-
公开(公告)号：CN114137800A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111342506.7
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于极紫外(EUV)光刻光源中喷嘴的清洗装置，包括：供清洗液放置的清洗罐和清洗皿，管道、过滤器、第一阀门、气压控制装置、气瓶、第二阀门和负压泵；采用超纯水或者易挥发的清洁液体清洗喷嘴，清洗过程采用正压和负压相结合的方式，使得喷嘴内的污染物倒吸到清洗罐中。本发明安装方便，易于操作，适用于EUV光刻光源中微小喷嘴的前期清洗。
-
公开(公告)号：CN108871516B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201810290039.X
申请日：2018-04-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01G17/02
Abstract: 一种飞秒激光诱导雪的全自动收集冰晶装置，包括：T形支架、相同长度的第一钢丝和第二钢丝、防雨绸、称重传感器、滑动块和固定块；所述滑动块的两端分别和固定块的两端通过所述的第一钢丝和第二钢丝相连，在所述的第一钢丝和第二钢丝上穿有所述的防雨绸，所述固定块固定在所述T形支架的底端，所述称重传感器固定在所述T形支架的竖直部中部，所述的滑动块在所述的T形支架的竖直部上部滑动，所述的T形支架的水平部两端分别固定于云雾室机械手法兰面内侧，滑动块和固定块由铝合金材料制成。这种装置设计巧妙，操作简单，测量自动快速，能够精准的测量出激光诱导产生的冰晶量。
-
-
公开(公告)号：CN116567903A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310462841.3
申请日：2023-04-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种极紫外(EUV)光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法，包括储液器、喷嘴、压电陶瓷、驱动器。本发明用于极紫外(EUV)光刻光源中周期性液滴靶的稳定产生，本发明具有调控方法易于操作，可调节范围大，适用于EUV光刻光源中稳定液滴的产生。
-
公开(公告)号：CN106680213A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201710105521.7
申请日：2017-02-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/17
CPC classification number: G01N21/17
Abstract: 一种小型化激光诱导水凝结模拟装置，特点是所述的腔室是采用六块紫铜块合成的小型六面体封闭腔，腔室顶和底的紫铜块的内壁均设有多个密布的小槽，顶和底的紫铜块的外表面都和半导体制冷片的冷却面充分接触，所述的半导体制冷片的散热面充分接触于紫铜块散热片，所述的半导体制冷片以串联的方式通过导线串联后与所述的直流电流源相连，所述腔室的一个侧面还设有湿度调节通道与湿度调节装置相连。这种装置结构更加紧凑，简单，整个装置更加微型化，便于移动，能够实现无温度梯度的低温环境，可适用于更加便捷的研究分析激光诱导水凝结现象。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100495081C
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200510110054.4
申请日：2005-11-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种制备纳米光栅的装置和方法，本发明的基本构思是：利用KDP晶体将一束激光倍频，形成偏振方向互相垂直两束激光。将这两束激光共光路聚焦到材料表面，在材料上形成周期纳米光栅。通过调节倍频光的能量，可以改变光栅结构的方向。本发明制备纳米光栅的装置，包括一飞秒激光器，并由沿该飞秒激光器输出的飞秒激光脉冲的光轴上依次是格兰棱镜、KDP晶体和聚焦透镜构成，所述的格兰棱镜和KDP晶体具有绕光轴旋转的调节机构。本发明的装置结构不复杂，制备方法简便，获得的光栅刻线规则，光栅面积较大，光栅方向可控。
-
公开(公告)号：CN1758075A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN200510110054.4
申请日：2005-11-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种制备纳米光栅的装置和方法，本发明的基本构思是：利用KDP晶体将一束激光倍频，形成偏振方向互相垂直两束激光。将这两束激光共光路聚焦到材料表面，在材料上形成周期纳米光栅。通过调节倍频光的能量，可以改变光栅结构的方向。本发明制备纳米光栅的装置，包括一飞秒激光器，并由沿该飞秒激光器输出的飞秒激光脉冲的光轴上依次是格兰棱镜、KDP晶体和聚焦透镜构成，所述的格兰棱镜和KDP晶体具有绕光轴旋转的调节机构。本发明的装置结构不复杂，制备方法简便，获得的光栅刻线规则，光栅面积较大，光栅方向可控。
-
公开(公告)号：CN119667905A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411951075.8
申请日：2024-12-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种长工作距大数值孔径物方远心镜头，包括沿着镜头光轴由物方到像方依次设置的前透镜组、孔径光阑和后透镜组。前透镜组包括具有正光焦度的第一透镜、第二透镜、第四透镜、第六透镜和第八透镜，以及具有负光焦度的第三透镜、第五透镜、第七透镜和第九透镜，其中，第三透镜和第四透镜组成第一组双胶合透镜，第八透镜和第九透镜组成第二组双胶合透镜，第五透镜、第六透镜和第七透镜组成第一组三胶合透镜。后透镜组包括具有正光焦度的第十透镜和第十二透镜、以及具有负光焦度的第十一透镜和第十三透镜。本发明采用十三片球面玻璃透镜，通过合理的分配各个透镜的光焦度，使得镜头具有长工作距离、大数值孔径、超高分辨率、高相对照度、宽光谱范围和高远心度等优点，解决了长工作距物方远心镜头分辨率低的问题，有益于提高检测镜头的测量精度，满足一些应用场景对于更高性能镜头的需求。
-
公开(公告)号：CN116321643A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310462821.6
申请日：2023-04-26
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种小型流体循环系统及产生循环流体的方法，系统包括泵体、背压阀、压力传感器、压力表、过滤器、质量流量计、缓冲罐、截止阀、喷嘴、截止阀、具有开关的储液罐、具有开关的氮气瓶和具有开关的氩气瓶。流体在泵体的作用下做循环往复流动，液柱直径通过所述的喷嘴的直径调节，流量和速度通过所述的背压阀调节，质量流量计可实时显示管道中流体的实际流量。本发明具有安装方便、集成化程度高、射流的直径、速度和流量调节方便、操作简单的特点，适用于不同波段等离子体光的发射，及相关的科学研究或平台开发。
-
公开(公告)号：CN112366498B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202011327305.5
申请日：2020-11-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种气体中产生的低抖动高强度超连续谱光源，包括：超快激光器、高压电源、与该高压电源相连接的金属电极，以及沿该超快激光器出射激光方向放置的聚焦透镜及其检测系统，基于外加电场对超快激光气体等离子体光丝通道内自由电子的静电作用，来调控通过光丝产生的超连续谱激光，获得具有高稳定、高重频、高能量的超快、超连续谱相干光源。本发明对于基于超连续白光激光的应用，如远程大气探测、超短激光脉冲压缩、大容量信息通讯以及超快激光光谱等应用，有着极其重要的意义。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
35
records
(took 0.029 seconds)
