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公开(公告)号：CN103713157B
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201410009866.9
申请日：2014-01-09
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01P15/097
摘要： 本发明公开了一种谐振式加速度传感器件，包括谐振敏感元件、U型质量块、第一挠性桥、第二挠性桥、C形连接块、连接梁、环形连接块、第一固定块和第二固定块。所述谐振敏感元件由第一基部、第二基部以及固接于二者之间的第一振梁和第二振梁构成，两振梁正面设有矩形凹槽，该凹槽的开口方向与两振梁的振动方向垂直，所述凹槽的内壁覆盖有第一激励电极，振梁的两侧壁分别覆盖有第二激励电极，第一振梁和第二振梁通过电极与激励电源的连接使两者振动方向相反。本发明有利于器件的微型化，并可有效提升振梁谐振稳定性，器件的灵敏度更高，同时降低了电极的制作难度。
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公开(公告)号：CN105424021A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510894930.0
申请日：2015-12-08
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01C19/5747
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： 本发明公开了一种双端音叉角速度传感器芯片，驱动梁、检测梁的长度方向均沿Y向设置并位于同一平面；两驱动梁的一端部分别连接于中间块同一侧，两检测梁的一端部分别连接于中间块另一侧。两连接桥的一端连接于中间块X向两侧，两连接桥的另一端分别与固定块连接。驱动梁的正面和背面至少一个面上设有沿长度方向的凹槽，该凹槽的开口方向与驱动梁的振动方向垂直，在凹槽的内壁以及驱动梁的两侧壁分别覆盖有用于连接激励电源的电极。所述检测梁的侧壁覆盖有平行分开的敏感电极。本发明在同等激励电压条件下，音叉内部的电场强度和音叉的激励振幅更高，相同角速度引起的哥式力更大，芯片灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN103407959A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310393450.7
申请日：2013-09-03
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
发明人： 林丙涛
IPC分类号： B81C1/00
摘要： 本发明提供一种三维电极图形制作方法，包括以下步骤：在基片正面分别制作图形化掩膜层和图形化光刻胶，所述图形化光刻胶形成于所述图形化掩膜层上；蚀刻所述基片形成凹槽结构；腐蚀所述图形化掩膜层；依次沉积电极膜层和保护膜金属图层，所述图形化掩膜层和所述电极膜层材料相同；剥离所述图形化光刻胶以及所述图形化光刻胶上面沉积的电极膜层和保护膜金属图层；腐蚀所述图形化掩膜层得到三维电极图形。上述方法采用剥离工艺实现三维电极图形的制作，无需购置专用的喷涂胶设备，工艺制作过程简单且图形制作精度高。
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公开(公告)号：CN103018484A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210574101.0
申请日：2012-12-26
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01P15/03
摘要： 本发明公开了一种无源SAW加速度计及加速度测试方法，所述的加速度计由力转换装置2、SAW器件1、天线8及信号连接线9构成，SAW器件1包括换能器3、第一反射栅4a和第二反射栅4b，换能器的两个电极通过信号连接线与用于信号收发的天线相连；力转换装置2包括悬臂梁5、质量块6、固定块7，有加速度输入时，质量块产生惯性力和对固定块的惯性力矩，该力矩使得悬臂梁绕固定块挠曲变形和SAW信号在基片表面传输时间的变化，通过解算传输时间变化量即可得到输入加速度的值，信号的收发及能量的传递均通过天线完成，实现了加速度量的无源化检测。
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公开(公告)号：CN115229832A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202211072130.7
申请日：2022-09-02
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明属于半导体晶圆加工领域，具体涉及一种防划伤的真空吸附式晶圆取放装置及其制造方法，晶圆取放装置包括：机械手、传动单元、真空单元和控制单元四部分构成，其中机械手是晶圆取放装置的主体部分，包括托盘、悬臂结构、安装定位孔、限位台、气道气孔结构、密封板和缓冲垫圈等结构，其特点是除密封板和缓冲垫圈以外，其余结构均采用一体化结构设计，易于加工制造。通过控制单元将平移和升降等运动指令发送给传动单元和真空单元，使机械手依次完成插入片盒对准晶圆、吸附并拾取晶圆、取出并释放晶圆、重新吸附拾取晶圆、将晶圆放回片盒或传至下一工序单元等一系列操作，实现晶圆自动取放功能，同时可以有效避免划伤晶圆。
