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公开(公告)号：CN111938635B
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202010795040.5
申请日：2020-08-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请提供一种脑电极后端连接用凸点、测试板的制备方法及测试结构，该脑电极后端连接用凸点的制备方法包括以下步骤：在脑电极上制备凸点下金属层；凸点下金属层为镍金属层；在凸点下金属层上旋涂一层正性光刻胶；对正性光刻胶进行曝光、显影，暴露出凸点窗口区域；在凸点窗口区域电镀铜层；在铜层上电镀铅锡合金层，铅锡合金层能够覆盖凸点窗口区域；去除正性光刻胶，对凸点下金属层进行干法刻蚀处理，获得蘑菇状焊料柱；通过保护回流，获得球形凸点。本申请根据柔性脑电极的焊盘材质的特性提供的脑电极后端连接用凸点的制备方法，使脑电极可以在较低温度下实现热压互联，避免对器件的损坏。
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公开(公告)号：CN111956218A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010795050.9
申请日：2020-08-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/0476 , A61B5/0478
Abstract: 本发明公开了一种具有电化学和电生理检测功能的柔性脑电极及其制备方法，所述具有电化学和电生理检测功能的柔性脑电极，包括依次设置的第一电极、第一蚕丝蛋白层、金属布线层、第二蚕丝蛋白层、第二电极和第三蚕丝蛋白层；第一电极用于电生理检测，第二电极用于电化学检测，第一电极和第二电极分别位于柔性脑电极的两个相对表面上；金属布线层设置于第一电极和第二电极之间，第一蚕丝蛋白层设于金属布线层与第一电极之间，第二蚕丝蛋白层设于金属布线层与第二电极之间，第三蚕丝蛋白层位于第二蚕丝蛋白层上。本发明的柔性脑电极，能够实现“超柔性、高分辨、高集成度、可长期在体”的神经电生理/神经递质电化学同步记录。
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公开(公告)号：CN111938635A
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN202010795040.5
申请日：2020-08-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/0478
Abstract: 本申请提供一种脑电极后端连接用凸点、测试板的制备方法及测试结构，该脑电极后端连接用凸点的制备方法包括以下步骤：在脑电极上制备凸点下金属层；凸点下金属层为镍金属层；在凸点下金属层上旋涂一层正性光刻胶；对正性光刻胶进行曝光、显影，暴露出凸点窗口区域；在凸点窗口区域电镀铜层；在铜层上电镀铅锡合金层，铅锡合金层能够覆盖凸点窗口区域；去除正性光刻胶，对凸点下金属层进行干法刻蚀处理，获得蘑菇状焊料柱；通过保护回流，获得球形凸点。本申请根据柔性脑电极的焊盘材质的特性提供的脑电极后端连接用凸点的制备方法，使脑电极可以在较低温度下实现热压互联，避免对器件的损坏。
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公开(公告)号：CN117350237A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311347277.7
申请日：2023-10-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G06F30/394 , C25D7/12 , C25D17/00 , C25D5/54 , G06F30/398
Abstract: 本申请涉及脑机接口领域，尤其涉及一种柔性电极的制备及电化学修饰方法。方法包括：获取清洁后的硅衬底；在清洁后的硅衬底上依次制备金属牺牲层、柔性电极底层绝缘层、金属布线层、金属后端焊层和柔性电极顶层绝缘层，得到柔性电极；制备电镀液；电镀液包括氧化铱电镀液以及聚3,4‑乙烯二氧噻吩：聚苯乙烯磺酸电镀液；通过电化学工作站，基于电镀液和三电极体系对柔性电极进行电化学修饰，得到具有修饰层的柔性电极。本申请可以进一步提高电极的电荷存储量，降低电极阻抗，提升电极的电刺激性能。
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公开(公告)号：CN114406515A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210104979.1
申请日：2022-01-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B23K31/02 , A61B5/291 , B23K101/36
Abstract: 本申请实施例所公开的一种脑电极器件的焊接方法及脑电极器件，获取脑电信号采集器件和柔性电子电路，脑电信号采集器件具有第一待连接区域，柔性电子电路具有第二待连接区域，基于第二待连接区域对应的目标尺寸，对第一待连接区域进行植球处理，得到目标植球，将目标植球与第二待连接区域接触，使得脑电信号采集器件和柔性电子电路连接，得到脑电极器件。本申请采用激光植球技术在脑电信号采集器件的第一待连接区域上进行植球处理，可以减小脑电信号采集器件的连接面积。采用倒扣焊接技术，可以在较低的焊接温度下的将高密度脑电信号采集器件与柔性电路板直接连接，可以保证脑电极器件的性能不被损坏，且可以提高脑电极器件的连接稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111969346B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202010818362.7
