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公开(公告)号:CN109962120A
公开(公告)日:2019-07-02
申请号:CN201910274713.X
申请日:2019-04-08
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L31/0352 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种跟瞄与通讯一体化超导纳米线单光子探测器,包括:第一超导纳米线单光子探测器,即通信专用单光子探测器;超导纳米线单光子探测器阵列,包括多个第二超导纳米线单光子探测器,多个第二超导纳米线单光子探测器位于第一超导纳米线单光子探测器外围;超导纳米线单光子探测器阵列用于跟瞄定位入射光的光斑是否偏离第一超导纳米线单光子探测器的光敏面。本发明的跟瞄与通讯一体化超导纳米线单光子探测器可以通过光计数反馈实时调整光斑的位置,以确保入射光的光斑与第一超导纳米线单光子探测器的光敏面对准,确保跟瞄与通讯一体化超导纳米线单光子探测器具有较高的耦合效率。