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公开(公告)号：CN107702704B
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201710897941.3
申请日：2017-09-28
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01C19/5684
摘要： 本发明公开了一种石英微振动陀螺，包括驱动梁和对应的检测梁，所述驱动梁和检测梁均为相同的四根，四根检测梁一端按90°间隔等分固接于固定块四个方向，四根驱动梁的中部分别固定于检测梁的另一端并与对应的检测梁垂直；四根驱动梁、四根检测梁及固定块位于同一平面；第一检测梁和第二检测梁位于同一直线上，第三检测梁和第四检测梁位于同一直线上。本发明陀螺结构灵敏度高，体积小，且检测模态和振动模态对固定块的力和力矩相互抵消，在芯片安装到外壳时，无需设置专用的隔离振动结构，降低了封装工艺的复杂度，成本更低。
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公开(公告)号：CN112161617A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202011071505.9
申请日：2020-10-09
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01C19/5691
摘要： 本发明公开了一种轴对称谐振器，包括玻璃球壳，在玻璃球壳内设有支柱、底层电极、压电薄膜和表层电极；底层引脚电极附着于支柱表面，底层辐条电极和底层压电电极附着于玻璃球壳内表面；每个底层压电电极分别通过底层辐条电极与底层引脚电极电连接；压电薄膜一一对应地设置在每个底层压电电极表面上；表层压电电极一一对应地附着于每个压电薄膜表面，并与对应位置的底层压电电极形成一对电极，分别作为激励电极或者检测电极；表层辐条电极附着于玻璃球壳内表面；所有表层引脚电极附着于玻璃球壳支柱表面并分别通过表层辐条电极与表层压电电极电连接。本发明结构及工艺更为简单，加工方便，更利于批量化制作。
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公开(公告)号：CN104132657B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410332852.0
申请日：2014-07-14
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01C19/5621
摘要： 本发明公开了一种双轴石英角速度传感器芯片，包括均沿Y向设置的两平行的驱动梁、两平行的Y轴检测梁、Z轴检测梁和连接梁，连接梁两端与两驱动梁和两Y轴检测梁连接形成H形结构，Z轴检测梁一端与连接梁中部固接并与Y轴检测梁位于同一侧，Z轴检测梁另一端与固定块固接；两驱动梁的上下表面和左右侧壁均覆盖有激励电极；两Y轴检测梁的左右侧壁均覆盖有敏感电极，左右侧壁的敏感电极均由上下平行分开的两部分构成；Z轴检测梁的上下表面和左右侧壁均覆盖有敏感电极。本发明为单片一体集成结构，相对于两个单轴石英角速度传感器组装而成的双轴产品，更便于微型化和批量制作。驱动梁和检测梁分开设置，机械耦合小且灵敏度高。
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公开(公告)号：CN103471760B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201310427365.8
申请日：2013-09-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明公开了一种力敏谐振元件及该元件的制造方法，力敏谐振元件包括两基部和两谐振梁，谐振梁的正面和背面中至少有一个面上设有凹槽，凹槽的内壁以及谐振梁的侧壁分别覆盖有电极，两根谐振梁通过激励电源方向设置使之振动方向相反。谐振梁上每面的凹槽至少包括位于谐振梁两端的端部凹槽，每个端部凹槽由两侧平行的端部深凹槽和位于两个端部深凹槽之间且与两个端部深凹槽连为一体的端部浅凹槽构成。本力敏谐振元件电极的作用面距离短，谐振梁内的场强增大，电极的激励效率提高，更适于传感器微型化制作。设置深凹槽，增加凹槽的侧壁陡直度，以便提高电极的激励效率，使得谐振梁的激振效率更高。
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公开(公告)号：CN117430311A
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202311375065.X
申请日：2023-10-23
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明公开了一种微半球谐振子火焰吹制装置、系统及方法，该吹制装置包括石墨模具、火焰喷头、调节机构和若干测温机构，石墨模具呈圆柱形且竖直设置，石墨模具上端面中心设有圆环形凹槽；圆环形凹槽内均匀分布有若干抽气孔，抽气孔竖直设置且贯穿石墨模具下端面；火焰喷头设于石墨模具上方且连接有气体管道；火焰喷头与调节机构连接，便于通过调节机构升降和旋转火焰喷头，使得火焰喷头距离石墨模具有一定高度以及使得火焰喷头中心与石墨模具中心同轴；所有测温机构沿石墨模具圆周均匀嵌设在石墨模具内，且距离石墨模具中心距离相等。本发明能有效保证火焰温场对称性，提高微半球谐振子结构的对称性和一致性，从而提升微半球谐振子的加工精度。
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