公开(公告)号：CN105182701B

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201510666500.3

申请日：2015-10-15

Applicant: 中国科学院上海应用物理研究所

Inventor： 薛超凡 ,  吴衍青 ,  刘海岗 ,  杨树敏 ,  王连升 ,  赵俊 ,  邰仁忠

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种同步辐射X射线大面积干涉光刻系统，其包括：依次排列的波荡器光源、多个反射聚焦镜、掩膜光栅、具有光阑孔的级选光阑、具有观察孔的样品台、铝膜以及CCD探测器。本发明通过在掩膜光栅与样品之间增设级选光阑，并通过CCD探测器确保掩膜光栅与级选光阑的位置对准，从而使级选光阑能够可靠遮挡经过掩膜光栅分束产生的0级光，避免该0级光照射到样品上，以使样品上产生的±1级衍射光相干区域的周围不存在0级光区域，由此即可通过移动样品台实现样品上的有效曝光区域的大面积拼接。同时本发明还通过采用反射聚焦镜以及铝膜对X射线进行滤波，从而使得CCD探测器能够清楚观察到掩膜光栅与级选光阑的相对位置，从而即可确保两者的对准精度。

公开(公告)号：CN105182701A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510666500.3

申请日：2015-10-15

Applicant: 中国科学院上海应用物理研究所

Inventor： 薛超凡 ,  吴衍青 ,  刘海岗 ,  杨树敏 ,  王连升 ,  赵俊 ,  邰仁忠

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种同步辐射X射线大面积干涉光刻系统，其包括：依次排列的波荡器光源、多个反射聚焦镜、掩膜光栅、具有光阑孔的级选光阑、具有观察孔的样品台、铝膜以及CCD探测器。本发明通过在掩膜光栅与样品之间增设级选光阑，并通过CCD探测器确保掩膜光栅与级选光阑的位置对准，从而使级选光阑能够可靠遮挡经过掩膜光栅分束产生的0级光，避免该0级光照射到样品上，以使样品上产生的±1级衍射光相干区域的周围不存在0级光区域，由此即可通过移动样品台实现样品上的有效曝光区域的大面积拼接。同时本发明还通过采用反射聚焦镜以及铝膜对X射线进行滤波，从而使得CCD探测器能够清楚观察到掩膜光栅与级选光阑的相对位置，从而即可确保两者的对准精度。

公开(公告)号：CN106982315A

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：CN201710213960.X

申请日：2017-04-01

Applicant: 中国科学院上海应用物理研究所

Inventor： 刘海岗 ,  许子健 ,  王春鹏 ,  陶旭磊 ,  邰仁忠

IPC: H04N5/225

CPC classification number: H04N5/2253 ,  H04N5/2254

Abstract: 本发明公开了一种高分辨率成像系统，其包括信号采集装置，信号采集装置包括光信号探测器；待探测光信号的光轴垂直于所述光信号探测器的探测平面，其中，所述高分辨率成像系统还包括：遮挡件，其被配置为可与待探测光信号的光轴中心对准，并且在中心对准状态下所述遮挡件对待探测光信号在其光轴方向上的遮挡面积呈中心对称且面积可调；遮光罩，其与所述光信号探测器连接，所述遮光罩上开设有第一开口，该第一开口与所述遮光罩的内部空间共同形成待探测光信号的光路通道。本发明的高分辨率成像系统能提高光信号探测器对样品后高频衍射信号采集的有效性，提高采集信号的信噪比，同时又尽可能地减少中心低频信号的丢失，从而提高成像系统的分辨率。