公开(公告)号：CN117542922A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311595342.8

申请日：2023-11-27

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 胡鉴闻 ,  魏钟鸣 ,  胡寅 ,  龙浩然 ,  杨珏晗 ,  刘端阳 ,  文宏玉

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/102

Abstract: 本公开提供一种基于氧化镓的紫外偏振光电器件制备方法，包括：在β‑Ga2O3衬底上制备同质的β‑Ga2O3外延层得到外延片；在外延层上沉积一层铝层或金层后再沉积一层硬掩膜层；通过掩膜材料将硬掩膜层图形化，并基于图形化的硬掩膜层对外延片进行刻蚀，得到长轴延伸方向相互垂直的第一条形台面阵列和第二条形台面阵列；在制备了第一条形台面阵列和第二条形台面阵列的器件表面沉积隔离层；将铝层溶解，并去除第一条形台面阵列和第二条形台面阵列表面的隔离层；按应用需求在第一条形台面阵列和/或第二条形台面阵列上制备电极，并进行封装得到基于紫外偏振光实现运算放大的运算放大器或具有紫外偏振光探测功能的探测器，完成基于氧化镓的紫外偏振光电器件的制备。

公开(公告)号：CN117666698A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311659915.9

申请日：2023-12-05

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 魏钟鸣 ,  胡寅 ,  胡鉴闻 ,  周子琦 ,  杨珏晗 ,  刘端阳 ,  文宏玉

IPC: G06E1/02

Abstract: 本发明公开了一种光电计算反相器，包括：衬底；第一感光单元和第二感光单元，形成在衬底上；其中，响应于输入的偏振光信号，第一感光单元和第二感光单元择一导通，输出与偏振光信号对应的反相电压信号，反相电压信号被定义成具有与偏振光信号相反的序列。本发明提供的光电计算反相器，实现感算一体，即同时实现对偏振光的探测和探测信息处理，有利于降低功耗、减少延迟时间。