公开(公告)号：CN110542684A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201910722421.8

申请日：2019-08-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  马浩 ,  邵建达 ,  李大伟 ,  刘晓凤 ,  邵宇宸 ,  李成 ,  李婷

IPC: G01N21/84 ,  G01M11/00

Abstract: 本发明涉及一种光学薄膜激光损伤阈值测试方法，包括如下步骤：S1、测试得到光学薄膜单脉冲激光损伤时的激光能量密度Fth；S2、使单脉冲激光对光学薄膜进行辐照，记录下光学薄膜表面激光损伤边界不再增大时的激光损伤区域边界坐标(xi,yi)，同时记录下单脉冲激光辐照的次数n；S3、将激光能量密度的高斯分布与激光损伤区域分布对照，得到光学薄膜多脉冲激光辐照损伤时的激光损伤阈值FN；S4、不断改变入射的激光能量密度，重复执行步骤S2、S3，得到不同脉冲数目的飞秒激光辐照下光学薄膜的激光损伤阈值曲线。有益效果是不仅仅保证多脉冲激光辐照下光学薄膜激光损伤阈值测量准确性、同时大大提高多脉冲辐照下光学薄膜损伤阈值的测试效率。

公开(公告)号：CN110542684B

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN201910722421.8

申请日：2019-08-06

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 赵元安 ,  马浩 ,  邵建达 ,  李大伟 ,  刘晓凤 ,  邵宇宸 ,  李成 ,  李婷

IPC: G01N21/84 ,  G01M11/00

Abstract: 本发明涉及一种光学薄膜激光损伤阈值测试方法，包括如下步骤：S1、测试得到光学薄膜单脉冲激光损伤时的激光能量密度Fth；S2、使单脉冲激光对光学薄膜进行辐照，记录下光学薄膜表面激光损伤边界不再增大时的激光损伤区域边界坐标(xi,yi)，同时记录下单脉冲激光辐照的次数n；S3、将激光能量密度的高斯分布与激光损伤区域分布对照，得到光学薄膜多脉冲激光辐照损伤时的激光损伤阈值FN；S4、不断改变入射的激光能量密度，重复执行步骤S2、S3，得到不同脉冲数目的飞秒激光辐照下光学薄膜的激光损伤阈值曲线。有益效果是不仅仅保证多脉冲激光辐照下光学薄膜激光损伤阈值测量准确性、同时大大提高多脉冲辐照下光学薄膜损伤阈值的测试效率。