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公开(公告)号：CN118758351A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410785085.2
申请日：2024-06-18
Applicant: 中国科学院半导体研究所 , 北京智芯微电子科技有限公司 , 国网江苏省电力有限公司南京供电分公司
Abstract: 本发明提供一种基于连续域束缚态超表面的超声波传感芯片，包括：衬底层；第一包覆层，覆盖所述衬底层；连续域束缚态超表面层，覆盖所述第一包覆层，所述连续域束缚态超表面被配置为感应光场；以及第二包覆层，覆盖所述连续域束缚态超表面层，所述第二包覆层被配置为感应和放大超声波信号；其中，所述连续域束缚态超表面层具有朝向所述第二包覆层的超表面，所述超表面形成有微腔结构，所述连续域束缚态超表面层还被配置为通过所述微腔结构，在所述超声波信号的作用下对所述光场进行调制。本发明能够实现高灵敏度和高分辨率的超声波检测，可广泛应用于电力系统中的设备监测和故障检测，以及医疗诊断、工业检测和科学研究等领域。
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公开(公告)号：CN116338829A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310273218.3
申请日：2023-03-17
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供一种反射式介质手性超表面，包括：衬底层，用于物理支撑作用；反射层，设于衬底层上，用于接收和反射圆偏振光，其中，圆偏振光包括左旋方向的圆偏振光和右旋方向的圆偏振光；介质微纳结构层，设于反射层上，用于对左旋方向的圆偏振光和右旋方向的圆偏振光进行差异性散射，以调控圆偏振光的强度。介质微纳结构层包括：阵列排布的纳米棒单元，其中，行与行之间的纳米棒单元沿纳米棒单元的长轴方向错位排列且错位方向相同，构成二维斜方格子周期性排列结构。该反射式介质手性超表面提高了器件的输出效率，减轻了对加工工艺的要求，保障了器件的成品率和量产。
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公开(公告)号：CN117029998A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311027820.5
申请日：2023-08-15
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供一种基于片上光波导的超声波成像芯片，包括基底层，底部包层，波导光栅层，以及上包层。基底层用于芯片的物理支撑；底部包层设于基底层上，用于限制光场以及降低传输损耗；波导光栅层设于底部包层上，包括多条波导光栅；上包层设于波导光栅层上，用于接收和放大超声波信号；其中，所述波导光栅用于传输光并在所述超声波信号作用下对光进行调制，能够实现更高性能的超声成像。
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公开(公告)号：CN116880006A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310821169.2
申请日：2023-07-05
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于泄露波超表面的片上光力器件，包括：基底层；波导层，设于基底层上，用于传输光；超表面层，设于波导层上；超表面层包括至少一个纳米柱单元结构阵列，用于通过调整纳米柱单元结构阵列中的各个纳米柱单元结构的旋转角度，聚焦从波导层泄露的光。该超表面层结构简单，实现了直接从芯片上到自由空间发射的功能，并产生了高数值孔径聚焦光束，解决了传统物镜体积大及重量重等问题，具有更低成本、更易于集成化与小型化的优势。该方法还提供了一种调控方法，实现的聚焦光束的单独聚焦或多束聚焦光束聚焦于同一点。
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