公开(公告)号：CN110631717B

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN201910877513.3

申请日：2019-09-17

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 尤立星 ,  张成俊 ,  张伟君 ,  孙兴渠 ,  李浩 ,  王镇

IPC: G01J11/00

Abstract: 本发明提供一种基于辅助曝光结构的超导纳米线单光子探测器光对准方法，包括：超导纳米线单光子探测器；若干个辅助曝光纳米线结构，位于超导纳米线单光子探测器外围，且贴置于超导纳米线单光子探测器的光敏面外边缘；辅助曝光纳米线结构用于入射光与超导纳米线单光子探测器的光敏面的光对准。传统的纳米线辅助曝光结构有助于加工得到线宽较均匀的纳米线，但其不构成单光子探测器件。本发明把中心区域周围的辅助曝光结构加以利用，设计成多个单光子探测器，可以通过外围探测器的光计数反馈定位光斑的位置，从而进行光斑与中心区域的对准。

公开(公告)号：CN109764967A

公开(公告)日：2019-05-17

申请号：CN201910035740.1

申请日：2019-01-15

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 张伟君 ,  张成俊 ,  尤立星 ,  周慧 ,  李浩

IPC: G01J11/00

Abstract: 本发明提供一种抑制多模光纤耦合SNSPD暗计数的方法及系统，抑制多模光纤耦合SNSPD暗计数的方法包括如下步骤：将入射光进行过滤，以得到目标波长的光；将所述目标波长的光经由多模光纤耦合至SNSPD进行探测。本发明的抑制多模光纤耦合SNSPD暗计数的方法通过将目标波长之外的光进行过滤后再进行探测，可以显著降低系统的暗计数。

公开(公告)号：CN109962120A

公开(公告)日：2019-07-02

申请号：CN201910274713.X

申请日：2019-04-08

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 尤立星 ,  张成俊 ,  张伟君 ,  王镇 ,  邢强林

IPC: H01L31/0352 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种跟瞄与通讯一体化超导纳米线单光子探测器，包括：第一超导纳米线单光子探测器，即通信专用单光子探测器；超导纳米线单光子探测器阵列，包括多个第二超导纳米线单光子探测器，多个第二超导纳米线单光子探测器位于第一超导纳米线单光子探测器外围；超导纳米线单光子探测器阵列用于跟瞄定位入射光的光斑是否偏离第一超导纳米线单光子探测器的光敏面。本发明的跟瞄与通讯一体化超导纳米线单光子探测器可以通过光计数反馈实时调整光斑的位置，以确保入射光的光斑与第一超导纳米线单光子探测器的光敏面对准，确保跟瞄与通讯一体化超导纳米线单光子探测器具有较高的耦合效率。

公开(公告)号：CN110631717A

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201910877513.3

申请日：2019-09-17

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 尤立星 ,  张成俊 ,  张伟君 ,  孙兴渠 ,  李浩 ,  王镇

IPC: G01J11/00

Abstract: 本发明提供一种基于辅助曝光结构的超导纳米线单光子探测器光对准方法，包括：超导纳米线单光子探测器；若干个辅助曝光纳米线结构，位于超导纳米线单光子探测器外围，且贴置于超导纳米线单光子探测器的光敏面外边缘；辅助曝光纳米线结构用于入射光与超导纳米线单光子探测器的光敏面的光对准。传统的纳米线辅助曝光结构有助于加工得到线宽较均匀的纳米线，但其不构成单光子探测器件。本发明把中心区域周围的辅助曝光结构加以利用，设计成多个单光子探测器，可以通过外围探测器的光计数反馈定位光斑的位置，从而进行光斑与中心区域的对准。