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公开(公告)号：CN105671499B
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201610198819.2
申请日：2016-04-01
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种耐磨耐蚀CrAlSiN复合涂层，包括基体，所述的基体上覆盖有复合涂层，所述的复合涂层为基体表面自下而上依次层叠排列的Cr层、CrN层以及CrAlSiN层。其制备方法：步骤一、对基体表面进行清洗、除油、表面活化处理；步骤二、在镀膜设备真空腔体中，选用Cr、AlSi靶，通入氩气和氮气，通过控制氩气流量、氮气流量以及沉积时间在基体表面依次沉积Cr层、CrN层以及CrAlSiN层组成，步骤三、待涂层沉积完毕后，冷却在基体表面获得复合涂层。本发明的复合制备方便，具有涂层梯度而能够减小残余应力，且具有高耐磨性、高耐腐蚀性和高抗接触疲劳性。
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公开(公告)号：CN105671499A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610198819.2
申请日：2016-04-01
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
CPC classification number: C23C14/3464 , C23C8/36 , C23C14/0036 , C23C14/02 , C23C14/0641 , C23C14/165
Abstract: 本发明公开了一种耐磨耐蚀CrAlSiN复合涂层，包括基体，所述的基体上覆盖有复合涂层，所述的复合涂层为基体表面自下而上依次层叠排列的Cr层、CrN层以及CrAlSiN层。其制备方法：步骤一、对基体表面进行清洗、除油、表面活化处理；步骤二、在镀膜设备真空腔体中，选用Cr、AlSi靶，通入氩气和氮气，通过控制氩气流量、氮气流量以及沉积时间在基体表面依次沉积Cr层、CrN层以及CrAlSiN层组成，步骤三、待涂层沉积完毕后，冷却在基体表面获得复合涂层。本发明的复合制备方便，具有涂层梯度而能够减小残余应力，且具有高耐磨性、高耐腐蚀性和高抗接触疲劳性。
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公开(公告)号：CN108690983B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201710228561.0
申请日：2017-04-10
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 江苏金晟元特种阀门股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种耐磨耐蚀Cr/CrAlSiN复合涂层，其包括依次形成于基体上的结合层和耐磨耐蚀层，所述结合层采用Cr层，所述耐磨耐蚀层采用CrAlSiN层，所述CrAlSiN层具有非晶纳米晶结构，并包含面心立方结构CrN相、AlN强化相及非晶态Si3N4相，所述非晶态Si3N4相包裹所述CrN相和AlN强化相。该复合涂层具有优异的承载抗磨能力和耐腐蚀性能，能够满足恶劣工况条件下对各类零部件、设施的高性能要求，具有良好的应用前景。本发明还公开了所述复合涂层的制备方法，其简单易行，可实现批量生产。
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公开(公告)号：CN108690983A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201710228561.0
申请日：2017-04-10
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 , 江苏金晟元特种阀门股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种耐磨耐蚀Cr/CrAlSiN复合涂层，其包括依次形成于基体上的结合层和耐磨耐蚀层，所述结合层采用Cr层，所述耐磨耐蚀层采用CrAlSiN层，所述CrAlSiN层具有非晶纳米晶结构，并包含面心立方结构CrN相、AlN强化相及非晶态Si3N4相，所述非晶态Si3N4相包裹所述CrN相和AlN强化相。该复合涂层具有优异的承载抗磨能力和耐腐蚀性能，能够满足恶劣工况条件下对各类零部件、设施的高性能要求，具有良好的应用前景。本发明还公开了所述复合涂层的制备方法，其简单易行，可实现批量生产。
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