-
公开(公告)号：CN111960380B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202010878591.8
申请日：2020-08-27
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明公开了一种基于临时悬梁结构实现微间隙装配的工艺方法，包括：沿基板厚度方向贯穿加工形成悬梁结构；沿基板厚度方向加工间隙台阶结构；将芯片单元置于预设位置，使芯片单元上的芯片单元装配平面与基板上的悬梁装配平面贴合，且芯片单元装配平面位于间隙区域内；将芯片单元与基板固定连接；去除悬梁，实现微间隙装配。与传统的垫片法/陪片法/牺牲层法制作微间隙结构相比，本发明采用临时悬梁制作微间隙结构避免了垫片或陪片法引起的间隙过大或不均匀，也避免了牺牲层法腐蚀液/腐蚀气体在微小狭长缝隙结构中流动性差、均匀性差的缺陷。提高了工艺一致性，且适用于圆片级批量装配，并在大深宽比，小间隙结构上具有更高的工艺精度。
-
公开(公告)号：CN112161617B
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202011071505.9
申请日：2020-10-09
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01C19/5691
摘要： 本发明公开了一种轴对称谐振器，包括玻璃球壳，在玻璃球壳内设有支柱、底层电极、压电薄膜和表层电极；底层引脚电极附着于支柱表面，底层辐条电极和底层压电电极附着于玻璃球壳内表面；每个底层压电电极分别通过底层辐条电极与底层引脚电极电连接；压电薄膜一一对应地设置在每个底层压电电极表面上；表层压电电极一一对应地附着于每个压电薄膜表面，并与对应位置的底层压电电极形成一对电极，分别作为激励电极或者检测电极；表层辐条电极附着于玻璃球壳内表面；所有表层引脚电极附着于玻璃球壳支柱表面并分别通过表层辐条电极与表层压电电极电连接。本发明结构及工艺更为简单，加工方便，更利于批量化制作。
-
公开(公告)号：CN111960380A
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN202010878591.8
申请日：2020-08-27
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明公开了一种基于临时悬梁结构实现微间隙装配的工艺方法，包括：沿基板厚度方向贯穿加工形成悬梁结构；沿基板厚度方向加工间隙台阶结构；将芯片单元置于预设位置，使芯片单元上的芯片单元装配平面与基板上的悬梁装配平面贴合，且芯片单元装配平面位于间隙区域内；将芯片单元与基板固定连接；去除悬梁，实现微间隙装配。与传统的垫片法/陪片法/牺牲层法制作微间隙结构相比，本发明采用临时悬梁制作微间隙结构避免了垫片或陪片法引起的间隙过大或不均匀，也避免了牺牲层法腐蚀液/腐蚀气体在微小狭长缝隙结构中流动性差、均匀性差的缺陷。提高了工艺一致性，且适用于圆片级批量装配，并在大深宽比，小间隙结构上具有更高的工艺精度。
-
公开(公告)号：CN109506678B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201811652915.5
申请日：2018-12-29
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01C25/00
摘要： 本发明涉及属于惯性传感技术领域，特别涉及一种基于微机电系统的惯性测量组合中陀螺仪动态自检方法，包括采集加速度计信号并计算单位时间内角度变化量；求取单位时间内加速度信号的平均值；对加速度信息进行有效性判断；计算第t时刻的载体姿态角和第t+1时刻的载体姿态角；根据t+1时间角速率积分值进行姿态解算，得到陀螺仪解算出的t+1时刻的解算载体姿态角；判断第t+1时刻的陀螺仪与加速度计载体姿态角差的绝对值是否小于预设阈值，若小于则判定陀螺仪正常；本发明采用MEMS惯性测量组合中加速度计在重力场中求解载体姿态角，与陀螺仪积分进行对比的自检方法，对陀螺仪的零偏及动态输出均进行了检查，提高了陀螺仪自检的准确性。
-
公开(公告)号：CN102193001A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110129031.3
