本发明公开了一种太赫兹波段的基于MEMS开关的超表面反射单元，属于射频前端器件技术领域。其由微带天线单元，复合梁MEMS开关，直流偏置线，金属短截线，圆形通孔，金属电极，氮化硅绝缘层，硅基衬底和背附金属地组成。复合梁MEMS开关由二氧化硅材料固支梁和吸附在其下方的金属梁组成而成。通过在直流端口输入不同直流电压来控制开关的断开与导通状态；利用MEMS开关控制电流路径的智能超表面调制天线具有隔离度高、插入损耗低和功耗低的特征。该天线可以实现在一定带宽范围内(295‑305GHZ)具有180°发射相位差，且MEMS开关工作在300GHZ以下，均可以保证在断开状态隔离度高于15dB；导通状态下插入损耗低于1dB。微带天线单元和开关结构简单、制造方便，可以通过硅基工艺进行制造。