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发明公开
基于反对称阵列波导结构的荧光光谱仪、传感芯片及系统审中-公开

公开(公告)号：CN120064223A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202510166036.5

申请日：2025-02-14

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李贺 , 程建功 , 王泊 , 陈昌 , 付艳艳

IPC: G01N21/64 , G02B27/10

Abstract: 本发明涉及一种基于反对称阵列波导结构的荧光光谱仪、传感芯片及系统。其中，荧光光谱仪包括：输入部分，用于输入荧光信号；传输部分，包括与所述输入部分连接的由多条传输波导组成的波导阵列，所述传输波导的长度沿其排布方向按固定值依次增大或减小，将所述荧光信号分解成多个具有相同光程差的分束信号；输出部分，用于使所述多个具有相同光程差的分束信号在不同位置形成干涉，并输出光谱信号。本发明能够实现低成本且高集成度的芯片级荧光光谱传感器。

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