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公开(公告)号:CN111029313A
公开(公告)日:2020-04-17
申请号:CN201911155677.1
申请日:2019-11-22
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01L23/31 , H01L21/56 , H01L21/768 , H01L23/367 , H01L23/48 , H01L25/18
Abstract: 本发明公开了一种气密封装器件及气密封装方法,气密封装器件,包括:下管壳,设有贯穿下管壳的上表面和下表面的第一通孔,第一通孔内的金属记为第一金属柱;芯片,安装在下管壳的正面,芯片的焊盘通过键合线与第一金属柱相连;上管壳,设置在下管壳上,上管壳上设有贯穿所述上管壳的上表面和下表面的第二通孔,第二通孔内的金属记为第二金属柱;平面天线,平面天线的下表面贴合在所述上管壳的上表面,平面天线与一个第二金属柱相连,连接所述天线的第二金属柱通过连接结构与所述芯片相连。通过在上管壳的上表面直接制备平面天线,平面天线和气密封装器件是一体结构,提高了气密封装结构的集成密度。
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公开(公告)号:CN210956641U
公开(公告)日:2020-07-07
申请号:CN201922041672.8
申请日:2019-11-22
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01L23/31 , H01L21/56 , H01L21/768 , H01L23/367 , H01L23/48 , H01L25/18
Abstract: 本实用新型公开了一种气密封装器件,包括:下管壳,设有贯穿下管壳的上表面和下表面的第一通孔,第一通孔内的金属记为第一金属柱;芯片,安装在下管壳的正面,芯片的焊盘通过键合线与第一金属柱相连;上管壳,设置在下管壳上,上管壳上设有贯穿所述上管壳的上表面和下表面的第二通孔,第二通孔内的金属记为第二金属柱;平面天线,平面天线的下表面贴合在所述上管壳的上表面,平面天线与一个第二金属柱相连,连接所述天线的第二金属柱通过连接结构与所述芯片相连。通过在上管壳的上表面直接制备平面天线,平面天线和气密封装器件是一体结构,提高了气密封装结构的集成密度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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