公开(公告)号：CN111953308B

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN202010849447.1

申请日：2020-08-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 林志荣 ,  薛航 ,  江文兵 ,  应利良 ,  王镇

IPC: H03F7/00

Abstract: 本发明提供一种磁通驱动约瑟夫森参量放大器及其制备方法，所述制备方法包括：于衬底表面形成Nb/Al‑AlOx/Nb叠层结构；刻蚀Nb/Al‑AlOx/Nb叠层结构以形成共面波导谐振腔结构、泵浦线结构、地线结构、信号输入配线结构及泵浦输入配线结构，共面波导谐振腔结构中形成有Nb/Al‑AlOx/Nb约瑟夫森结；于上述结构表面形成绝缘层，刻蚀绝缘层以形成约瑟夫森结过孔、接地过孔、输入信号引脚过孔及泵浦输入引脚过孔；于上述结构表面形成超导薄膜层，刻蚀超导薄膜层以将约瑟夫森结过孔和接地过孔电连接，同时于接地过孔中形成接地引脚、于输入信号引脚过孔中形成输入信号引脚、于泵浦输入引脚过孔中形成泵浦输入引脚。

公开(公告)号：CN111953308A

公开(公告)日：2020-11-17

申请号：CN202010849447.1

申请日：2020-08-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 林志荣 ,  薛航 ,  江文兵 ,  应利良 ,  王镇

IPC: H03F7/00

Abstract: 本发明提供一种磁通驱动约瑟夫森参量放大器及其制备方法，所述制备方法包括：于衬底表面形成Nb/Al-AlOx/Nb叠层结构；刻蚀Nb/Al-AlOx/Nb叠层结构以形成共面波导谐振腔结构、泵浦线结构、地线结构、信号输入配线结构及泵浦输入配线结构，共面波导谐振腔结构中形成有Nb/Al-AlOx/Nb约瑟夫森结；于上述结构表面形成绝缘层，刻蚀绝缘层以形成约瑟夫森结过孔、接地过孔、输入信号引脚过孔及泵浦输入引脚过孔；于上述结构表面形成超导薄膜层，刻蚀超导薄膜层以将约瑟夫森结过孔和接地过孔电连接，同时于接地过孔中形成接地引脚、于输入信号引脚过孔中形成输入信号引脚、于泵浦输入引脚过孔中形成泵浦输入引脚。

公开(公告)号：CN119276234A

公开(公告)日：2025-01-07

申请号：CN202411360203.1

申请日：2024-09-27

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 林志荣 ,  薛航 ,  李楒琪 ,  任梦冉 ,  王镇

IPC: H03F19/00 ,  H10N60/12 ,  H10N60/01

Abstract: 本发明提供一种超导参量放大器及其制备方法，超导参量放大器包括：约瑟夫森结阵列，用于提供谐振非线性；对地电容，用于阻抗匹配；线性腔，用于相位匹配；耦合电容，用于耦合线性腔与约瑟夫森结阵列；约瑟夫森结阵列的第一端与信号源相连，用于接受泵浦信号及输入信号，第二端与对地电容第一端及耦合电容第一端相连，对地电容的第二端接地，耦合电容的第二端与线性腔的第一端相连，线性腔的第二端接地。本发明通过优化超导参量放大器的设计和制备工艺，有效改进了线性腔和耦合结构，大大扩展了超导参量放大器的频率响应范围，从而可有效提升微波量子光学和超导量子比特测量信号处理的质量。