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公开(公告)号：CN117270323A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202210669622.8
申请日：2022-06-14
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种LPP‑EUV光源液滴靶发生装置由储液器、过滤器、喷嘴、温度、气压和波形控制装置、压电陶瓷驱动元件组成，储液器内的靶材经过加热装置熔化后，熔融液体在压力作用下从喷嘴流出时呈射流状态，通过压电陶瓷驱动元件对喷嘴内的液体进行扰动，射流在周期性扰动下将断裂成一系列液滴，液滴的大小、间距和频率通过气压、喷嘴大小和压电控制波形进行控制。该装置易于安装，集成度高，适用于LPP‑EUV光刻光源中液滴靶的产生。
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公开(公告)号：CN112540513B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202110017947.3
申请日：2021-01-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
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公开(公告)号：CN112162466B
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202010965090.3
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm锡液不流入储液罐中，从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高，操作安全方便，适用于EUV光源锡原料的罐装。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112540513A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202110017947.3
申请日：2021-01-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
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公开(公告)号：CN114137800A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111342506.7
申请日：2021-11-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于极紫外(EUV)光刻光源中喷嘴的清洗装置，包括：供清洗液放置的清洗罐和清洗皿，管道、过滤器、第一阀门、气压控制装置、气瓶、第二阀门和负压泵；采用超纯水或者易挥发的清洁液体清洗喷嘴，清洗过程采用正压和负压相结合的方式，使得喷嘴内的污染物倒吸到清洗罐中。本发明安装方便，易于操作，适用于EUV光刻光源中微小喷嘴的前期清洗。
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公开(公告)号：CN119667905A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411951075.8
申请日：2024-12-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种长工作距大数值孔径物方远心镜头，包括沿着镜头光轴由物方到像方依次设置的前透镜组、孔径光阑和后透镜组。前透镜组包括具有正光焦度的第一透镜、第二透镜、第四透镜、第六透镜和第八透镜，以及具有负光焦度的第三透镜、第五透镜、第七透镜和第九透镜，其中，第三透镜和第四透镜组成第一组双胶合透镜，第八透镜和第九透镜组成第二组双胶合透镜，第五透镜、第六透镜和第七透镜组成第一组三胶合透镜。后透镜组包括具有正光焦度的第十透镜和第十二透镜、以及具有负光焦度的第十一透镜和第十三透镜。本发明采用十三片球面玻璃透镜，通过合理的分配各个透镜的光焦度，使得镜头具有长工作距离、大数值孔径、超高分辨率、高相对照度、宽光谱范围和高远心度等优点，解决了长工作距物方远心镜头分辨率低的问题，有益于提高检测镜头的测量精度，满足一些应用场景对于更高性能镜头的需求。
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公开(公告)号：CN112162466A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010965090.3
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm锡液不流入储液罐中，从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高，操作安全方便，适用于EUV光源锡原料的罐装。
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公开(公告)号：CN213876314U
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202120033360.7
申请日：2021-01-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
Abstract: 本实用新型提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本实用新型过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
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