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公开(公告)号：CN119341650A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202411526606.9
申请日：2024-10-30
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H04B10/516 , H04B10/50
Abstract: 本公开提供一种集成微波光子变频系统，涉及光通信技术领域。集成微波光子变频系统包括：激光器，用于输出光载波；变频单元，用于将光载波分束为四束光束，并将输入的带宽信号加载到四束光束中的其中两束相邻光束上以实现单边带调制，将输入的本振信号加载到另外两束相邻光束上以实现单边带调制；以及将经加载处理的四束光束在光域中进行混频、滤波处理得到输出信号；其中，带宽信号包括射频信号或中频信号；以及光电探测器，用于将输出信号进行拍频处理得到变频信号。
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公开(公告)号：CN116191194A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310196747.8
申请日：2023-03-03
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种低射频串扰的阵列集成微波光子系统，包括：多个微波光子模块，每个微波光子模块包括：激光器，为磷化铟基芯片，适用于发射光载波；调制器，为铌酸锂基芯片或硅基芯片，适用于接收光载波并根据外部输入的射频信号对光载波进行调制，得到调制信号；封装管壳，封装管壳内部间隔地叠置多个隔离板，以将封装管壳分成多个通道，微波光子模块分别设置在通道中，使得隔离板分隔相邻通道的微波光子模块，通过设置封装管壳使微波光子系统在垂直方向阵列集成，通过设置隔离层将每个通道的微波光子系统进行隔断，减少相邻通道的射频信号串扰，利用光子引线减少端面光反射，使得集成微波光子系统能多通道同时稳定工作。
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公开(公告)号：CN112838841B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202011642706.X
申请日：2020-12-31
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于周期性弹性波反射结构的静电式谐振器，包括：谐振单元；电极，与谐振单元电连接；介质层，设于谐振单元与电极之间；支撑结构，支撑结构的一端与谐振单元相连，支撑结构的另一端固定在基底上；基底包括至少一个层状结构；周期性弹性波反射结构，设置在基底上；其中，周期性弹性波反射结构包括至少一个最小重复单元，最小重复单元为孔状结构。本公开的周期性弹性波反射结构能够在谐振器基底形成阻带，从而进一步降低谐振器锚点损耗，大幅度稳定提升谐振器品质因子。该谐振器具有普适性，解决了MEMS谐振器高频下保持较高的品质因子的瓶颈问题。
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公开(公告)号：CN116646800A
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202310593915.7
申请日：2023-05-24
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01S1/00
Abstract: 本公开提供了一种太赫兹源产生系统及产生方法，包括：激光源，包括第一激光器和第二激光器，第一激光器用于提供频率为f0且波长为λ0的第一光载波，第二激光器用于提供频率为f1且波长为λ1的第二光载波；倍频模块，设于第二激光器的输出光路上，用于产生频率为f的射频微波信号，将射频微波信号调制到第二光载波上，并对射频微波信号进行倍频，倍频数为n；太赫兹探测模块，设于第一激光器和倍频模块的输出光路上，用于将第一光载波与带有射频微波信号的第二光载波进行合束并拍频，形成频率为f1‑f0±n*f的太赫兹微波信号。
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公开(公告)号：CN115963453A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202111173510.5
申请日：2021-10-08
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种镜像抑制下变频系统、镜像信号抑制方法及应用，该镜像抑制下变频系统包括：第一光纤分束器，第二光纤分束器，光学移相器，第一光电探测器，第二光电探测器，以及第一90°电耦合器。本发明结构简单，无需使用滤波器，频率调谐范围大，镜像抑制比高，不受电磁干扰，且通用于各种并联调制模块，具有普适性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112865740A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202011642670.5
申请日：2020-12-31
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于模态重分布的MEMS谐振器，包括：衬底；支撑结构，一端固定在所述衬底上；谐振单元，设有调整装置，所述谐振单元与支撑结构的另一端相连；电极，与所述谐振单元电连接，所述电极设置在所述谐振单元的侧面、上表面和/或下表面。本公开针对无线通信系统的不同应用需求，其结构可灵活设置，进而实现了对其性能的优化，有效摆脱了现有光刻精度工艺水平的限制，该MEMS谐振器具备尺寸小、易加工、节省空间等优势，有利于实现集成化、微型化，推动MEMS谐振器在智能传感领域的高端应用。
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公开(公告)号：CN112838841A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011642706.X
申请日：2020-12-31
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于周期性弹性波反射结构的静电式谐振器，包括：谐振单元；电极，与谐振单元电连接；介质层，设于谐振单元与电极之间；支撑结构，支撑结构的一端与谐振单元相连，支撑结构的另一端固定在基底上；基底包括至少一个层状结构；周期性弹性波反射结构，设置在基底上；其中，周期性弹性波反射结构包括至少一个最小重复单元，最小重复单元为孔状结构。本公开的周期性弹性波反射结构能够在谐振器基底形成阻带，从而进一步降低谐振器锚点损耗，大幅度稳定提升谐振器品质因子。该谐振器具有普适性，解决了MEMS谐振器高频下保持较高的品质因子的瓶颈问题。
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公开(公告)号：CN117990977A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202211370072.6
申请日：2022-11-03
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01R23/02 , H04B10/079
Abstract: 本发明提供一种光子辅助的微波频率测量系统及方法，系统包括：光源模块，用于提供光载波；第一分束模块，用于将光载波分束为两路；调制模块，用于将馈入的射频微波信号调制到一路光载波上，得到第一调制信号，将射频微波信号引入电学延时后调制到另一路光载波上，得到第二调制信号；第二分束模块，用于分别将第一调制信号和第二调制信号分束为两路，在第二调制信号分束的一路调制信号中引入光学延迟；合束模块，用于对分束出的四路调制信号进行交叉合束，得到第三调制信号和第四调制信号；探测模块，用于对第三调制信号和第四调制信号进行拍频，得到第一电信号和第二电信号；信号处理模块，用于处理两路电信号的功率比值，得到比较函数信号。
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公开(公告)号：CN112865740B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202011642670.5
申请日：2020-12-31
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于模态重分布的MEMS谐振器，包括：衬底；支撑结构，一端固定在所述衬底上；谐振单元，设有调整装置，所述谐振单元与支撑结构的另一端相连；电极，与所述谐振单元电连接，所述电极设置在所述谐振单元的侧面、上表面和/或下表面。本公开针对无线通信系统的不同应用需求，其结构可灵活设置，进而实现了对其性能的优化，有效摆脱了现有光刻精度工艺水平的限制，该MEMS谐振器具备尺寸小、易加工、节省空间等优势，有利于实现集成化、微型化，推动MEMS谐振器在智能传感领域的高端应用。
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公开(公告)号：CN117215093A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311092123.8
申请日：2023-08-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G02F1/01 , G02F1/21 , G02F1/035 , H04B10/2575
Abstract: 提供一种微波光子片上变频滤波集成结构及应用，微波光子片上变频滤波集成结构包括片上光源模块，片上光处理模块，片上滤波单元，波导合束器，片上探测模块。片上光源模块用于提供光载波；片上光处理模块与片上光源模块相连，用于将光载波分束为第一光载波和第二光载波，并将输入的本振信号和宽带射频信号分别加载到第一光载波和第二光载波上；片上滤波单元与片上光处理模块相连，用于对加载有宽带射频信号的第一光载波进行滤波，并选取目标光信号；波导合束器用于将携带目标光信号的第一光载波和加载有本振信号的第二光载波进行合束，形成合束信号；片上探测模块与波导合束器相连，用于对合束信号进行拍频，得到变频滤波后的电信号。
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