申请日：2020-08-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请提供一种可转换通道的脑电极接口及脑电极后端连接装置，该脑电极接口包括弹簧探针焊接区域和接口焊盘结构；弹簧探针焊接区域设有焊接孔阵列，焊接孔阵列的焊接孔内均焊接有弹簧探针；焊接孔阵列的焊接孔均与接口焊盘结构连接。该脑电极接口用于高通道柔性脑电极器件与后端处理电路的连接，该脑电极接口可以与目前市售的脑电信号处理后端电路适配，利用成熟的后端芯片大大降低脑电极系统的研发成本，且前端采用弹簧探针的设计在与前端高通道数脑电极互联时具备灵活的转换性，可以自由变换采集不同脑电极阵列块的脑电信号，能够达到灵活转换采集信号通道的目的，从而可以实现上千通道脑电信号的可转换128道脑电信号的同时记录读取。
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公开(公告)号：CN111969346A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010818362.7
申请日：2020-08-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请提供一种可转换通道的脑电极接口及脑电极后端连接装置，该脑电极接口包括弹簧探针焊接区域和接口焊盘结构；弹簧探针焊接区域设有焊接孔阵列，焊接孔阵列的焊接孔内均焊接有弹簧探针；焊接孔阵列的焊接孔均与接口焊盘结构连接。该脑电极接口用于高通道柔性脑电极器件与后端处理电路的连接，该脑电极接口可以与目前市售的脑电信号处理后端电路适配，利用成熟的后端芯片大大降低脑电极系统的研发成本，且前端采用弹簧探针的设计在与前端高通道数脑电极互联时具备灵活的转换性，可以自由变换采集不同脑电极阵列块的脑电信号，能够达到灵活转换采集信号通道的目的，从而可以实现上千通道脑电信号的可转换128道脑电信号的同时记录读取。
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公开(公告)号：CN118680583A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410937591.9
申请日：2024-07-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/388
Abstract: 本申请公开了一种信号检测系统，该系统包括信号检测模块和信号传输模块，所述信号检测模块包括电化学信号采集装置、电生理信号采集装置及信号采样装置，所述信号采样装置分别与所述电化学信号转换装置及所述电生理信号采集装置电连接，以对所述电化学信号转换装置及所述电生理信号采集装置采集的信号进行同步采样处理得到信号采样数据；所述信号传输模块分别与所述信号采样装置及对象终端电连接，以接收所述对象终端配置的配置信息，将所述指令配置装置接收到的配置信息传送至所述信号采样装置，以及将所述信号采样装置输出的所述信号采样数据传送至所述对象终端，解决了双模同步采集系统在信号采集中提高信号质量和同步性能的问题。
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公开(公告)号：CN111956218B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202010795050.9
申请日：2020-08-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种具有电化学和电生理检测功能的柔性脑电极及其制备方法，所述具有电化学和电生理检测功能的柔性脑电极，包括依次设置的第一电极、第一蚕丝蛋白层、金属布线层、第二蚕丝蛋白层、第二电极和第三蚕丝蛋白层；第一电极用于电生理检测，第二电极用于电化学检测，第一电极和第二电极分别位于柔性脑电极的两个相对表面上；金属布线层设置于第一电极和第二电极之间，第一蚕丝蛋白层设于金属布线层与第一电极之间，第二蚕丝蛋白层设于金属布线层与第二电极之间，第三蚕丝蛋白层位于第二蚕丝蛋白层上。本发明的柔性脑电极，能够实现“超柔性、高分辨、高集成度、可长期在体”的神经电生理/神经递质电化学同步记录。
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公开(公告)号：CN117410028A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311347630.1
申请日：2023-10-17
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请涉及脑机接口领域，尤其涉及一种柔性透明电极的制备方法。方法包括：获取清洁后的硅衬底；在清洁后的硅衬底上依次制备第一光刻胶层、金属牺牲层和柔性电极底层绝缘层；在柔性电极顶层绝缘层的第一区域制备石墨烯；制备第二光刻胶层，并对石墨烯进行刻蚀处理，得到石墨烯电极点；制备第三光刻胶层和金属布线层；制备第四光刻胶层和金属后端焊层；制备金属保护层；依次制备柔性电极顶层绝缘层和绝缘层掩膜；进行刻蚀处理，以使石墨烯电极点和金属后端焊层裸露；进行浸泡、刻蚀处理，得到柔性透明电极。本申请通过结合石墨烯材料制作柔性透明神经电极，减小了神经电极的厚度，而且可以避免光学伪影。
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