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发明公开
一体化柔性微纳电感及其制备方法审中-实审

公开(公告)号：CN113871125A

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202111113391.4

申请日：2021-09-23

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 王军强 , 张文武 , 张岩 , 曹小文 , 向明亮 , 许巍 , 霍军涛

IPC: H01F1/153 , H01F41/02 , H01F17/04

Abstract: 本发明公开了一种一体化柔性微纳电感及其制备方法，涉及基于激光刻蚀方法的非晶纳米晶微纳电感器件的制备。制备方法包括：制备非晶纳米晶合金；基于高精度高功率激光刻蚀加工方法，按照应用场景、形状及尺寸的需求，对所述非晶纳米晶合金进行与磁芯结构直接结合的一体化激光精细刻蚀加工，制备得到微纳尺度的一体化柔性电感器件。

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