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公开(公告)号:CN103278507A
公开(公告)日:2013-09-04
申请号:CN201310174323.8
申请日:2013-05-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 本发明公开了一种测量半导体材料弹光系数的装置及方法,该装置沿光路依次包括光源、斩波器、起偏器、相位调制器、检偏器、光谱仪、光电探测器、信号采集系统和计算机控制系统,光源发出的光经过斩波器后变成强度周期性调制的光、经过起偏器后变成线偏振光,线偏振光经过相位调制器后照在样品上,确保近垂直入射,反射光经过检偏器后经过光谱仪最后被光电探测器接收,通过信号采集系统利用计算机控制系统进行控制和数据采集。本发明采用反射差分光谱,对样品施加连续可调的单轴应变;根据半导体材料平面内两个互相垂直的晶向反射系数的差异,从而得到折射率和吸收系数差异;利用晶体弹光系数矩阵和施加的单轴应变,得到弹光系数随光波波长的变化。
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公开(公告)号:CN103809101A
公开(公告)日:2014-05-21
申请号:CN201410050256.3
申请日:2014-02-13
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01R31/265
Abstract: 一种光致反常霍尔效应的变温测量系统,包括:一激光光源;一信号采集系统用于对采集的信号进行处理,得到圆偏振自旋相关反常霍尔光电流;一光学斩波器置于激光光源的光路上,并与信号采集系统相连;一光学起偏器位于该光学斩波器的光路上,用于控制激光的偏振方向;一光弹性调制器置于光学起偏器的光路上,并与信号采集系统相连;一光学凸透镜位于光弹性调制器的光路上,用于调整激光光斑打到样品表面的大小;一变温液氮杜瓦样品座于光学凸透镜的光路上,并与信号采集系统相连;一直流电压源用于给变温液氮杜瓦样品座中的待测样品施加外电压;一直流电流源在测量普通光电流时提供直流电流。
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