有优异的摩擦学性能,其中VAlCN屏障层和纳米多层结构的设计保证涂层在经历多层高温摩擦后仍具有低的摩擦性能。本发明涂层可用于航空、航天、能源、汽车、冶金、化工、材料加工等领域的高温运转部件,起到高温表面减摩防护作用。

    高温低摩擦硬质纳米多层VAlCN/VN-Ag涂层、其制备方法及应用

    公开(公告)号:CN112126900A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN201910549021.1

    申请日:2019-06-24

    Abstract: 本发明公开了一种高温低摩擦硬质纳米多层VAlCN/VN‑Ag涂层、其制备方法及应用。所述涂层主要由多个VAlCN屏障层与多个VN‑Ag复合层交替叠加形成。所述涂层的制备方法包括:采用多弧离子镀技术在经过活化处理后的基体表面交替沉积VAlCN屏障层和VN‑Ag复合层,其中VN‑Ag复合层能够保证涂层的中高温低摩擦性能,VAlCN屏障层在保证涂层高硬度的同时,还能作为扩散阻挡层抑制VN‑Ag层内Ag的快速流失及氧化。本发明涂层在25℃到600℃范围内具有优异的摩擦学性能,其中VAlCN屏障层和纳米多层结构的设计保证涂层在经历多层高温摩擦后仍具有低的摩擦性能。本发明涂层可用于航空、航天、能源、汽车、冶金、化工、材料加工等领域的高温运转部件,起到高温表面减摩防护作用。

    成分均匀可控的高熵合金薄膜的物理气相沉积制备方法

    公开(公告)号:CN111074223A

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN202010008107.6

    申请日:2020-01-06

    Abstract: 本发明公开了一种成分均匀可控的高熵合金薄膜的物理气相沉积制备方法。所述制备方法包括:采用磁控溅射技术,以磁控溅射复合靶为靶材,以一种以上气体作为工作气体,对基体施加负偏压,从而在基体表面沉积得到成分均匀可控的高熵合金薄膜;所述磁控溅射复合靶包括在垂直方向上呈周期排列的至少一个靶周期,每一靶周期包括在垂直方向上依次层叠的单合金靶材。本发明提供的制备方法简单,整体设计思路巧妙,每个纯靶相互独立且组合灵活方便,可以根据所需进行调整,能够经济、高效的实现成分可控均匀的高熵合金薄膜的制备,本发明把薄层靶材层叠拼接起来,较之大块纯靶材的组合,可以使得产品中各种成分更为均匀,从而获得具有单一相的产品。

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