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公开(公告)号：CN108364951A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810062542.X
申请日：2018-01-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L27/115 , H01L39/22 , H01L39/24
CPC classification number: H01L39/223 , H01L27/115 , H01L39/24
Abstract: 本发明提供一种约瑟夫森结结构、存储单元、存储单元阵列及制备方法，约瑟夫森结结构的制备包括：提供半导体衬底，依次形成底层NbN材料层、中间铁磁材料层及顶层NbN材料层；刻蚀以得到由底层NbN层、中间铁磁层及顶层NbN层构成的约瑟夫森结；形成绝缘层以及配线层，且配线层至少与顶层NbN层电连接。通过上述方案，本发明的约瑟夫森结结构，基于单晶NbN材料，可以提高约瑟夫森结的响应频率，提高了基于该约瑟夫森结的存储器的速度，保证了与其匹配的SQF数字电路的速度优势得以发挥；通过合适的溅射气压、靶基距、混合气体比、溅射电流等，解决了单晶难以制备的问题；通过约瑟夫森结结构的设计以及中间铁磁层工艺的优化，解决了薄膜厚度难以控制的技术问题。
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公开(公告)号：CN108364951B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201810062542.X
申请日：2018-01-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L27/115 , H01L39/22 , H01L39/24
Abstract: 本发明提供一种约瑟夫森结结构、存储单元、存储单元阵列及制备方法，约瑟夫森结结构的制备包括：提供半导体衬底，依次形成底层NbN材料层、中间铁磁材料层及顶层NbN材料层；刻蚀以得到由底层NbN层、中间铁磁层及顶层NbN层构成的约瑟夫森结；形成绝缘层以及配线层，且配线层至少与顶层NbN层电连接。通过上述方案，本发明的约瑟夫森结结构，基于单晶NbN材料，可以提高约瑟夫森结的响应频率，提高了基于该约瑟夫森结的存储器的速度，保证了与其匹配的SQF数字电路的速度优势得以发挥；通过合适的溅射气压、靶基距、混合气体比、溅射电流等，解决了单晶难以制备的问题；通过约瑟夫森结结构的设计以及中间铁磁层工艺的优化，解决了薄膜厚度难以控制的技术问题。
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公开(公告)号：CN214201457U
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202023154376.8
申请日：2020-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 长江水利委员会长江科学院
Abstract: 本实用新型涉及一种雨量土壤一体化监测设备，其中立柱顶端设置有外壳，所述复合传感器探测模块包括雨量检测传感器和非接触式土壤湿度传感器；所述外壳的上表面设置有所述雨量检测传感器；所述外壳内部设置有所述主控处理模块和无线专网传输模块；所述立柱内部设置有所述非接触式土壤湿度传感器和电池模块；所述主控处理模块分别与所述雨量检测传感器、非接触式土壤湿度传感器和无线专网传输模块相连，所述外壳的侧面设有天线，所述天线与所述无线专网传输模块相连；所述电池模块用于为所述复合传感器探测模块、主控处理模块和无线专网传输模块提供电源。本实用新型能实时采集地面的降雨量、土壤湿度等数据，实现对山洪要素的实时监控。
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公开(公告)号：CN214010395U
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202023154364.5
申请日：2020-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 长江水利委员会长江科学院
Abstract: 本实用新型涉及一种水文多要素一体化监测设备，包括外壳、复合传感器探测模块、主控处理模块、无线专网传输模块和电池模块，所述外壳的底部设置有所述复合传感器探测模块，所述外壳内设置有主控处理模块、无线专网传输模块和电池模块；所述外壳的顶部设置有天线；所述主控处理模块分别与所述复合传感器探测模块和无线专网传输模块相连；所述无线专网传输模块与所述天线相连；所述电池模块用于为所述复合传感器探测模块、主控处理模块和无线专网传输模块供电。本实用新型具有免维护、工作时间长、生存能力强等特点。
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