公开(公告)号：CN109596963B

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN201811548650.4

申请日：2018-12-18

Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所

Inventor： 李灏 ,  翟玉卫 ,  付少辉 ,  梁法国 ,  刘岩 ,  郑世棋

IPC: G01R31/26

Abstract: 本发明公开了一种用于检测结温的脉冲调制装置，用于检测半导体器件的结温，脉冲调制装置分别与CCD相机和电流发生装置相连，电流发生装置与半导体器件相连，CCD相机与监测控制装置相连；脉冲调制装置发出第一脉冲信号传输至CCD相机，脉冲调制装置发出第二脉冲信号传输至电流发生装置，脉冲调制装置检测半导体的电流，电流发生装置输出电流至半导体器件，光源发射装置发出入射光至半导体器件，CCD相机采集半导体器件的反射光生成对应的电信号，检测控制装置对电信号进行处理并计算得到半导体器件的结温。本发明提高了测结温过程的信噪比，保证了测量结温的准确性，只需要CCD相机采集两次反射光信号即可计算出结温。

公开(公告)号：CN109596963A

公开(公告)日：2019-04-09

申请号：CN201811548650.4

申请日：2018-12-18

Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所

Inventor： 李灏 ,  翟玉卫 ,  付少辉 ,  梁法国 ,  刘岩 ,  郑世棋

IPC: G01R31/26

Abstract: 本发明公开了一种用于检测结温的脉冲调制装置，用于检测半导体器件的结温，脉冲调制装置分别与CCD相机和电流发生装置相连，电流发生装置与半导体器件相连，CCD相机与监测控制装置相连；脉冲调制装置发出第一脉冲信号传输至CCD相机，脉冲调制装置发出第二脉冲信号传输至电流发生装置，脉冲调制装置检测半导体的电流，电流发生装置输出电流至半导体器件，光源发射装置发出入射光至半导体器件，CCD相机采集半导体器件的反射光生成对应的电信号，检测控制装置对电信号进行处理并计算得到半导体器件的结温。本发明提高了测结温过程的信噪比，保证了测量结温的准确性，只需要CCD相机采集两次反射光信号即可计算出结温。