一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元

    公开(公告)号:CN118763422A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202410964811.7

    申请日:2024-07-18

    IPC分类号: H01Q15/00 H01Q9/04

    摘要: 本发明公开了一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元,属于射频前端器件技术领域。其由微带天线单元,复合梁MEMS开关,直流偏置线,金属短截线,圆形通孔,金属电极,氮化硅绝缘层,硅基衬底和背附金属地组成。复合梁MEMS开关由二氧化硅材料固支梁和吸附在其下方的金属梁组成而成。通过在直流端口输入不同直流电压来控制开关的断开与导通状态;利用MEMS开关控制电流路径的智能超表面调制天线具有隔离度高、插入损耗低和功耗低的特征。该天线可以实现在一定带宽范围内(295‑305GHZ)具有180°发射相位差,且MEMS开关工作在300GHZ以下,均可以保证在断开状态隔离度高于15dB;导通状态下插入损耗低于1dB。微带天线单元和开关结构简单、制造方便,可以通过硅基工艺进行制造。