公开(公告)号：CN101261998A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200810036256.2

申请日：2008-04-18

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 朱龙源 ,  李向阳 ,  王妮丽 ,  刘诗嘉 ,  储开慧 ,  赵水平 ,  兰添翼 ,  刘向阳 ,  张红妹

IPC: H01L27/144 ,  H01L21/82 ,  H01L21/28

Abstract: 本发明公开了一种碲镉汞长波光导型红外面阵探测器及多层电极的制备方法，该探测器包括：衬底，与衬底接触的碲镉汞薄片，通过光刻在碲镉汞薄片上形成光敏元列阵及分别位于光敏元二侧的信号引出电极区和公共电极区，其特征是：信号引出电极区和公共电极区采用多层立交布置，在两层电极区交叠处依次设置有负胶层、SiO2层作为复合绝缘介质。该多层电极的制备方法，主要包括复合绝缘介质的置备。本发明的优点是：电极区采用多层立交布置，增大了光敏面的有效使用面积，提高了器件的成像性能。本发明特别适合正面引出电极的光导型焦平面的器件，尤其是长波和甚长波的碲镉汞光导型焦平面探测器。

公开(公告)号：CN100541808C

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200810036256.2

申请日：2008-04-18

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 朱龙源 ,  李向阳 ,  王妮丽 ,  刘诗嘉 ,  储开慧 ,  赵水平 ,  兰添翼 ,  刘向阳 ,  张红妹

IPC: H01L27/144 ,  H01L21/82 ,  H01L21/28

Abstract: 本发明公开了一种碲镉汞长波光导型红外面阵探测器及多层电极的制备方法，该探测器包括：衬底，与衬底接触的碲镉汞薄片，通过光刻在碲镉汞薄片上形成光敏元列阵及分别位于光敏元二侧的信号引出电极区和公共电极区，其特征是：信号引出电极区和公共电极区采用多层立交布置，在两层电极区交叠处依次设置有负胶层、SiO2层作为复合绝缘介质。该多层电极的制备方法，主要包括复合绝缘介质的置备。本发明的优点是：电极区采用多层立交布置，增大了光敏面的有效使用面积，提高了器件的成像性能。本发明特别适合正面引出电极的光导型焦平面的器件，尤其是长波和甚长波的碲镉汞光导型焦平面探测器。