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公开(公告)号：CN101672801B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200910196169.8
申请日：2009-09-23
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种具有缺陷分类能力的硅片表面缺陷检测仪及缺陷分类方法，采用一束激光从倾斜方向聚焦照射置于高稳定硅片工作平台上的待测硅片的平面表面，由硅片表面缺陷所产生的散射光分别在沿接近硅片表面法线的方向和接近平行硅片表面的方向被两个口径不同的抛物面镜进行圆形窄通道收集和环形宽通道收集。由两个光电探测器分别测得两个通道收集到的光电信号的强度并对两个强度取比值，然后通过将该比值与一事先设定的阈值进行比较，即可对硅片表面的缺陷进行分类。该缺陷检测仪具有结构简单、灵敏度高、检测速度快、能对硅片表面缺陷进行分类等优点。
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公开(公告)号：CN100427932C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200510027682.6
申请日：2005-07-12
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/898 , G01N21/49 , G02B17/06
摘要： 一种具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪，包括激光入射系统和缺陷散射光收集系统，其特点是还有：散射光强倍增系统，由第一球面反射镜和第二球面反射镜构成；在第一焦点的第二次反射光路上设有一光陷阱；所述的缺陷散射光收集系统的光轴与所述的待测硅片的法线之间的夹角为β；所述的第一球面反射镜和第二球面反射镜位于一光轴调整架上，待测硅片的平动和转动由精密工作台实现，所述的平面反射镜、第一球面反射镜、第二球面反射镜和光陷阱之间的位置满足几何光学的物像关系。本发明解决了光学元件易损伤；使待测硅片的缺陷散射光强倍增并且两次缺陷散射光比较集中，有利于收集；避开了硅片表面散射信号的干扰。
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公开(公告)号：CN102288104A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110206449.X
申请日：2011-07-22
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海微电子装备有限公司
CPC分类号： G01B9/02 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02056 , G01B2290/70
摘要： 一种六轴4细分干涉仪，特点在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为六轴分光系统和干涉模块。所述的六轴分光系统由5个45°平面分光镜和4个45°全反镜组成。本发明具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。
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公开(公告)号：CN101135653A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710045800.5
申请日：2007-09-11
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/49
摘要： 一种光学平面表面疵病的激光散射检测系统，包括置放待测光学元件的X－Y精密步进平台，采用两束激光分别从垂直与倾斜两个方向聚焦照射待测光学元件的平面表面，产生的散射光通过多个光电探测器在不同方位角收集，转化为电信号后输入计算机，计算机通过步进电机驱动所述的X－Y精密步进平台带动待测光学元件，进行扫描测量，将测量的散射光信号与计算机数据库中已知的光学平面表面标准疵病的散射光信号进行比对，以实现光学平面表面疵病的定位、分类与分级。本发明具有分辨率高、准确率高、检测效率高以及不受人为主观因素与肉眼疲劳度影响等优点。
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公开(公告)号：CN1740782A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510029678.3
申请日：2005-09-15
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N21/956 , H01L21/66
摘要： 一种倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪，其构成是：在所述的激光光源组件发出的光束前进的方向上，依次有双凹透镜和平凸透镜组成的扩束系统，双胶合聚焦透镜，光束经平面反射镜转折且聚焦倾斜入射在被测量硅片表面，硅片位于工作台上；两块凸面相对的平凸透镜构成的散射光收集镜头对散射光进行收集，光电探测器置于所述的收集镜头的焦点处，光电探测器的输出端接计算机，在硅片的反射光方向上设有一光学陷阱。本发明具有检测精度高、结构简单、体积小、信噪比高等特点。
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公开(公告)号：CN1588787A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410053307.4
申请日：2004-07-30
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： H02P1/22
摘要： 一种直流电机驱动平台换向装置，其结构：一个三段式开关，该三段式开关的两个对角接线引脚a与f、b与e分别短接；一个直流电源，正极接在三段式开关的中间引脚c上，负极接在三段式开关的中间引脚d上；一直流电机的正极串联第一常闭行程开关后接在三段式开关下边的引脚f上，第一二极管与第一常闭行程开关并联，其负极与电机正极相连，直流电机的负极串联第二常闭行程开关后接在三段式开关下边的引脚e上，第二二极管与第二常闭行程开关并联，其负极与直流电机负极相连；一撞块由直流电机驱动。本发明装置采用两只二极管、两只常闭行程开关和一个三段式开关进行换向控制。整个装置结构简单，使用方便，工作可靠，成本低。
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公开(公告)号：CN1164234C
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：CN01126557.4
申请日：2001-08-27
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： A61B3/12
摘要： 一种观测眼睛的光学诊断仪，主要用于观察人眼虹膜并同时获得虹膜的图像及数据。包括两条光轴相互垂直的摄像计算光路和目视观察光路。置于摄像计算光路上有准直镜、反射元件、道威棱镜的入射面、聚焦镜和摄像机。摄像机经过模数转换器与计算机相连。置于目视观察光路上有观察聚焦镜和双筒目镜。被检者眼睛置放在准直镜的前焦面处。观察者双眼置放在双筒目镜的双筒前。置放在摄像计算光路上的光学元件构成摄像整体部分，置放在目视观察光路上的光学元件构成观察整体部分。摄像整体部分沿目视观察光路的光轴方向能够相对观察整体部分移动。本发明与在先技术比，具有功能多，既可目视观察，又能同时获取图像和数据。诊断效率高和准确度高。
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公开(公告)号：CN1129923C
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN00127956.4
申请日：2000-12-20
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人： 程兆谷
摘要： 一种横流二氧化碳激光器的电阻器，包括带有进水管和出水管的由绝缘材料构成的箱壳。箱壳内装有流动的水。含有限流电阻的电阻组件浸没在箱壳内的流水中。限流电阻表面上敷有绝缘漆层，电阻组件的所有接线点上均涂有封装绝缘层。进水管和出水管的阻抗值大于兆欧姆量级。限流电阻上产生的热量不断地被流水带走以此达到冷却的目的。具有体积小、成本低、冷却效果好、无噪音的特点。
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公开(公告)号：CN1309289A
公开(公告)日：2001-08-22
申请号：CN01105812.9
申请日：2001-03-30
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种光学尘埃粒子计数器的光学探头,含有两条相互垂直的照明光路和散射光收集光路。在照明光路上,于光源和照明透镜组之间置有第一齐明透镜,于照明透镜组和光敏感区之间置有第二齐明透镜。在散射光收集光路上,于光敏感区和接收透镜组之间置有第三齐明透镜。由于上述光路中置有三个齐明透镜,使得本发明具有较高的灵敏度、计数效率、粒径集中度、准确度和信噪比。检测速度比在先技术提高10倍以上。
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