公开(公告)号：CN119008730A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202411101067.4

申请日：2024-08-12

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 周慧 ,  陈颖 ,  郑晓晴 ,  李浩 ,  尤立星

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/09 ,  G01J1/42 ,  G01J1/44

Abstract: 本发明提供一种高动态超导纳米线单光子探测器、标定系统及标定方法，探测器包括衬底及设置于其上的纳米线结构体，纳米线结构体包括一个视锥像素纳米线及至少一个视杆像素纳米线，视锥像素纳米线的灵敏度小于视杆像素纳米线的灵敏度；纳米线结构体由下至上依次包括第一超导层、第一介质层及第二超导层，视杆像素纳米线沿第一方向设置于第一超导层中，视锥像素纳米线沿第二方向设置于第二超导层中；或者，纳米线结构体包括第三超导层，视锥像素纳米线沿第二方向设置于第三超导层的中部区域，各视杆像素纳米线沿第一方向设置于第三超导层中视锥像素纳米线的两个侧部区域。通过本发明进一步提升了SNSPD的动态范围并同时保持探测效率基本不变。