公开(公告)号：CN103745890B

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201410000459.1

申请日：2014-01-02

Applicant: 中国电子科技集团公司第五十五研究所

Inventor： 梅迪 ,  朱健 ,  郁元卫 ,  刘梅

IPC: H01H59/00

Abstract: 本发明提供一种耐冲击硅梁MEMS复合开关，包括起承载作用的玻璃片与作为可动结构层的硅片，并采用阳极键合工艺将玻璃片和硅片键合为一体。该硅梁MEMS复合开关由两个驱动方向相反的侧向运动的硅梁MEMS子开关和一个公共接触块串联组成，能够保证在加速度小于20000g条件下保持断开状态，在加速度小于8000g的条件下保持闭合状态。本发明解决了MEMS开关在大冲击力的作用下出现闭合现象，为MEMS开关在高冲击条件下的应用提供了新的解决方案。

公开(公告)号：CN103745890A

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201410000459.1

申请日：2014-01-02

Applicant: 中国电子科技集团公司第五十五研究所

Inventor： 梅迪

IPC: H01H59/00

Abstract: 本发明提供一种耐冲击硅梁MEMS复合开关，包括起承载作用的玻璃片与作为可动结构层的硅片，并采用阳极键合工艺将玻璃片和硅片键合为一体。该硅梁MEMS复合开关由两个驱动方向相反的侧向运动的硅梁MEMS子开关和一个公共接触块串联组成，能够保证在加速度小于20000g条件下保持断开状态，在加速度小于8000g的条件下保持闭合状态。本发明解决了MEMS开关在大冲击力的作用下出现闭合现象，为MEMS开关在高冲击条件下的应用提供了新的解决方案。