公开(公告)号：CN100495081C

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：CN200510110054.4

申请日：2005-11-04

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 李成斌 ,  贾天卿 ,  陈洪新 ,  孙海轶 ,  徐至展

IPC: G02B5/18

Abstract: 一种制备纳米光栅的装置和方法，本发明的基本构思是：利用KDP晶体将一束激光倍频，形成偏振方向互相垂直两束激光。将这两束激光共光路聚焦到材料表面，在材料上形成周期纳米光栅。通过调节倍频光的能量，可以改变光栅结构的方向。本发明制备纳米光栅的装置，包括一飞秒激光器，并由沿该飞秒激光器输出的飞秒激光脉冲的光轴上依次是格兰棱镜、KDP晶体和聚焦透镜构成，所述的格兰棱镜和KDP晶体具有绕光轴旋转的调节机构。本发明的装置结构不复杂，制备方法简便，获得的光栅刻线规则，光栅面积较大，光栅方向可控。

公开(公告)号：CN1758075A

公开(公告)日：2006-04-12

申请号：CN200510110054.4

申请日：2005-11-04

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 李成斌 ,  贾天卿 ,  陈洪新 ,  孙海轶 ,  徐至展

IPC: G02B5/18

Abstract: 一种制备纳米光栅的装置和方法，本发明的基本构思是：利用KDP晶体将一束激光倍频，形成偏振方向互相垂直两束激光。将这两束激光共光路聚焦到材料表面，在材料上形成周期纳米光栅。通过调节倍频光的能量，可以改变光栅结构的方向。本发明制备纳米光栅的装置，包括一飞秒激光器，并由沿该飞秒激光器输出的飞秒激光脉冲的光轴上依次是格兰棱镜、KDP晶体和聚焦透镜构成，所述的格兰棱镜和KDP晶体具有绕光轴旋转的调节机构。本发明的装置结构不复杂，制备方法简便，获得的光栅刻线规则，光栅面积较大，光栅方向可控。