申请日：2011-05-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01P15/097 , B81B3/00 , B81C1/00
摘要： 本发明公开了SAW-MEMS加速度传感器，涉及微电子惯性器件领域，加速度传感器包括SAW金属叉指换能器、带有悬臂微梁的水晶片以及预设沟槽的硅基片，SAW金属插指换能器制作于水晶片内的悬臂微梁上，悬臂微梁键合在预设沟槽的硅基片上，水晶片先与另一片无沟槽硅基片通过键合，减薄后再通过键合工艺转移至预设沟槽的硅基片上；在水晶片上与预设沟槽相应的位置制作SAW插指换能器，并在水晶片上刻蚀出悬臂微梁结构，使SAW插指换能器在悬臂微梁上。所述加速度传感器采用MEMS工艺，器件尺寸小，适合批量生产；因此本发明提供的加速度传感器可靠性高、敏感范围大、功耗小、精度高、小尺寸且易于封装。
-
公开(公告)号：CN112161617A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202011071505.9
申请日：2020-10-09
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01C19/5691
摘要： 本发明公开了一种轴对称谐振器，包括玻璃球壳，在玻璃球壳内设有支柱、底层电极、压电薄膜和表层电极；底层引脚电极附着于支柱表面，底层辐条电极和底层压电电极附着于玻璃球壳内表面；每个底层压电电极分别通过底层辐条电极与底层引脚电极电连接；压电薄膜一一对应地设置在每个底层压电电极表面上；表层压电电极一一对应地附着于每个压电薄膜表面，并与对应位置的底层压电电极形成一对电极，分别作为激励电极或者检测电极；表层辐条电极附着于玻璃球壳内表面；所有表层引脚电极附着于玻璃球壳支柱表面并分别通过表层辐条电极与表层压电电极电连接。本发明结构及工艺更为简单，加工方便，更利于批量化制作。
-
公开(公告)号：CN109506678A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811652915.5
申请日：2018-12-29
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01C25/00
摘要： 本发明涉及属于惯性传感技术领域，特别涉及一种基于微机电系统的惯性测量组合中陀螺仪动态自检方法，包括采集加速度计信号并计算单位时间内角度变化量；求取单位时间内加速度信号的平均值；对加速度信息进行有效性判断；计算第t时刻的载体姿态角和第t+1时刻的载体姿态角；根据t+1时间角速率积分值进行姿态解算，得到陀螺仪解算出的t+1时刻的解算载体姿态角；判断第t+1时刻的陀螺仪与加速度计载体姿态角差的绝对值是否小于预设阈值，若小于则判定陀螺仪正常；本发明采用MEMS惯性测量组合中加速度计在重力场中求解载体姿态角，与陀螺仪积分进行对比的自检方法，对陀螺仪的零偏及动态输出均进行了检查，提高了陀螺仪自检的准确性。
-
公开(公告)号：CN202093043U
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201120158944.3
申请日：2011-05-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01P15/097 , B81B3/00 , B81C1/00
摘要： 本实用新型公开了SAW-MEMS加速度传感器，涉及微电子惯性器件领域，加速度传感器包括SAW金属叉指换能器、带有悬臂微梁的水晶片以及预设沟槽的硅基片，SAW金属插指换能器制作于水晶片内的悬臂微梁上，悬臂微梁键合在预设沟槽的硅基片上，水晶片先与另一片无沟槽硅基片通过键合，减薄后再通过键合工艺转移至预设沟槽的硅基片上；在水晶片上与预设沟槽相应的位置制作SAW插指换能器，并在水晶片上刻蚀出悬臂微梁结构，使SAW插指换能器在悬臂微梁上。所述加速度传感器采用MEMS工艺，器件尺寸小，适合批量生产；因此本实用新型提供的加速度传感器可靠性高、敏感范围大、功耗小、精度高、小尺寸且易于封装。
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
8 条记录 (耗时 0.05 秒)
